ПРОБЛЕМЫ СТАБИЛЬНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР

Создание современных МЭУ неразрывно связано с построением многослойных плёночных структур (МПС), изготавливаемых на основе различных по своей природе материалов. Известно, что структура и напряжения в плёнках в значительной степени отличаются от тех, что хаpaктерны для массивных образцов. Напряженное состояние структуры является неустойчивым, релаксация сопровождается структурными и морфологическими изменениями, что приводит к деградации слоёв и нестабильности их хаpaктеристик. При контакте разнородных материалов в многослойных структурах деградация усиливается за счёт процессов, происходящих на границе слоёв (взаимная диффузия и растворение, химическое взаимодействие). Интенсивность указанных процессов, резко усиливающихся с повышением температуры, определяется природой контактирующих материалов и структурой слоёв. Повышение стабильности МПС возможно путём уменьшения деградационных процессов, происходящих, как в самих плёнках, так и на границе различных материалов.
В металлодиэлектрических МПС одной из основных причин разрушения является химическое взаимодействие освобождающегося кислорода из оксида диэлектрика с металлом проводящего слоя. Степень освобождения кислорода определяется термодинамической прочностью оксидов. Устойчивость оксидов против химикотермического взаимодействия можно представить в виде следующей последовательности: Al2O3 > ZrO2 > TiO2 > SiO2 > Ta2O5 > Nb2O5 > V2O5.
Склонность к деградации МПС определяется также растворимостью газов в металлах проводящих слоёв; из высокотемпературных металлов наименьшее количество газов поглощают металлы VI и VIII групп. Ещё одним фактором, влияющим на выбор материалов, особенно для термостойких МПС является близость температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР), т.к. при значительной разнице ТКЛР возникающие напряжения и деформации способствуют взаимодействию разнородных слоёв и проникновению освобождающегося кислорода оксида в слой проводника.
Многие технологические операции, реализуемые при создании микроструктур, выполняются при повышенных температурах, поэтому деградационные процессы в МПС могут происходить не только при эксплуатации, но и в процессе изготовления МЭУ. Учитывая указанные обстоятельства, для МПС, особенно предназначенных для работы при повышенных температурах, наиболее предпочтительными металлами являются молибден и вольфрам. В тоже время большая разница в ТКЛР плёнок металлов и оксидов циркония тантала ограничивает возможность применения последних в термостойких металлодиэлектрических структурах; более стабильными являются МПС, где в качестве диэлектриков используются оксиды алюминия и кремния.
Статья в формате PDF
122 KB...
11 10 2026 15:28:42
Статья в формате PDF
112 KB...
10 10 2026 21:30:48
Статья в формате PDF
245 KB...
09 10 2026 2:49:23
Статья в формате PDF
106 KB...
08 10 2026 23:28:55
Статья в формате PDF
104 KB...
07 10 2026 2:15:41
Статья в формате PDF
265 KB...
06 10 2026 21:17:27
Статья в формате PDF
300 KB...
05 10 2026 14:52:36
Статья в формате PDF
101 KB...
03 10 2026 18:47:40
Статья в формате PDF
135 KB...
02 10 2026 3:18:24
Статья в формате PDF
110 KB...
01 10 2026 3:10:27
Бериллиевое оруденение в Алтайском регионе образует 4 промышленных типа: комплексные (Be, W, Mo) кварцево-жильные, комплексные кварцево-грейзеновые (Be, W, Mo, Cu), комплексные скарновые (Be, W, Mo) и редкометалльные пегматиты. Месторождения бериллия связаны с постколлизионными гранитоидами, сформировавшимися в результате мантийно-корового взаимодействия. Для рудогенерирующих гранитоидов и пегматитов хаpaктерны аномальные параметры флюидного режима и особенно высокие концентрации HF в магматогенных флюидах. В регионе оруденение бериллия локализуется в пределах Тигирекско-Белокурихинской позднепалеозойско-раннемезозойской металлогенической области. Оруденение представлено преимущественно бериллом, редко – гельвином. Оценены запасы оксида бериллия по категориям В, С1, С2 и прогнозные ресурсы категории Р1.
...
30 09 2026 20:54:16
Статья в формате PDF
274 KB...
29 09 2026 17:54:46
Статья в формате PDF
116 KB...
28 09 2026 14:57:17
Статья в формате PDF
126 KB...
27 09 2026 21:32:47
Статья в формате PDF
106 KB...
26 09 2026 8:18:11
25 09 2026 21:39:32
Статья в формате PDF
105 KB...
22 09 2026 14:33:34
Статья в формате PDF
113 KB...
21 09 2026 15:20:27
20 09 2026 14:19:38
Статья в формате PDF
138 KB...
19 09 2026 22:25:35
Статья в формате PDF
254 KB...
18 09 2026 9:50:24
Статья в формате PDF
373 KB...
17 09 2026 7:36:11
Дана хаpaктеристика цитологических особенностей нейронов дорсомедиального ядра миндалевидного комплекса мозга (МК) на стадии диэструс. Полученные результаты сравниваются с ранее полученными на стадиях эструс и метэструс. Они показывают, что функциональное состояние нейроэндокринных нейронов этого ядра МК меняется в зависимости от уровней пoлoвых стероидов.
...
16 09 2026 11:52:24
Статья в формате PDF
173 KB...
15 09 2026 19:52:19
Статья в формате PDF
103 KB...
14 09 2026 23:45:51
Статья в формате PDF
115 KB...
12 09 2026 17:40:37
Статья в формате PDF
163 KB...
11 09 2026 7:40:41
Статья в формате PDF
126 KB...
10 09 2026 5:48:31
Статья в формате PDF
160 KB...
09 09 2026 18:33:58
Статья в формате PDF
171 KB...
08 09 2026 0:37:12
Статья в формате PDF
123 KB...
07 09 2026 23:50:27
При выборе рациональной технологии изготовления и оптимизации составов мазей и гелей с нестероидным противовоспалительным средством – мелоксикамом (МК) важно изучение реологических свойств данных лекарственных форм (ЛФ). Статья посвящена изучению реологических свойств мазей и гелей МК. Исследования, проведенные авторами, позволили определить факторы, влияющие на реологические свойства изучаемых ЛФ МК и охаpaктеризовать исследуемые образцы мазей и гелей МК, как структурированные дисперсные системы.
...
06 09 2026 0:59:52
Статья в формате PDF
131 KB...
05 09 2026 9:45:33
Статья в формате PDF
122 KB...
04 09 2026 5:32:48
Статья в формате PDF
284 KB...
02 09 2026 11:14:32
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::