ПРОБЛЕМЫ СТАБИЛЬНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР

Авторы
Файлы

Блохин В.Г. Статья в формате PDF 303 KB

Создание современных МЭУ неразрывно связано с построением многослойных плёночных структур (МПС), изготавливаемых на основе различных по своей природе материалов. Известно, что структура и напряжения в плёнках в значительной степени отличаются от тех, что хаpaктерны для массивных образцов. Напряженное состояние структуры является неустойчивым, релаксация сопровождается структурными и морфологическими изменениями, что приводит к деградации слоёв и нестабильности их хаpaктеристик. При контакте разнородных материалов в многослойных структурах деградация усиливается за счёт процессов, происходящих на границе слоёв (взаимная диффузия и растворение, химическое взаимодействие). Интенсивность указанных процессов, резко усиливающихся с повышением температуры, определяется природой контактирующих материалов и структурой слоёв. Повышение стабильности МПС возможно путём уменьшения деградационных процессов, происходящих, как в самих плёнках, так и на границе различных материалов.

В металлодиэлектрических МПС одной из основных причин разрушения является химическое взаимодействие освобождающегося кислорода из оксида диэлектрика с металлом проводящего слоя. Степень освобождения кислорода определяется термодинамической прочностью оксидов. Устойчивость оксидов против химикотермического взаимодействия можно представить в виде следующей последовательности: Al₂O₃ > ZrO₂ > TiO₂ > SiO₂ > Ta₂O₅ > Nb₂O₅ > V₂O₅.

Склонность к деградации МПС определяется также растворимостью газов в металлах проводящих слоёв; из высокотемпературных металлов наименьшее количество газов поглощают металлы VI и VIII групп. Ещё одним фактором, влияющим на выбор материалов, особенно для термостойких МПС является близость температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР), т.к. при значительной разнице ТКЛР возникающие напряжения и деформации способствуют взаимодействию разнородных слоёв и проникновению освобождающегося кислорода оксида в слой проводника.

Многие технологические операции, реализуемые при создании микроструктур, выполняются при повышенных температурах, поэтому деградационные процессы в МПС могут происходить не только при эксплуатации, но и в процессе изготовления МЭУ. Учитывая указанные обстоятельства, для МПС, особенно предназначенных для работы при повышенных температурах, наиболее предпочтительными металлами являются молибден и вольфрам. В тоже время большая разница в ТКЛР плёнок металлов и оксидов циркония тантала ограничивает возможность применения последних в термостойких металлодиэлектрических структурах; более стабильными являются МПС, где в качестве диэлектриков используются оксиды алюминия и кремния.

ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ЧЕРТЫ ХАРАКТЕРА РОДИТЕЛЕЙ ДЕТЕЙ С ПАТОЛОГИЕЙ ЗРЕНИЯ – ВЫХОДЦЕВ ИЗ МАЛОДЕТНЫХ СЕМЕЙ

Статья в формате PDF 107 KB...

23 07 2026 14:35:36

РАСПРОСТРАНЕННОСТЬ ВИЧ-ИНФЕКЦИИ В Г. ПЕРМИ И В ПЕРМСКОМ КРАЕ

Статья в формате PDF 294 KB...

22 07 2026 12:23:49

Американский студенческий сленг начала 21 века

Статья в формате PDF 249 KB...

21 07 2026 13:33:18

КОМПЬЮТЕРНАЯ МОРФОМЕТРИЯ СТРУКТУР СЕРДЕЧНОЙ МЫШЦЫ В ОЦЕНКЕ ВЛИЯНИЯ ВЕГЕТАТИВНОЙ ДИСРЕГУЛЯЦИИ НА ТЕЧЕНИЕ ЭНДОТОКСИКОЗА В МИОКАРДЕ

Статья в формате PDF 114 KB...

20 07 2026 8:24:16

ЕГЭ КАК СОВРЕМЕННАЯ ФОРМА ПРОВЕРКИ ЗНАНИЙ

Статья в формате PDF 99 KB...

19 07 2026 6:20:20

ПОСТРОЕНИЕ ИНТЕГРИРОВАННОГО КУРСА «ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В ЭКОНОМИКЕ» В ВУЗЕ

Статья в формате PDF 114 KB...

18 07 2026 21:53:53

ПРИМЕНЕНИЕ ИТ В МАЛОМ БИЗНЕСЕ

Статья в формате PDF 112 KB...

17 07 2026 16:31:46

Оценка влияния лаважа – диализа и активного дренирования брюшной полости на коррекцию гомеостаза при распространенном гнойном перитоните

Статья в формате PDF 120 KB...

16 07 2026 6:21:12

НАРУШЕНИЯ ГОМЕОСТАЗА ПРИ РОЖИСТОМ ВОСПАЛЕНИИ И ИХ КОРРЕКЦИЯ

Статья в формате PDF 107 KB...

15 07 2026 15:52:35

ДИАГНОСТИКА БЕЗБОЛЕВОЙ ИШЕМИИ МИОКАРДА У БОЛЬНЫХ САХАРНЫМ ДИАБЕТОМ ВТОРОГО ТИПА

Статья в формате PDF 113 KB...

14 07 2026 3:56:12

Использование α-(2-фурфурилокси)-ω-(триэтилсилокси)алканов в качестве стимуляторов роста бактерий в процессе биологической очистки сточных вод

Статья в формате PDF 308 KB...

13 07 2026 4:41:13

ОЦЕНКА ФОРМИРОВАНИЯ ГОТОВНОСТИ ВРАЧА К ПРОФЕССИОНАЛЬНОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ В ЭКСТРЕМАЛЬНЫХ СИТУАЦИЯХ

Статья в формате PDF 244 KB...

12 07 2026 10:58:52

ПРОГНОЗ ГИПОЛИПИДЕМИЧЕСКОГО ЭФФЕКТА СТАТИНОВ, ФИБРАТОВ И ЭНДУРАЦИНА У БОЛЬНЫХ ИБС С ГЛП С ПОМОЩЬЮ НЕЙРОСЕТЕВОЙ ТЕХНОЛОГИИ

Статья в формате PDF 121 KB...

11 07 2026 17:49:56

РАЗРАБОТКА ИНФОРМАЦИОННО-ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ СРЕДЫ ПО МЕХАНИКЕ ДЛЯ СТУДЕНТОВ ВУЗОВ

Статья в формате PDF 129 KB...

10 07 2026 13:19:14

ТРАДИЦИИ И ИННОВАЦИИ В ПРОЕКТИРОВАНИИ СОДЕРЖАНИЯ ВУЗОВСКОГО ОБРАЗОВАНИЯ

Статья в формате PDF 132 KB...

09 07 2026 17:31:35

ФЕНОМЕН ОПАСНОГО ЗНАНИЯ В ДИСКУРСИВНЫХ СТРАТЕГИЯХ НАУЧНОЙ И СОЦИАЛЬНОЙ РАЦИОНАЛЬНОСТИ

Статья в формате PDF 267 KB...

08 07 2026 20:22:35

ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЕ ЗАГРЯЗНЕНИЕ ВОЗДУШНОЙ СРЕДЫ И ЗДОРОВЬЕ ЧЕЛОВЕКА

Статья в формате PDF 131 KB...

07 07 2026 17:40:12

Рабочая программа по физкультурному воспитанию студентов Тюменской государственной сельскохозяйственной академии: состояние, пути усовершенствования

Статья в формате PDF 128 KB...

06 07 2026 4:41:58

КАЧЕСТВО ЭКОНОМИЧЕСКОЙ ИНФОРМАЦИИ

Статья в формате PDF 130 KB...

05 07 2026 10:26:46

ВЛИЯНИЕ НУТРИТИВНОЙ НЕДОСТАТОЧНОСТИ НА ПОКАЗАТЕЛИ ГУМОРАЛЬНОГО ИММУНИТЕТА У БОЛЬНЫХ С ТЯЖЕЛЫМ ВНУТРИМОЗГОВЫМ КРОВОИЗЛИЯНИЕМ

Статья в формате PDF 323 KB...

04 07 2026 0:54:29

ЗАПАС ЭНЕРГИИ В ОРГАНИЗМЕ

Статья в формате PDF 134 KB...

03 07 2026 12:47:39

ОПРЕДЕЛЕНИЕ РАБОТЫ И РАБОТА СИЛЫ ТРЕНИЯ

Показано, что общепринятая формула для определения работы справедлива только для частных случаев. Правильное определение работы. Общепринятая формула работы тоже применима только к одному частному случаю. ...

02 07 2026 9:45:11

ОСОБЕННОСТИ РОССИЙСКОГО ПРЕДПРИНИМАТЕЛЬСТВА НА СОВРЕМЕННОМ ЭТАПЕ

В современной России, в период значительных для государства и его народа преобразований во всех сферах жизни общества наблюдаются изменения. За последние десять лет реформы породили новые виды деятельности, стили жизни, слои населения. В центре внимания исследований нового российского общества оказалось предпринимательство. Российских предпринимателей беспокоит негативное общественное мнение об их деятельности и отчуждения населения, низкий социальный статус в общественном сознании, периодически возникающие деструктивные конфликты с органами власти, отсутствие российских образцов рыночного поведения (традиций, нравов, обычаев), низкая культура предпринимательства. В итоге, феномен предпринимательства в России отличается своей специфичностью, природа которой лежит в особенностях становления данного класса. Стремясь к стандартам западного, образцового предпринимательства, российский бизнесмен не в силах игнорировать давно сложившиеся патриархальные традиции, арсенал накопившихся социальных ресурсов, амбициозность конкурентов, возможность самореализации и “переустройства мира на свой лад”. ...