ПРОБЛЕМЫ СТАБИЛЬНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР
Создание современных МЭУ неразрывно связано с построением многослойных плёночных структур (МПС), изготавливаемых на основе различных по своей природе материалов. Известно, что структура и напряжения в плёнках в значительной степени отличаются от тех, что хаpaктерны для массивных образцов. Напряженное состояние структуры является неустойчивым, релаксация сопровождается структурными и морфологическими изменениями, что приводит к деградации слоёв и нестабильности их хаpaктеристик. При контакте разнородных материалов в многослойных структурах деградация усиливается за счёт процессов, происходящих на границе слоёв (взаимная диффузия и растворение, химическое взаимодействие). Интенсивность указанных процессов, резко усиливающихся с повышением температуры, определяется природой контактирующих материалов и структурой слоёв. Повышение стабильности МПС возможно путём уменьшения деградационных процессов, происходящих, как в самих плёнках, так и на границе различных материалов.
В металлодиэлектрических МПС одной из основных причин разрушения является химическое взаимодействие освобождающегося кислорода из оксида диэлектрика с металлом проводящего слоя. Степень освобождения кислорода определяется термодинамической прочностью оксидов. Устойчивость оксидов против химикотермического взаимодействия можно представить в виде следующей последовательности: Al2O3 > ZrO2 > TiO2 > SiO2 > Ta2O5 > Nb2O5 > V2O5.
Склонность к деградации МПС определяется также растворимостью газов в металлах проводящих слоёв; из высокотемпературных металлов наименьшее количество газов поглощают металлы VI и VIII групп. Ещё одним фактором, влияющим на выбор материалов, особенно для термостойких МПС является близость температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР), т.к. при значительной разнице ТКЛР возникающие напряжения и деформации способствуют взаимодействию разнородных слоёв и проникновению освобождающегося кислорода оксида в слой проводника.
Многие технологические операции, реализуемые при создании микроструктур, выполняются при повышенных температурах, поэтому деградационные процессы в МПС могут происходить не только при эксплуатации, но и в процессе изготовления МЭУ. Учитывая указанные обстоятельства, для МПС, особенно предназначенных для работы при повышенных температурах, наиболее предпочтительными металлами являются молибден и вольфрам. В тоже время большая разница в ТКЛР плёнок металлов и оксидов циркония тантала ограничивает возможность применения последних в термостойких металлодиэлектрических структурах; более стабильными являются МПС, где в качестве диэлектриков используются оксиды алюминия и кремния.
Статья в формате PDF
111 KB...
01 09 2026 18:24:29
Статья в формате PDF
105 KB...
31 08 2026 3:14:28
Статья в формате PDF
307 KB...
30 08 2026 21:34:43
Статья в формате PDF
319 KB...
28 08 2026 3:47:17
Статья в формате PDF
376 KB...
27 08 2026 5:30:29
Статья в формате PDF
125 KB...
26 08 2026 8:35:33
Статья в формате PDF 124 KB...
25 08 2026 8:34:12
Статья в формате PDF
300 KB...
23 08 2026 20:32:34
Статья в формате PDF
100 KB...
22 08 2026 5:57:47
Статья в формате PDF
100 KB...
21 08 2026 10:30:34
Статья в формате PDF
115 KB...
20 08 2026 4:41:59
Статья в формате PDF
122 KB...
19 08 2026 6:11:11
Статья в формате PDF
104 KB...
18 08 2026 23:54:37
Статья в формате PDF
119 KB...
17 08 2026 1:59:41
Статья в формате PDF
129 KB...
16 08 2026 22:59:12
Статья в формате PDF
251 KB...
12 08 2026 2:25:42
Статья в формате PDF
243 KB...
11 08 2026 7:52:51
Статья в формате PDF
276 KB...
08 08 2026 14:57:26
Статья в формате PDF
129 KB...
07 08 2026 14:23:59
Статья в формате PDF
221 KB...
06 08 2026 22:32:38
Статья в формате PDF
242 KB...
05 08 2026 23:43:27
На примере самозарастания песчаных карьеров Ленобласти рассматривается гипотеза преимущественного поселения растений-колонистов в «safe sites» – микроместообитаниях, наиболее благоприятных для растений.
...
04 08 2026 13:13:30
Статья в формате PDF
101 KB...
02 08 2026 18:31:19
Статья в формате PDF
357 KB...
01 08 2026 19:21:18
Изучено влияние низкоинтенсивного лазерного излучения (НИЛИ) красного и инфpaкрасного спектров на структурно - функциональное состояние слизистой оболочки верхних дыхательных путей ( ВДП) у детей в дошкольных образовательных учреждениях (ДОУ). Полученные результаты исследований позволили обосновать применение НИЛИ для коррекции нарушений местных факторов защиты. Низкоинтенсивная лазерная реабилитация (НИЛР) обеспечила нормализацию и повышение цитофизиологических показателей, и снижение цитопатологических величин. Доказано ремоделирующее действие НИЛИ на слизистую оболочку верхних дыхательных путей. Эффективность НИЛР связана с ремоделированием слизистой оболочки ВДП.
...
31 07 2026 14:13:54
Статья в формате PDF
121 KB...
29 07 2026 3:32:45
Статья в формате PDF
118 KB...
28 07 2026 23:30:56
Статья в формате PDF
114 KB...
27 07 2026 15:17:32
Статья в формате PDF
249 KB...
25 07 2026 6:35:51
Статья в формате PDF
111 KB...
24 07 2026 21:51:34
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::
