ОСОБЕННОСТИ ТРАВЛЕНИЯ GAAS В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА
Методы травления GaAs в низкотемпературной газоразрядной плазме в настоящее время широко исследуются и внедряются в производство изделий электронной техники[1-3]. Создание технологического оборудования для травления в низкотемпературной газоразрядной плазме с использованием магнетронных реакторов позволяет существенно улучшить параметры установок, влияющие на производительность и качество обработки GaAs. В частности, по сравнению с диодным ректором в реакторе магнетронного типа возможно достижение более высокой плотности мощности разряда и более устойчивое горение разряда при пониженном давлении.
Решающим достоинством травления в низкотемпературной плазме является возможность анизотропного травления, под которым понимается усиленное травление вглубь материала. Как известно, для увеличения анизотропного травления необходимо понижение рабочего давления и использование зарядов с магнитным удержанием плазмы.
Снижение давления в технологическом объеме плазмохимического реактора приводит к тому, что увеличивается длина свободного пробега частиц, ответственных за травление, вследствие чего возрастает анизотропия травления.
В рамках настоящей работы были проведены экспериментальные исследования по травлению GaAs в магнетронном разряде с использованием различных плазмообразующих газов. Полученные максимальные скорости травления в плазме различных рабочих газов и газовых смесей приведены в таблице.
Таблица.
Состав рабочего газа, об.% |
Скорость травления, мкм/мин |
H2 |
0,5 |
CCl4 |
5,0 |
C2 Cl3 F3 |
8,5 |
PCl3 (50%) + CCl4 (50%) |
12,5 |
PCl3 (50%) + C2Cl3 F3 (50%) |
15,0 |
PCl3 |
20,0 |
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Толивер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др. Плазменная технология в производстве СБИС:Пер. с англ. С сокращ./Под редак. Айнспрука Н. и Брауна Д. - М.: Мир,1987, 472с.
- Беневоленский С.Б., Истомина Н.Л. Реактивное ионно-плазменное травление арсенида галлия в плазме водорода с использованием магнетронного разряда. - Известия ВУЗов, Сер. Электроника, 1996, №1-2, с. 111-113
- Овчинников И.Л., Светцов В.И., Ефремов А.М. Плазмохимическое травление арсенида галлия в смесях хлора с аргоном. - Микроэлектроника, 1999, т.28, №1, с. 16-20
Статья в формате PDF 251 KB...
17 04 2024 13:32:42
Статья в формате PDF 317 KB...
16 04 2024 9:48:31
Статья в формате PDF 104 KB...
15 04 2024 2:57:54
14 04 2024 13:47:23
Исследованы вопросы влияния давления, относительной влажности и температуры атмосферы на давление воздуха в шине 175/70R13 легкового автомобиля ВАЗ на основании данных ГУ «ВНИИГМИ-МЦД» по постам (станциям) о температуре воздуха, относительной влажности и атмосферном давлении на уровне станции по природно – климатическим поясам России. Вопросы влияния климатических хаpaктеристик на давление в автомобильных шинах рассмотрены для летнего периода, который является наиболее нагруженным в году периодом в плане эксплуатации автомобиля. Исследования выполнены методом случайной выборки с использованием данных срочных наблюдений по постам Федеральной службы по гидрометеорологии и мониторингу окружающей среды. Изменения давления в шине в течение рабочей смены значительно влияют на управляемость, надежность и экономическую эффективность эксплуатации автотрaнcпорта. ...
13 04 2024 7:13:49
Статья в формате PDF 124 KB...
12 04 2024 10:24:19
Статья в формате PDF 112 KB...
11 04 2024 16:29:44
Статья в формате PDF 115 KB...
10 04 2024 15:30:28
Статья в формате PDF 104 KB...
09 04 2024 5:24:14
Статья в формате PDF 301 KB...
08 04 2024 13:35:36
Статья в формате PDF 105 KB...
07 04 2024 16:22:42
Статья в формате PDF 124 KB...
05 04 2024 8:49:43
Статья в формате PDF 132 KB...
04 04 2024 15:59:42
Статья в формате PDF 145 KB...
03 04 2024 3:26:31
Статья в формате PDF 120 KB...
02 04 2024 8:11:18
Статья в формате PDF 112 KB...
01 04 2024 22:43:29
Статья в формате PDF 112 KB...
31 03 2024 6:45:22
Статья в формате PDF 294 KB...
30 03 2024 18:12:42
Статья в формате PDF 251 KB...
29 03 2024 14:31:58
Статья в формате PDF 149 KB...
28 03 2024 21:45:29
Статья в формате PDF 101 KB...
27 03 2024 11:41:34
Статья в формате PDF 183 KB...
26 03 2024 11:13:52
Статья в формате PDF 100 KB...
25 03 2024 21:37:49
Статья в формате PDF 153 KB...
21 03 2024 12:10:51
Статья в формате PDF 181 KB...
20 03 2024 9:16:40
Статья в формате PDF 172 KB...
19 03 2024 17:51:23
Статья в формате PDF 149 KB...
17 03 2024 15:48:37
Статья в формате PDF 270 KB...
16 03 2024 12:10:38
Статья в формате PDF 133 KB...
15 03 2024 6:37:17
Статья в формате PDF 126 KB...
14 03 2024 22:19:35
Статья в формате PDF 110 KB...
12 03 2024 9:42:12
Статья в формате PDF 151 KB...
11 03 2024 9:21:34
Статья в формате PDF 306 KB...
10 03 2024 14:13:44
Статья в формате PDF 249 KB...
09 03 2024 22:24:21
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::