ПРОБЛЕМЫ СТАБИЛЬНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР

Авторы
Файлы

Блохин В.Г. Статья в формате PDF 303 KB

Создание современных МЭУ неразрывно связано с построением многослойных плёночных структур (МПС), изготавливаемых на основе различных по своей природе материалов. Известно, что структура и напряжения в плёнках в значительной степени отличаются от тех, что хаpaктерны для массивных образцов. Напряженное состояние структуры является неустойчивым, релаксация сопровождается структурными и морфологическими изменениями, что приводит к деградации слоёв и нестабильности их хаpaктеристик. При контакте разнородных материалов в многослойных структурах деградация усиливается за счёт процессов, происходящих на границе слоёв (взаимная диффузия и растворение, химическое взаимодействие). Интенсивность указанных процессов, резко усиливающихся с повышением температуры, определяется природой контактирующих материалов и структурой слоёв. Повышение стабильности МПС возможно путём уменьшения деградационных процессов, происходящих, как в самих плёнках, так и на границе различных материалов.

В металлодиэлектрических МПС одной из основных причин разрушения является химическое взаимодействие освобождающегося кислорода из оксида диэлектрика с металлом проводящего слоя. Степень освобождения кислорода определяется термодинамической прочностью оксидов. Устойчивость оксидов против химикотермического взаимодействия можно представить в виде следующей последовательности: Al₂O₃ > ZrO₂ > TiO₂ > SiO₂ > Ta₂O₅ > Nb₂O₅ > V₂O₅.

Склонность к деградации МПС определяется также растворимостью газов в металлах проводящих слоёв; из высокотемпературных металлов наименьшее количество газов поглощают металлы VI и VIII групп. Ещё одним фактором, влияющим на выбор материалов, особенно для термостойких МПС является близость температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР), т.к. при значительной разнице ТКЛР возникающие напряжения и деформации способствуют взаимодействию разнородных слоёв и проникновению освобождающегося кислорода оксида в слой проводника.

Многие технологические операции, реализуемые при создании микроструктур, выполняются при повышенных температурах, поэтому деградационные процессы в МПС могут происходить не только при эксплуатации, но и в процессе изготовления МЭУ. Учитывая указанные обстоятельства, для МПС, особенно предназначенных для работы при повышенных температурах, наиболее предпочтительными металлами являются молибден и вольфрам. В тоже время большая разница в ТКЛР плёнок металлов и оксидов циркония тантала ограничивает возможность применения последних в термостойких металлодиэлектрических структурах; более стабильными являются МПС, где в качестве диэлектриков используются оксиды алюминия и кремния.

МОДЕЛИРОВАНИЕ ОБТЕКАНИЯ ВЕТРОВЫМИ ПОТОКАМИ ТЕХНОГЕННЫХ ПРЕПЯТСТВИЙ

Статья в формате PDF 224 KB...

21 09 2026 5:30:52

АНАЛИЗ ФИЛОГЕНЕТИЧЕСКИХ ВЗАИМООТНОШЕНИЙ БЕЛКОВ СЕМЕЙСТВА АЛЬБУМИНОИДНЫХ ГЕНОВ

Статья в формате PDF 132 KB...

20 09 2026 20:57:43

ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКАЯ РАБОТА СТАРШЕКЛАССНИКОВ В ПРОФИЛЬНЫХ ЛАБОРАТОРИЯХ УНИВЕРСИТЕТА

Статья в формате PDF 110 KB...

19 09 2026 7:11:20

Расчет констант ионообменного равновесия в системе вода-сахароза-гидроксид кальция

Статья в формате PDF 118 KB...

18 09 2026 13:55:47

КЛИНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ КОМБИНИРОВАННОЙ ТЕРАПИИ HBV-ИНФЕКЦИИ

Статья в формате PDF 119 KB...

17 09 2026 8:42:35

ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ НОВОГО МЕТОДА ДИАГНОСТИКИ ПАРОДОНТИТА

Статья в формате PDF 132 KB...

16 09 2026 11:35:16

ВОДА И ЗДОРОВЬЕ

Статья в формате PDF 263 KB...

15 09 2026 5:12:50

Решение Штакельберга-Слейтера статической иерархической игры в условиях неопределенности

Статья в формате PDF 109 KB...

14 09 2026 9:35:14

ХАРАКТЕРИСТИКА ИММУНОРЕАКТИВНОСТИ ОРГАНИЗМА КРЫС ПРИ РАЗВИТИИ ИНФИЦИРОВАННОЙ РАНЫ НА ФОНЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ ИСКУССТВЕННОГО МАГНИТНОГО ПОЛЯ

Статья в формате PDF 100 KB...

13 09 2026 13:29:25

КОЛИЧЕСТВЕННАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ЭЛАСТОГЕНЕЗА В НАДКОСТНИЦЕ РЕГЕНЕРАТА БОЛЬШЕБЕРЦОВОЙ КОСТИ ПРИ УДЛИНЕНИИ ГОЛЕНИ НА РАЗНЫХ ЭТАПАХ ЧРЕСКОСТНОГО ДИСТРАКЦИОННОГО ОСТЕОСИНТЕЗА

Статья в формате PDF 100 KB...

12 09 2026 2:30:30

К ВОПРОСУ О ДЕФЛЯЦИИ И ФИЗИЧЕСКОЙ ЭРОЗИИ ГУМУСА

Статья в формате PDF 109 KB...

11 09 2026 13:22:30

МЕТОДОЛОГИЯ РАЗРАБОТКИ СТРУКТУРЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТРЕБОВАНИЙ К ЛОКАЛЬНОЙ СЕТИ ПРЕДПРИЯТИЯ ПРИ ВНЕДРЕНИИ ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В СИСТЕМУ УПРАВЛЕНИЯ КАЧЕСТВОМ

Статья в формате PDF 252 KB...

10 09 2026 10:56:24

СПОСОБ ЛЕЧЕНИЯ ГИПЕРТРОФИЧЕСКИХ РУБЦОВ СО2-ЛАЗЕРОМ

Статья в формате PDF 153 KB...

09 09 2026 11:10:34

ПОВЫШЕНИЕ ИНТЕРЕСА К МУСУЛЬМАНСКОЙ КУЛЬТУРЕ КАК РЕАКЦИЯ НА ГЛОБАЛИЗАЦИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ

В статье показано увеличение интереса граждан России к истории и культуре стран ислама. Это связано с повышением политической активности этих стран и расширением их туристического сервиза. ...