ПРИНЦИПИАЛЬНЫЕ ПОДХОДЫ К МОДЕЛИРОВАНИЮ ГЕТЕРОГЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
При исследовании закономерностей травления в низкотемпературной газоразрядной плазме необходимо учитывать многообразие гетерогенных массобменных процессов и наличие конкурирующего травлению материала подложки процесса плазменной полимеризации [1,2].
Целью настоящей работы является моделирование влияния глубины травления, размеров окна в маскирующем покрытии, вероятности взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью на форму профиля травления. При этом под взаимодействием понимается как физическое распыление материала подложки, так и химические реакции между химически активными частицами плазмы и подложкой с образованием летучих соединений, приводящие к формированию углублений.
Для получения выражения, описывающего скорость бокового подтравливания нами были введены следующие допущения:
- при травлении представляет собой кнудсенновский газ;
- поток активных частиц (АЧ), ответственных за травление, по всей обpaбатываемой поверхности однороден;
- скорости всех летящих частиц равны;
- рассеяние частиц со дна канавки является диффузионным;
- маска в процессе траления не разрушается;
- подтрав изначально много меньше ширины окна в маске.
Предложенная нами математическая модель описывается следующей системой уравнений:
относительная величина подтрава в точке S
,
максимальная величина бокового подтрава
,
где - скорость травления арсенида галлия в нормальном направлении; ξ - коэффициент взаимодействия АЧ с поверхностью; L - ширина окна в маске; H - глубина травления; Hs - глубина травления до точки S.
С использованием разработанной математической модели были получены результаты, позволяющие оценить влияние глубины травления, размеров окна в маскирующем покрытии, вероятности взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью на форму профиля травления. Полученные результаты расчетов по протравленным элементам топологии оценить вероятность взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью в используемых при проведении технологического процесса режимах.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том. Книга 3// Под ред. Фортова В. Е. - М.: Наука, 2000, 576 с.
- Путря М.Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных структур УБИС плазменными методами: Дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н. - М.: МГИЭТ(ТУ), 2002, 278 с.
Статья в формате PDF
142 KB...
23 03 2026 20:22:32
Статья в формате PDF
113 KB...
22 03 2026 11:34:22
Статья в формате PDF
226 KB...
20 03 2026 2:31:58
Статья в формате PDF
138 KB...
19 03 2026 19:35:54
В работе представлены данные по усовершенствованию методов коррекции нарушений гемостаза у больных с гнойными синуситами при черепно-мозговой травме. Показано, что метод внутрипазушной гепаринотерапии, как компонент комплексного лечения пациентов с гнойными синуситами в остром периоде церебро-фациальной травмы, позволяет эффективно коррегировать гиперкоагуляционные нарушения гемостаза и осуществлять профилактику связанного с этим нарушения синдрома ДВС. ...
18 03 2026 22:25:21
Статья в формате PDF
119 KB...
17 03 2026 6:20:19
Статья в формате PDF
115 KB...
16 03 2026 16:32:49
Статья в формате PDF
113 KB...
15 03 2026 11:15:47
Статья в формате PDF
109 KB...
14 03 2026 22:12:49
Статья в формате PDF
96 KB...
13 03 2026 18:58:48
Статья в формате PDF
392 KB...
12 03 2026 21:21:40
Статья в формате PDF
167 KB...
11 03 2026 21:31:37
Статья в формате PDF
220 KB...
10 03 2026 18:52:39
Самоорганизация мерзлотных геохимических ландшафтов определяется явлением криобиогенеза и эффектами, которые он вызывает. Криобиогенез - это единство и взаимосвязь биогенных и криогенных процессов, формирующих мерзлотную экосистему, в которой геохимические процессы и миграция химических процессов тесно взаимосвязаны и взаимообусловлены энергией, веществом и информацией живого вещества и криогенеза. Главным условием возникновения и развития мерзлотных ландшафтов является непрерывный периодический (зима-лето) круговорот вещества во времени - криогенный и биогенный, проявляющийся в единстве, взаимодействии и соответствии друг с другом. Периодичность и взаимодействие этих главных противоположных процессов обеспечивают целостность и устойчивость системы. Периодичность явлений (зима-лето, оледенение - межледниковье) - важный признак мерзлотных ландшафтов. Этот признак обобщающий критерий и мера самоорганизации системы. В мерзлотном ландшафте биологический круговорот выполняет основную организующую роль. Он связывает воедино биогенный и криогенный циклы миграции - потоки вещества и энергии биогенеза и криогенеза, создают новую информационную систему, отличную от исходных составляющих. Криогенез и самоорганизация наиболее ярко проявляются в экосистемах на рудных провинциях, геохимически специализированных породах, нефтегазоносных и угленосных породах. Высокая самоорганизация мерзлотных ландшафтов (экосистем) Северной Азии с высокой биопродуктивностью и биоразнообразием с обилием животных (звери и рыбы) были главным фактором этногенеза.
...
09 03 2026 19:24:46
Статья в формате PDF
107 KB...
08 03 2026 3:47:29
Статья в формате PDF
162 KB...
03 03 2026 23:37:41
Статья в формате PDF
92 KB...
02 03 2026 10:43:39
Статья в формате PDF
531 KB...
01 03 2026 13:33:26
Статья в формате PDF
265 KB...
28 02 2026 18:57:29
Статья в формате PDF
104 KB...
27 02 2026 13:21:39
В работе представлены результаты органометрического исследования пуповины новорожденных при физиологической беременности и с экстрагeнитaльной патологией: анемией, артериальной гипертензией, артериальной гипотензией, хроническим пиелонефритом с учетом типа телосложения женщины. Выявлена взаимосвязь простых и расчетных показателей параметров пуповины при физиологической и патологической беременности. Это важно для объективной оценки возможных патологических изменений пуповины новорожденных с учетом патологии и соматического типа женщины.
...
26 02 2026 21:36:19
Статья в формате PDF
266 KB...
25 02 2026 2:19:53
Статья в формате PDF
145 KB...
24 02 2026 1:36:22
Для устойчивого развития территориального хозяйства необходимо иметь хаpaктеристику качества речной воды. И такую оценку, например, в динамике проведения санитарно-эпидемиологических испытаний речной воды, предлагается проводить по приведенным в статье примерам выявления статистических закономерностей.
По данным гидрометрических, гидрологических и санитарно-эпидемиологических измерений можно выявлять закономерности многолетних, годичных, сезонных, мecячных, недельных и суточных переменных циклов и волновых колебательных возмущений.
...
23 02 2026 17:59:52
Статья в формате PDF
99 KB...
21 02 2026 15:38:48
Статья в формате PDF
144 KB...
20 02 2026 15:13:55
Статья в формате PDF 91 KB...
17 02 2026 8:32:16
Статья в формате PDF
236 KB...
16 02 2026 21:35:51
Статья в формате PDF
257 KB...
15 02 2026 12:27:16
Статья в формате PDF
113 KB...
14 02 2026 3:11:50
Статья в формате PDF
101 KB...
13 02 2026 2:53:58
Статья в формате PDF
121 KB...
12 02 2026 21:40:51
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::
