ПРИНЦИПИАЛЬНЫЕ ПОДХОДЫ К МОДЕЛИРОВАНИЮ ГЕТЕРОГЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
При исследовании закономерностей травления в низкотемпературной газоразрядной плазме необходимо учитывать многообразие гетерогенных массобменных процессов и наличие конкурирующего травлению материала подложки процесса плазменной полимеризации [1,2].
Целью настоящей работы является моделирование влияния глубины травления, размеров окна в маскирующем покрытии, вероятности взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью на форму профиля травления. При этом под взаимодействием понимается как физическое распыление материала подложки, так и химические реакции между химически активными частицами плазмы и подложкой с образованием летучих соединений, приводящие к формированию углублений.
Для получения выражения, описывающего скорость бокового подтравливания нами были введены следующие допущения:
- при травлении представляет собой кнудсенновский газ;
- поток активных частиц (АЧ), ответственных за травление, по всей обpaбатываемой поверхности однороден;
- скорости всех летящих частиц равны;
- рассеяние частиц со дна канавки является диффузионным;
- маска в процессе траления не разрушается;
- подтрав изначально много меньше ширины окна в маске.
Предложенная нами математическая модель описывается следующей системой уравнений:
относительная величина подтрава в точке S
,
максимальная величина бокового подтрава
,
где - скорость травления арсенида галлия в нормальном направлении; ξ - коэффициент взаимодействия АЧ с поверхностью; L - ширина окна в маске; H - глубина травления; Hs - глубина травления до точки S.
С использованием разработанной математической модели были получены результаты, позволяющие оценить влияние глубины травления, размеров окна в маскирующем покрытии, вероятности взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью на форму профиля травления. Полученные результаты расчетов по протравленным элементам топологии оценить вероятность взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью в используемых при проведении технологического процесса режимах.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том. Книга 3// Под ред. Фортова В. Е. - М.: Наука, 2000, 576 с.
- Путря М.Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных структур УБИС плазменными методами: Дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н. - М.: МГИЭТ(ТУ), 2002, 278 с.
Статья в формате PDF
492 KB...
07 02 2025 9:22:24
Статья в формате PDF
134 KB...
06 02 2025 16:10:55
Статья в формате PDF
251 KB...
05 02 2025 20:22:41
Статья в формате PDF
284 KB...
04 02 2025 2:37:47
Статья в формате PDF 106 KB...
03 02 2025 21:19:35
02 02 2025 11:56:52
Статья в формате PDF
244 KB...
01 02 2025 0:16:14
Статья в формате PDF
120 KB...
31 01 2025 7:45:27
Представлен экспериментальный вариант физического воспитания младших школьников в образовательных учреждениях с целью предупреждения негативных последствий воздействия чрезмерной учебной нагрузки на организм школьников. Использование в процессе физического воспитания изометрических упражнений, включенных в уроки физической культуры, показало увеличение статической выносливости на фоне улучшения функционального состояния младших школьников.
...
30 01 2025 23:35:48
В данной работе авторами выдвигается и обосновывается тезис о том, что торгово-коммерческая деятельность является определяющим фактором в системе рыночных отношений.
...
28 01 2025 12:42:18
16 (29) мая 1911 года в Астpaxaнь приехали члeны международной экспедиции под руководством И.И. Мечникова. Экспедиция должна была помочь решить важные проблемы распространения чумы в нашем регионе и создания вакцины против туберкулеза. Детальный анализ публикаций 1911-1912 годов доказывает положительное влияние работы экспедиции И.И. Мечникова на результативность исследований чумы в Киргизских степях. Полевые исследования в Калмыцких степях позволили определить основные направления лабораторного поиска вакцины против туберкулеза.
...
27 01 2025 8:54:42
Статья в формате PDF
123 KB...
26 01 2025 19:48:18
Статья в формате PDF
666 KB...
25 01 2025 20:25:16
Статья в формате PDF
112 KB...
24 01 2025 20:23:37
23 01 2025 19:34:38
Статья в формате PDF
314 KB...
22 01 2025 11:11:13
В статье рассматривается особенность сократовского диалога в контексте идей педагогической антропологии. Методологическим принципом современного педагогического знания является антропологический принцип, и в этой связи диалог как универсальная форма общения участников образовательного процесса приобретает особую значимость. Представлены особенности сократического философского диалога, которые объясняют закономерность выстраивания отношений в системе «человек – человек» в ситуации передачи имеющегося опыта.
...
21 01 2025 4:33:37
Статья в формате PDF
181 KB...
20 01 2025 0:34:38
Статья в формате PDF
119 KB...
19 01 2025 13:20:16
Статья в формате PDF
107 KB...
18 01 2025 10:42:41
Статья в формате PDF
284 KB...
17 01 2025 19:30:26
Статья в формате PDF
100 KB...
15 01 2025 18:48:48
Статья в формате PDF
140 KB...
14 01 2025 20:43:26
Статья в формате PDF
117 KB...
13 01 2025 20:47:16
Статья в формате PDF
232 KB...
12 01 2025 17:18:57
Статья в формате PDF
105 KB...
11 01 2025 17:43:24
Статья в формате PDF
120 KB...
09 01 2025 19:12:41
Статья в формате PDF
109 KB...
08 01 2025 20:37:19
Статья в формате PDF
104 KB...
07 01 2025 0:19:21
Статья в формате PDF
347 KB...
06 01 2025 15:58:11
Статья в формате PDF
120 KB...
05 01 2025 21:45:45
Одним из главных факторов, определяющих межлабораторную воспроизводимость газохроматографических индексов удерживания, является редко принимаемая во внимание их зависимость от соотношения хаpaктеризуемых и реперных компонентов. Показано, что данная зависимость в разной степени проявляется не только в распределительном, но и в адсорбционном варианте хроматографического разделения. Следовательно, ее необходимо учитывать для повышения воспроизводимости измерения хроматографических индексов в газо-адсорбционной хроматографии, в том числе с использованием капиллярных колонок.
...
04 01 2025 21:39:10
Статья в формате PDF
129 KB...
03 01 2025 18:14:35
Статья в формате PDF
128 KB...
02 01 2025 21:52:15
Статья в формате PDF
109 KB...
31 12 2024 5:57:49
Статья в формате PDF
121 KB...
30 12 2024 6:23:29
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::