ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ НА ОСНОВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР
Перед современной микроэлектроникой стоят проблемы повышения степени интеграции, уменьшения потрeбляемой мощности и размеров элементов разpaбатываемых интегральных схем (ИС), поэтому важно знать физические ограничения, накладываемые на процессы их изготовления. В связи с этим проблема исследования технологических процессов и предельных параметров при изготовлении ИС является важной и актуальной.
Для выявления физических ограничений и выработки требований к материалам, на основе которых изготавливаются ИС, были изучены физические основы таких процессов изготовления ИС, как оксидирование, литография, диффузия примесей и эпитаксия; проведены экспериментальные исследования образцов эпитаксиальных структур, на основе которых изготавливают ИС и оценочные расчёты предельных параметров процессов изготовления ИС.
Исследование процесса окисления кремниевых пластинок показало, что для выращивания пленок в атмосфере сухого кислорода, имеющих более совершенную структуру, требуются значительной затраты времени. Быстрее происходит выращивание пленки во влажном кислороде, но эти пленки получаются пористыми, с проколами. Поэтому наиболее выгодно использовать комбинированный метод окисления, который сочетает в себе преимущества этих двух методов, пленки получаются прочные, нужной толщины (от 0,2 до 1,2 мкм) за оптимальный промежуток времени.
В связи с этим одним из основных параметров SiO2 является величина напряжения, при котором наступает пробой. Зондовым методом определили значение пробивного поля окисной пленки, получили примерно 0,4 МВ*см-1, что соответствует пробою в дефектном месте.
При фотолитографии по ряду причин существует ограничение на минимальный размер изображении, которое можно получить этим методом. Проведенная оценка теоретического предела минимального размера изображения, получаемого при различных видах литографии показывает, что рентгенолитография отличается большей разрешающей способностью, чем фотолитография. Получили, что λ=300 нм теоретически можем получить линию толщиной 0,2 мкм. Сегодня осуществляется переход к EUV-литографии (λ=13 нм), что делает возможной печать линий гораздо меньшей ширины - до 30 нм.
Статья в формате PDF
107 KB...
20 09 2026 19:51:50
Статья в формате PDF
120 KB...
19 09 2026 20:46:20
Статья в формате PDF
127 KB...
18 09 2026 8:14:17
Статья в формате PDF
266 KB...
17 09 2026 13:46:10
Статья в формате PDF
102 KB...
16 09 2026 15:46:59
Статья в формате PDF
104 KB...
15 09 2026 9:53:44
Статья в формате PDF
364 KB...
13 09 2026 22:39:53
Статья в формате PDF
127 KB...
12 09 2026 21:44:54
В данной работе представлены материалы по изучению влияния добавок серы к рациону крупного рогатого скота с целью коррекции иммуннобиохимического статуса при хроническом селеновом токсикозе.
...
11 09 2026 17:19:54
Статья в формате PDF
118 KB...
10 09 2026 0:52:58
Статья в формате PDF
174 KB...
09 09 2026 11:57:11
Статья в формате PDF
126 KB...
08 09 2026 6:55:30
Статья в формате PDF
114 KB...
07 09 2026 13:47:26
Статья в формате PDF
95 KB...
06 09 2026 21:18:11
Статья в формате PDF
114 KB...
05 09 2026 17:54:29
Статья в формате PDF
267 KB...
04 09 2026 2:57:16
Аграрная реформа высветила многие проблемы, носящие хаpaктер долговременного действия на экономику России и, в частности, на ее агропромышленный комплекс, от успешного развития которого зависит продовольственная безопасность страны и жизненный уровень населения. К их числу относится и проблема земельных отношений.
...
03 09 2026 23:44:14
Статья в формате PDF
123 KB...
01 09 2026 5:41:47
Статья в формате PDF
117 KB...
29 08 2026 3:15:39
Статья в формате PDF
90 KB...
28 08 2026 5:37:53
Статья в формате PDF
120 KB...
27 08 2026 20:17:43
Статья в формате PDF
115 KB...
26 08 2026 8:14:58
Статья в формате PDF
92 KB...
25 08 2026 21:45:11
Статья в формате PDF
280 KB...
24 08 2026 10:56:52
Статья в формате PDF
143 KB...
23 08 2026 7:33:40
Статья в формате PDF
100 KB...
22 08 2026 13:48:29
Статья в формате PDF
304 KB...
21 08 2026 16:47:21
Статья в формате PDF
90 KB...
18 08 2026 5:42:12
Статья в формате PDF
104 KB...
17 08 2026 20:39:20
Статья в формате PDF
265 KB...
16 08 2026 9:54:51
Статья в формате PDF
125 KB...
15 08 2026 1:12:32
В экспериментальных исследованиях было установлено благоприятное влияние соматостатина и его аналогов на течение острого панкреатита и выживаемость подопытных животных. Это явилось предпосылкой для применения соматостатина при лечении острого панкреатита у людей. По данным ряда исследований применение соматостатина у пациентов с острым панкреатитом способствовало уменьшению частоты осложнений и снижению cмepтности. Использование октреотида при лечении острого панкреатита - наиболее важная область его применения в панкреатологии. По данным мета-анализа рандомизированных исследований у пациентов с тяжелым острым панкреатитом, получавших октреотид, было подтверждено снижение cмepтности. Существующие данные доказательной медицины свидетельствуют о благоприятном влиянии октреотида на эффективность лечения пациентов с острым панкреатитом. Применение октреотида при хроническом панкреатите различной этиологии способствовало уменьшению болевых ощущений, снизило потребность в спазмолитиках и aнaльгетиках, а также частоту обострений. Положительный эффект октреотида при лечении хронического панкреатита зафиксирован как у взрослых, так и у детей.
...
14 08 2026 12:32:25
Статья в формате PDF
102 KB...
13 08 2026 11:54:21
Статья в формате PDF
114 KB...
12 08 2026 19:17:46
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::
