ПРОБЛЕМЫ СТАБИЛЬНОСТИ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР

Создание современных МЭУ неразрывно связано с построением многослойных плёночных структур (МПС), изготавливаемых на основе различных по своей природе материалов. Известно, что структура и напряжения в плёнках в значительной степени отличаются от тех, что хаpaктерны для массивных образцов. Напряженное состояние структуры является неустойчивым, релаксация сопровождается структурными и морфологическими изменениями, что приводит к деградации слоёв и нестабильности их хаpaктеристик. При контакте разнородных материалов в многослойных структурах деградация усиливается за счёт процессов, происходящих на границе слоёв (взаимная диффузия и растворение, химическое взаимодействие). Интенсивность указанных процессов, резко усиливающихся с повышением температуры, определяется природой контактирующих материалов и структурой слоёв. Повышение стабильности МПС возможно путём уменьшения деградационных процессов, происходящих, как в самих плёнках, так и на границе различных материалов.
В металлодиэлектрических МПС одной из основных причин разрушения является химическое взаимодействие освобождающегося кислорода из оксида диэлектрика с металлом проводящего слоя. Степень освобождения кислорода определяется термодинамической прочностью оксидов. Устойчивость оксидов против химикотермического взаимодействия можно представить в виде следующей последовательности: Al2O3 > ZrO2 > TiO2 > SiO2 > Ta2O5 > Nb2O5 > V2O5.
Склонность к деградации МПС определяется также растворимостью газов в металлах проводящих слоёв; из высокотемпературных металлов наименьшее количество газов поглощают металлы VI и VIII групп. Ещё одним фактором, влияющим на выбор материалов, особенно для термостойких МПС является близость температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР), т.к. при значительной разнице ТКЛР возникающие напряжения и деформации способствуют взаимодействию разнородных слоёв и проникновению освобождающегося кислорода оксида в слой проводника.
Многие технологические операции, реализуемые при создании микроструктур, выполняются при повышенных температурах, поэтому деградационные процессы в МПС могут происходить не только при эксплуатации, но и в процессе изготовления МЭУ. Учитывая указанные обстоятельства, для МПС, особенно предназначенных для работы при повышенных температурах, наиболее предпочтительными металлами являются молибден и вольфрам. В тоже время большая разница в ТКЛР плёнок металлов и оксидов циркония тантала ограничивает возможность применения последних в термостойких металлодиэлектрических структурах; более стабильными являются МПС, где в качестве диэлектриков используются оксиды алюминия и кремния.
Статья в формате PDF
112 KB...
03 05 2026 11:31:58
Статья в формате PDF
307 KB...
02 05 2026 13:29:31
Статья в формате PDF
204 KB...
01 05 2026 23:59:36
Статья в формате PDF
120 KB...
30 04 2026 3:56:11
Статья в формате PDF
365 KB...
29 04 2026 18:28:19
Статья в формате PDF
127 KB...
28 04 2026 4:36:21
Статья в формате PDF
261 KB...
26 04 2026 8:49:41
Статья в формате PDF
127 KB...
25 04 2026 19:42:30
Статья в формате PDF
125 KB...
24 04 2026 0:10:51
Статья в формате PDF
253 KB...
23 04 2026 17:34:43
Статья в формате PDF
131 KB...
22 04 2026 12:56:40
Статья в формате PDF
295 KB...
20 04 2026 18:46:34
Статья в формате PDF
105 KB...
19 04 2026 12:38:34
Статья в формате PDF
311 KB...
18 04 2026 21:10:46
Статья в формате PDF
121 KB...
17 04 2026 20:51:35
Статья в формате PDF
111 KB...
16 04 2026 12:25:13
Статья в формате PDF
148 KB...
15 04 2026 21:39:36
Статья в формате PDF
110 KB...
14 04 2026 11:34:32
Статья в формате PDF
110 KB...
13 04 2026 23:13:46
Статья в формате PDF
132 KB...
11 04 2026 10:23:27
Статья в формате PDF
125 KB...
10 04 2026 10:50:49
Статья в формате PDF
121 KB...
09 04 2026 14:37:19
Статья в формате PDF 106 KB...
08 04 2026 2:58:26
Статья в формате PDF
355 KB...
07 04 2026 11:58:54
Статья в формате PDF
118 KB...
06 04 2026 4:33:48
Статья в формате PDF
165 KB...
04 04 2026 12:26:11
Статья в формате PDF
124 KB...
03 04 2026 6:11:44
Статья в формате PDF
100 KB...
01 04 2026 1:22:38
Все более актуальной в настоящее время становится проблема прогнозирования динамики развития региональных лесных комплексов. В качестве одного из этапов исследований по этой теме автором в содружестве с Гринпис России был выполнен описанный в статье проект. В рамках проекта разработана экономико-математическая модель. Последующая реализация модели на компьютере с использованием реальных данных показала ее эффективность для решения задач прогнозирования лесной отрасли. В качестве региона для апробации модели был выбран Санкт-Петербург и область, где влияние человека на окружающую среду в последнее время существенно возросло. Проведенная на основе статистических тестов верификация модели показала ее соответствие реальности. С целью апробации модели были сформированы два сценария с различными значениями показателей внешнего воздействия на региональную систему лесного комплекса. В результате, после имитации были получены основные параметры регионального лесного комплекса, соответствующие двум сценариям.
...
31 03 2026 1:58:41
Статья в формате PDF
243 KB...
30 03 2026 20:17:28
Статья в формате PDF
110 KB...
29 03 2026 16:30:53
Статья в формате PDF
304 KB...
26 03 2026 7:53:37
Статья в формате PDF
112 KB...
25 03 2026 8:47:30
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::