ПРОБЛЕМЫ СТАБИЛЬНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР
Создание современных МЭУ неразрывно связано с построением многослойных плёночных структур (МПС), изготавливаемых на основе различных по своей природе материалов. Известно, что структура и напряжения в плёнках в значительной степени отличаются от тех, что хаpaктерны для массивных образцов. Напряженное состояние структуры является неустойчивым, релаксация сопровождается структурными и морфологическими изменениями, что приводит к деградации слоёв и нестабильности их хаpaктеристик. При контакте разнородных материалов в многослойных структурах деградация усиливается за счёт процессов, происходящих на границе слоёв (взаимная диффузия и растворение, химическое взаимодействие). Интенсивность указанных процессов, резко усиливающихся с повышением температуры, определяется природой контактирующих материалов и структурой слоёв. Повышение стабильности МПС возможно путём уменьшения деградационных процессов, происходящих, как в самих плёнках, так и на границе различных материалов.
В металлодиэлектрических МПС одной из основных причин разрушения является химическое взаимодействие освобождающегося кислорода из оксида диэлектрика с металлом проводящего слоя. Степень освобождения кислорода определяется термодинамической прочностью оксидов. Устойчивость оксидов против химикотермического взаимодействия можно представить в виде следующей последовательности: Al2O3 > ZrO2 > TiO2 > SiO2 > Ta2O5 > Nb2O5 > V2O5.
Склонность к деградации МПС определяется также растворимостью газов в металлах проводящих слоёв; из высокотемпературных металлов наименьшее количество газов поглощают металлы VI и VIII групп. Ещё одним фактором, влияющим на выбор материалов, особенно для термостойких МПС является близость температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР), т.к. при значительной разнице ТКЛР возникающие напряжения и деформации способствуют взаимодействию разнородных слоёв и проникновению освобождающегося кислорода оксида в слой проводника.
Многие технологические операции, реализуемые при создании микроструктур, выполняются при повышенных температурах, поэтому деградационные процессы в МПС могут происходить не только при эксплуатации, но и в процессе изготовления МЭУ. Учитывая указанные обстоятельства, для МПС, особенно предназначенных для работы при повышенных температурах, наиболее предпочтительными металлами являются молибден и вольфрам. В тоже время большая разница в ТКЛР плёнок металлов и оксидов циркония тантала ограничивает возможность применения последних в термостойких металлодиэлектрических структурах; более стабильными являются МПС, где в качестве диэлектриков используются оксиды алюминия и кремния.
Статья в формате PDF
103 KB...
23 04 2024 7:59:37
Статья в формате PDF
163 KB...
22 04 2024 7:12:33
Статья в формате PDF
102 KB...
21 04 2024 10:46:24
Статья в формате PDF
187 KB...
20 04 2024 4:49:38
В статье описаны связи между общественными науками и математикой. Приведены рекомендации о преподавании математики для студентов-гуманитариев. Библиогр. 4 назв.
...
19 04 2024 7:24:25
Статья в формате PDF
102 KB...
18 04 2024 10:20:10
Статья в формате PDF
244 KB...
17 04 2024 5:49:37
Статья в формате PDF
284 KB...
16 04 2024 8:42:21
Статья посвящена актуальной проблеме – влиянию хронической алкогольной интоксикации на изменение структуры капсулы селезенки в раннем постнатальном онтогенезе. Дана сравнительная гистологическая хаpaктеристика капсулы с учетом зависимости изменений от различной концентрации потрeбляемого алкоголя.
...
15 04 2024 21:57:46
Статья в формате PDF
269 KB...
14 04 2024 11:14:46
Статья в формате PDF
401 KB...
12 04 2024 1:47:30
Статья в формате PDF
104 KB...
10 04 2024 3:20:57
Статья в формате PDF
104 KB...
09 04 2024 2:50:34
Статья в формате PDF
127 KB...
08 04 2024 2:53:32
Предложен новый подход к построению педагогической системы учителя. Выделена ее основная цель: формирование навыка понимания. Предложен путь ее реализации, включающий согласование целей обучения, разработку новой программы и новых форм и методов обучения. Выявлены некоторые трудности обучения, затрудняющие формирование навыка понимания.
...
07 04 2024 3:14:31
Статья в формате PDF
133 KB...
06 04 2024 16:25:18
В статье представлен обзор литературы относительно механизмов инактивации свободных радикалов в митохондриях, микросомах клеток и во внеклеточной среде. Сделан акцент на особенностях структуры и функции супероксиддисмутазы, каталазы, церулоплазмина, а также глутатионпероксидазы, подробно представлена хаpaктеристика низкомолекулярных антиоксидантов и механизмов их действия.
...
05 04 2024 13:16:37
Статья в формате PDF
316 KB...
04 04 2024 8:24:11
Статья в формате PDF
120 KB...
03 04 2024 8:49:29
Статья в формате PDF
281 KB...
02 04 2024 7:15:54
Статья в формате PDF
416 KB...
01 04 2024 3:48:15
Статья в формате PDF
119 KB...
31 03 2024 20:13:35
Статья в формате PDF
92 KB...
30 03 2024 8:23:28
Статья в формате PDF
102 KB...
29 03 2024 10:21:48
Статья в формате PDF
257 KB...
27 03 2024 2:55:55
Статья в формате PDF
196 KB...
24 03 2024 7:21:35
Статья в формате PDF
266 KB...
23 03 2024 14:24:55
Обсуждается инвазия адвентивных растений в систему Верхоянского хребта в связи с интенсивностью антропогенного влияния. Поднимаются общие вопросы засорения природных объектов промышленными отходами.
...
22 03 2024 0:51:49
Статья в формате PDF
147 KB...
21 03 2024 15:34:58
Статья в формате PDF
301 KB...
19 03 2024 19:33:50
Статья в формате PDF
102 KB...
18 03 2024 14:55:35
Статья в формате PDF
158 KB...
17 03 2024 7:57:33
Статья в формате PDF
136 KB...
16 03 2024 4:56:52
Статья в формате PDF
126 KB...
15 03 2024 5:28:57
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::
