ПРИНЦИПИАЛЬНЫЕ ПОДХОДЫ К МОДЕЛИРОВАНИЮ ГЕТЕРОГЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
При исследовании закономерностей травления в низкотемпературной газоразрядной плазме необходимо учитывать многообразие гетерогенных массобменных процессов и наличие конкурирующего травлению материала подложки процесса плазменной полимеризации [1,2].
Целью настоящей работы является моделирование влияния глубины травления, размеров окна в маскирующем покрытии, вероятности взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью на форму профиля травления. При этом под взаимодействием понимается как физическое распыление материала подложки, так и химические реакции между химически активными частицами плазмы и подложкой с образованием летучих соединений, приводящие к формированию углублений.
Для получения выражения, описывающего скорость бокового подтравливания нами были введены следующие допущения:
- при травлении представляет собой кнудсенновский газ;
- поток активных частиц (АЧ), ответственных за травление, по всей обpaбатываемой поверхности однороден;
- скорости всех летящих частиц равны;
- рассеяние частиц со дна канавки является диффузионным;
- маска в процессе траления не разрушается;
- подтрав изначально много меньше ширины окна в маске.
Предложенная нами математическая модель описывается следующей системой уравнений:
относительная величина подтрава в точке S
,
максимальная величина бокового подтрава
,
где - скорость травления арсенида галлия в нормальном направлении; ξ - коэффициент взаимодействия АЧ с поверхностью; L - ширина окна в маске; H - глубина травления; Hs - глубина травления до точки S.
С использованием разработанной математической модели были получены результаты, позволяющие оценить влияние глубины травления, размеров окна в маскирующем покрытии, вероятности взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью на форму профиля травления. Полученные результаты расчетов по протравленным элементам топологии оценить вероятность взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью в используемых при проведении технологического процесса режимах.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том. Книга 3// Под ред. Фортова В. Е. - М.: Наука, 2000, 576 с.
- Путря М.Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных структур УБИС плазменными методами: Дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н. - М.: МГИЭТ(ТУ), 2002, 278 с.
Статья в формате PDF
116 KB...
22 05 2026 3:57:54
Статья в формате PDF
134 KB...
21 05 2026 2:58:33
Статья в формате PDF
134 KB...
20 05 2026 5:15:26
Статья в формате PDF
249 KB...
19 05 2026 21:27:34
Статья в формате PDF
228 KB...
17 05 2026 16:34:42
Статья в формате PDF
123 KB...
16 05 2026 19:49:46
Озонированный (5х10 -7 г/мл) раствор Кребса не влиял на базальный тонус продольных полосок (n=21) трахеи 5 коров, а также на их тонус, вызванный ацетилхолином (10 -6 г/мл), но в 43% опытов достоверно уменьшал релаксирующий эффект адреналина (10 -7 г/мл), т.е. проявлял β-адреноблокирующий эффект. Это свойство озона необходимо учитывать при нормировании условий труда в производствах с повышенным образованием озона и при озонотерапии.
...
14 05 2026 13:44:13
Статья в формате PDF
266 KB...
13 05 2026 10:53:30
Статья в формате PDF
269 KB...
12 05 2026 14:18:35
Статья в формате PDF
266 KB...
09 05 2026 8:17:56
Статья в формате PDF
102 KB...
08 05 2026 3:58:52
Статья в формате PDF
117 KB...
07 05 2026 17:58:50
Статья в формате PDF
230 KB...
06 05 2026 2:42:14
Статья в формате PDF
145 KB...
05 05 2026 8:49:47
Статья в формате PDF
102 KB...
04 05 2026 7:45:49
Статья в формате PDF
111 KB...
03 05 2026 22:35:51
Статья в формате PDF
286 KB...
02 05 2026 7:22:55
Статья в формате PDF
112 KB...
01 05 2026 5:45:42
Статья в формате PDF 136 KB...
30 04 2026 10:58:17
Статья в формате PDF
250 KB...
29 04 2026 5:54:13
Статья в формате PDF
105 KB...
28 04 2026 10:16:31
Статья в формате PDF
121 KB...
27 04 2026 3:31:23
В статье постовариоэктомический синдром рассматривается как предиктор метаболического синдрома у женщин различных возрастных групп. На результатах анализа разнообразного клинико-диагностического материала показано, что женщин с постовариоэктомическим синдромом в возрасте после 40 лет достоверно чаще наблюдаются метаболические нарушения.
...
26 04 2026 11:41:42
Статья в формате PDF
116 KB...
25 04 2026 3:57:43
Статья в формате PDF
119 KB...
24 04 2026 14:55:42
В статье рассматривается один из вариантов решения проблемы трудовых ресурсов для России. Эта проблема в силу демографического спада и пpaктиковавшейся не одно десятилетие порочной пpaктики монопсонии¸ как государственной доктрины стала очень острой. Описывается процесс распределения нагрузки в процессе освоения массовых рабочих профессий с учетом психологических и психофизиологических особенностей обучаемого на основе базовой системы микроэлементного нормирования.
...
23 04 2026 13:12:27
Статья в формате PDF
303 KB...
22 04 2026 12:56:26
Статья в формате PDF
154 KB...
21 04 2026 11:39:27
Статья в формате PDF
114 KB...
20 04 2026 5:33:33
Статья в формате PDF
147 KB...
19 04 2026 12:11:10
Статья в формате PDF
120 KB...
18 04 2026 4:13:16
Статья в формате PDF
135 KB...
17 04 2026 15:39:30
Статья в формате PDF
242 KB...
15 04 2026 3:24:12
Статья в формате PDF
251 KB...
14 04 2026 8:52:49
Статья в формате PDF
117 KB...
13 04 2026 11:46:34
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::
