ПРОБЛЕМЫ СТАБИЛЬНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР

Создание современных МЭУ неразрывно связано с построением многослойных плёночных структур (МПС), изготавливаемых на основе различных по своей природе материалов. Известно, что структура и напряжения в плёнках в значительной степени отличаются от тех, что хаpaктерны для массивных образцов. Напряженное состояние структуры является неустойчивым, релаксация сопровождается структурными и морфологическими изменениями, что приводит к деградации слоёв и нестабильности их хаpaктеристик. При контакте разнородных материалов в многослойных структурах деградация усиливается за счёт процессов, происходящих на границе слоёв (взаимная диффузия и растворение, химическое взаимодействие). Интенсивность указанных процессов, резко усиливающихся с повышением температуры, определяется природой контактирующих материалов и структурой слоёв. Повышение стабильности МПС возможно путём уменьшения деградационных процессов, происходящих, как в самих плёнках, так и на границе различных материалов.
В металлодиэлектрических МПС одной из основных причин разрушения является химическое взаимодействие освобождающегося кислорода из оксида диэлектрика с металлом проводящего слоя. Степень освобождения кислорода определяется термодинамической прочностью оксидов. Устойчивость оксидов против химикотермического взаимодействия можно представить в виде следующей последовательности: Al2O3 > ZrO2 > TiO2 > SiO2 > Ta2O5 > Nb2O5 > V2O5.
Склонность к деградации МПС определяется также растворимостью газов в металлах проводящих слоёв; из высокотемпературных металлов наименьшее количество газов поглощают металлы VI и VIII групп. Ещё одним фактором, влияющим на выбор материалов, особенно для термостойких МПС является близость температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР), т.к. при значительной разнице ТКЛР возникающие напряжения и деформации способствуют взаимодействию разнородных слоёв и проникновению освобождающегося кислорода оксида в слой проводника.
Многие технологические операции, реализуемые при создании микроструктур, выполняются при повышенных температурах, поэтому деградационные процессы в МПС могут происходить не только при эксплуатации, но и в процессе изготовления МЭУ. Учитывая указанные обстоятельства, для МПС, особенно предназначенных для работы при повышенных температурах, наиболее предпочтительными металлами являются молибден и вольфрам. В тоже время большая разница в ТКЛР плёнок металлов и оксидов циркония тантала ограничивает возможность применения последних в термостойких металлодиэлектрических структурах; более стабильными являются МПС, где в качестве диэлектриков используются оксиды алюминия и кремния.
12 06 2026 11:16:50
Статья в формате PDF
124 KB...
11 06 2026 9:17:44
Статья в формате PDF
333 KB...
10 06 2026 19:25:23
Статья в формате PDF
122 KB...
08 06 2026 15:36:38
Статья в формате PDF
259 KB...
07 06 2026 16:37:23
Статья в формате PDF
314 KB...
06 06 2026 18:54:51
Исследованы количество клеток и клеточный состав крови и кроветворных органов мелких млекопитающих (Mus musculus, Apodemus sylvaticus, Clethrionomys rutilus) с территорий, подвергшихся радиационному влиянию (Восточно-Уральский радиоактивный след, Свердловская область, Тоцкий радиоактивный след, Оренбургская область). Установлены изменения состава и структуры клеток крови, клеточного состава и концентрации клеток кроветворной ткани в зависимости от вида животных и места их обитания. Влияние на организм мышей и полевок радиационного фактора среды подтверждает обнаружение в тушках животных радионуклидов.
...
05 06 2026 7:53:33
Статья в формате PDF
111 KB...
04 06 2026 22:36:41
Статья в формате PDF
108 KB...
03 06 2026 3:26:13
Исследована активность трaнcфераз в митохондриях различных органов трех линий свиней породы СМ-1 новосибирской селекции. Определена активность аспартат-аминотрaнcферазы, аланин-аминотрaнcферазы в митохондриях, супернатанте скелетных мышц, сердца и печени животных. В результате эксперимента установлено, что по активности трaнcфераз в митохондриях лучшими являются свиньи линий Светлого и Совета.
...
02 06 2026 0:31:47
Статья в формате PDF
119 KB...
01 06 2026 19:46:17
Статья в формате PDF
115 KB...
31 05 2026 22:58:32
Статья в формате PDF
110 KB...
30 05 2026 9:55:11
28 05 2026 1:43:24
Статья в формате PDF
106 KB...
27 05 2026 19:30:38
Статья в формате PDF
159 KB...
25 05 2026 12:48:25
Статья в формате PDF
263 KB...
24 05 2026 11:35:48
Статья в формате PDF
113 KB...
23 05 2026 9:34:58
Статья в формате PDF
125 KB...
22 05 2026 4:52:33
Статья в формате PDF
135 KB...
21 05 2026 3:59:40
Статья в формате PDF
418 KB...
20 05 2026 0:39:21
Статья в формате PDF
214 KB...
17 05 2026 5:59:24
Под минерализацией в химическом анализе понимается разложение органических веществ и материалов на их основе с целью выделения определяемых элементов в виде устойчивых неорганических соединений. Среди методов разрушения органических компонентов следует выделить сухое и мокрое озоление – нагревание с кислотами – окислителями.
...
16 05 2026 18:49:57
Статья в формате PDF
166 KB...
15 05 2026 22:51:26
Статья в формате PDF
115 KB...
14 05 2026 2:41:26
Статья в формате PDF
264 KB...
13 05 2026 20:20:35
Статья в формате PDF
306 KB...
12 05 2026 9:38:27
Статья в формате PDF
114 KB...
10 05 2026 12:39:35
Статья в формате PDF
113 KB...
09 05 2026 5:43:17
Статья в формате PDF
309 KB...
08 05 2026 6:32:58
Статья в формате PDF
105 KB...
07 05 2026 16:36:47
Статья в формате PDF
103 KB...
06 05 2026 12:50:46
Статья в формате PDF
109 KB...
05 05 2026 13:32:41
Статья в формате PDF
310 KB...
04 05 2026 12:30:57
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::