ПРИНЦИПИАЛЬНЫЕ ПОДХОДЫ К МОДЕЛИРОВАНИЮ ГЕТЕРОГЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ > Полезные советы
Тысяча полезных мелочей    

ПРИНЦИПИАЛЬНЫЕ ПОДХОДЫ К МОДЕЛИРОВАНИЮ ГЕТЕРОГЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

ПРИНЦИПИАЛЬНЫЕ ПОДХОДЫ К МОДЕЛИРОВАНИЮ ГЕТЕРОГЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Беневоленский С.Б. Позднев А.В. Статья в формате PDF 127 KB

При исследовании закономерностей травления в низкотемпературной газоразрядной плазме необходимо учитывать многообразие гетерогенных массобменных процессов и наличие конкурирующего травлению материала подложки процесса плазменной полимеризации [1,2].

Целью настоящей работы является моделирование влияния глубины травления, размеров окна в маскирующем покрытии, вероятности взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью на форму профиля травления. При этом под взаимодействием понимается как физическое распыление материала подложки, так и химические реакции между химически активными частицами плазмы и подложкой с образованием летучих соединений, приводящие к формированию углублений.

Для получения выражения, описывающего скорость бокового подтравливания нами были введены следующие допущения:

- при травлении представляет собой кнудсенновский газ;

- поток активных частиц (АЧ), ответственных за травление, по всей обpaбатываемой поверхности однороден;

- скорости всех летящих частиц равны;

- рассеяние частиц со дна канавки является диффузионным;

- маска в процессе траления не разрушается;

- подтрав изначально много меньше ширины окна в маске.

Предложенная нами математическая модель описывается следующей системой уравнений:

относительная величина подтрава в точке S

,

максимальная величина бокового подтрава

,

где - скорость травления арсенида галлия в нормальном направлении; ξ - коэффициент взаимодействия АЧ с поверхностью; L - ширина окна в маске; H - глубина травления; Hs - глубина травления до точки S.

С использованием разработанной математической модели были получены результаты, позволяющие оценить влияние глубины травления, размеров окна в маскирующем покрытии, вероятности взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью на форму профиля травления. Полученные результаты расчетов по протравленным элементам топологии оценить вероятность взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью в используемых при проведении технологического процесса режимах.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

  1. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том. Книга 3// Под ред. Фортова В. Е. - М.: Наука, 2000, 576 с.
  2. Путря М.Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных структур УБИС плазменными методами: Дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н. - М.: МГИЭТ(ТУ), 2002, 278 с.


Метаболические нарушения при артериальной гипертонии

Метаболические нарушения при артериальной гипертонии Статья в формате PDF 125 KB...

24 04 2024 19:30:26

ФОРМИРОВАНИЕ НОВЫХ КАЧЕСТВ ЗНАНИЙ У РАБОТНИКОВ ОБРАЗОВАНИЯ

ФОРМИРОВАНИЕ НОВЫХ КАЧЕСТВ ЗНАНИЙ У РАБОТНИКОВ ОБРАЗОВАНИЯ Статья в формате PDF 109 KB...

23 04 2024 17:19:32

ТРАНСФОРМАЦИЯ СТРУКТУРЫ И ФУНКЦИЙ СТРУКТУРНЫХ ПОДРАЗДЕЛЕНИЙ РОССИЙСКИХ ВУЗОВ ПРИ ИХ ИНТЕГРАЦИИ В ОБЩЕЕВРОПЕЙСКОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ ПРОСТРАНСТВО

Статья в формате PDF 137 KB...

22 04 2024 21:10:41

СИНТЕЗЫ НА ОСНОВЕ 2(5H)-ФУРАНОНА НОВЫХ S– СОДЕРЖАЩИХ ПОЛИФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СОЕДИНЕНИЙ

СИНТЕЗЫ НА ОСНОВЕ 2(5H)-ФУРАНОНА НОВЫХ S– СОДЕРЖАЩИХ ПОЛИФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СОЕДИНЕНИЙ Статья в формате PDF 110 KB...

21 04 2024 10:23:21

ПРИМЕНЕНИЕ НОВЫХ МЕТОДОВ ОБУЧЕНИЯ В ПРЕПОДАВАНИИ ЮРИДИЧЕСКИХ ДИСЦИПЛИН

ПРИМЕНЕНИЕ НОВЫХ МЕТОДОВ ОБУЧЕНИЯ В ПРЕПОДАВАНИИ ЮРИДИЧЕСКИХ ДИСЦИПЛИН Статья в формате PDF 107 KB...

20 04 2024 4:49:15

КИНЕМАТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛОСКОГО ВОСЬМИЗВЕННОГО МЕХАНИЗМА ШЕСТОГО КЛАССА С ПОСТУПАТЕЛЬНОЙ ПАРОЙ

КИНЕМАТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛОСКОГО ВОСЬМИЗВЕННОГО МЕХАНИЗМА ШЕСТОГО КЛАССА С ПОСТУПАТЕЛЬНОЙ ПАРОЙ Статья в формате PDF 371 KB...

19 04 2024 15:37:18

НОВОЕ МИРОВОЗЗРЕНИЕ НА ПУТИ К ХХI ВЕКУ

Статья в формате PDF 143 KB...

18 04 2024 16:24:48

УЛУЧШЕНИЕ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ КАЧЕСТВА МОБИЛЬНОЙ МАШИНЫ

УЛУЧШЕНИЕ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ КАЧЕСТВА МОБИЛЬНОЙ МАШИНЫ Статья в формате PDF 135 KB...

17 04 2024 21:59:42

ПЕРСПЕКТИВЫ ПОЛУЧЕНИЯ БЕЛКА ИЗ ПШЕНИЦЫ

ПЕРСПЕКТИВЫ ПОЛУЧЕНИЯ БЕЛКА ИЗ ПШЕНИЦЫ Статья в формате PDF 262 KB...

16 04 2024 16:15:58

ЭКОЛОГИЯ КВАРТИРЫ

ЭКОЛОГИЯ КВАРТИРЫ Статья в формате PDF 97 KB...

15 04 2024 13:17:50

БИОХИМИЧЕСКИЕ И ИММУНОЛОГИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ КРОВИ У БОЛЬНЫХ С ХЛАМИДИЙНОЙ И УРЕАПЛАЗМЕННОЙ ИНФЕКЦИЯМИ В УСЛОВИЯХ СРЕДНЕГО ПРИОБЬЯ (СУРГУТ)

БИОХИМИЧЕСКИЕ И ИММУНОЛОГИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ КРОВИ У БОЛЬНЫХ С ХЛАМИДИЙНОЙ И УРЕАПЛАЗМЕННОЙ ИНФЕКЦИЯМИ В УСЛОВИЯХ СРЕДНЕГО ПРИОБЬЯ (СУРГУТ) Проведены биохимические и иммунологические исследования крови у больных с урогeнитaльными инфекциями в условиях Среднего Приобья. Отмечены патологические изменения показателей белкового, липидного обменов и активация белков острой фазы. Наблюдалось резкое повышение активности креатинкиназы в крови всех групп больных. Результаты иммунологических исследований показали изменения В-клеточного звена в сторону увеличение уровня иммуноглобулинов IgG, IgA и снижение активности Т-клеточного звена иммунитета. ...

14 04 2024 19:42:59

ИССЛЕДОВАНИЕ ЭКОЛОГИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ РЕКИ С ЦЕЛЬЮ ПРИРОДООХРАННОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ

ИССЛЕДОВАНИЕ ЭКОЛОГИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ РЕКИ С ЦЕЛЬЮ ПРИРОДООХРАННОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ Статья в формате PDF 97 KB...

13 04 2024 4:56:27

ОЦЕНКА ВЛИЯНИЯ СТАТИЧЕСКОЙ И ДИНАМИЧЕСКОЙ НАГРУЗКИ НА СОСУДИСТО-ПАРЕНХИМАТОЗНЫЕ ОТНОШЕНИЯ В ЩИТОВИДНОЙ ЖЕЛЕЗЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ДВУХФАКТОРНОГО ДИСПЕРСИОННОГО АНАЛИЗА

ОЦЕНКА ВЛИЯНИЯ СТАТИЧЕСКОЙ И ДИНАМИЧЕСКОЙ НАГРУЗКИ НА СОСУДИСТО-ПАРЕНХИМАТОЗНЫЕ ОТНОШЕНИЯ В ЩИТОВИДНОЙ ЖЕЛЕЗЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ДВУХФАКТОРНОГО ДИСПЕРСИОННОГО АНАЛИЗА Статья в формате PDF 120 KB...

12 04 2024 6:44:11

БИЛИОДИГЕСТИВНЫЕ АНАСТОМОЗЫ ПРИ ЗАБОЛЕВАНИЯХ ГЕПАТИКОХОЛЕДОХА

БИЛИОДИГЕСТИВНЫЕ АНАСТОМОЗЫ ПРИ ЗАБОЛЕВАНИЯХ ГЕПАТИКОХОЛЕДОХА Статья в формате PDF 94 KB...

11 04 2024 11:29:46

ОСОБЕННОСТИ ЗАБОЛЕВАЕМОСТИ ПОПУЛЯЦИИ СЕЛЬСКИХ ПОЖИЛЫХ ЖИТЕЛЕЙ

ОСОБЕННОСТИ ЗАБОЛЕВАЕМОСТИ ПОПУЛЯЦИИ СЕЛЬСКИХ ПОЖИЛЫХ ЖИТЕЛЕЙ Статья в формате PDF 102 KB...

10 04 2024 11:39:58

ПЕДАГОГИКА ЗДОРОВЬЯ: ОБУЧЕНИЕ ДЕТЕЙ НАВЫКАМ ОСОЗНАННОЙ САМОРЕГУЛЯЦИИ ПРОИЗВОЛЬНОЙ АКТИВНОСТИ

ПЕДАГОГИКА ЗДОРОВЬЯ: ОБУЧЕНИЕ ДЕТЕЙ НАВЫКАМ ОСОЗНАННОЙ САМОРЕГУЛЯЦИИ ПРОИЗВОЛЬНОЙ АКТИВНОСТИ Статья в формате PDF 269 KB...

09 04 2024 19:38:17

К ВОПРОСУ О СОСТОЯНИИ БИОРИТМОВ ФИЗИОЛОГИЧЕСКИХ ФУНКЦИЙ У ЖЕНЩИН РЕПРОДУКТИВНОГО ВОЗРАСТА С ВАГИНАЛЬНЫМ ДИСБАКТЕРИОЗОМ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ ЭКОЛОГИЧЕСКИХ ФАКТОРОВ

К ВОПРОСУ О СОСТОЯНИИ БИОРИТМОВ ФИЗИОЛОГИЧЕСКИХ ФУНКЦИЙ У ЖЕНЩИН РЕПРОДУКТИВНОГО ВОЗРАСТА С ВАГИНАЛЬНЫМ ДИСБАКТЕРИОЗОМ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ ЭКОЛОГИЧЕСКИХ ФАКТОРОВ Статья в формате PDF 111 KB...

08 04 2024 16:12:32

ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРА ИЗМЕНЕНИЯ ТВЁРДОСТИ БОЧЕК ОПОРНЫХ ВАЛКОВ ТОНКОЛИСТОВОГО СТАНА

ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРА ИЗМЕНЕНИЯ ТВЁРДОСТИ БОЧЕК ОПОРНЫХ ВАЛКОВ ТОНКОЛИСТОВОГО СТАНА Статья в формате PDF 322 KB...

07 04 2024 7:32:44

ПОРАЖЕНИЕ МИОКАРДА У БОЛЬНЫХ С САХАРНЫМ ДИАБЕТОМ 2 ТИПА В СОЧЕТАНИИ И БЕЗ ИБС ПО ДАННЫМ ЭХОКАРДИОГРАФИИ

ПОРАЖЕНИЕ МИОКАРДА У БОЛЬНЫХ С САХАРНЫМ ДИАБЕТОМ 2 ТИПА В СОЧЕТАНИИ И БЕЗ ИБС ПО ДАННЫМ ЭХОКАРДИОГРАФИИ Статья в формате PDF 91 KB...

06 04 2024 16:14:47

ПРОБЛЕМЫ ПЕРЕВОДА НЕМЕЦКИХ ФРАЗЕОЛОГИЗМОВ С НАЦИОНАЛЬНО-КУЛЬТУРНОЙ СПЕЦИФИКОЙ

ПРОБЛЕМЫ ПЕРЕВОДА НЕМЕЦКИХ ФРАЗЕОЛОГИЗМОВ С НАЦИОНАЛЬНО-КУЛЬТУРНОЙ СПЕЦИФИКОЙ Статья в формате PDF 119 KB...

05 04 2024 6:32:17

МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ В КОСТНОЙ ТКАНИ ПРИ ХРОНИЧЕСКОМ ОСТЕОМИЕЛИТЕ НА ФОНЕ ПРИМЕНЕНИЯ ТРОМБОЦИТАРНОГО КОНЦЕНТРАТА

МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ В КОСТНОЙ ТКАНИ ПРИ ХРОНИЧЕСКОМ ОСТЕОМИЕЛИТЕ НА ФОНЕ ПРИМЕНЕНИЯ ТРОМБОЦИТАРНОГО КОНЦЕНТРАТА Статья в формате PDF 284 KB...

04 04 2024 18:52:28

АКТУАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ КОММУНИКАТИВНОЙ ФУНКЦИИ РУССКОГО ЯЗЫКА СТУДЕНТАМИ ИЗ СТРАН АЗИАТСКО-ТИХООКЕАНСКОГО РЕГИОНА

АКТУАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ КОММУНИКАТИВНОЙ ФУНКЦИИ РУССКОГО ЯЗЫКА СТУДЕНТАМИ ИЗ СТРАН АЗИАТСКО-ТИХООКЕАНСКОГО РЕГИОНА Статья в формате PDF 109 KB...

03 04 2024 6:56:26

Tрaнcпортная способность альбумина у больных распространенным гнойным перитонитом

Tрaнcпортная способность альбумина у больных распространенным гнойным перитонитом Статья в формате PDF 103 KB...

02 04 2024 18:25:37

АЛЕКСЕЙ ТИМОФЕЕВИЧ КАЛИНИН

АЛЕКСЕЙ ТИМОФЕЕВИЧ КАЛИНИН Статья в формате PDF 209 KB...

01 04 2024 12:32:45

ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНОЕ АЭРИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭКОЛОГИЧЕСКИХ СИСТЕМ

ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНОЕ АЭРИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭКОЛОГИЧЕСКИХ СИСТЕМ Статья в формате PDF 182 KB...

31 03 2024 12:20:10

Морфология щитовидной железы у плодов и новорожденных при патологии беременности

Морфология щитовидной железы у плодов и новорожденных при патологии беременности Статья в формате PDF 102 KB...

30 03 2024 20:50:26

ТЕНДЕНЦИЯ РАЗВИТИЯ ЕСТЕСТВЕННОНАУЧНОГО И ЭКОЛОГИЧЕСКОГО ОБРАЗОВАНИЯ РЕСПУБЛИКИ САХА (ЯКУТИЯ)

ТЕНДЕНЦИЯ РАЗВИТИЯ ЕСТЕСТВЕННОНАУЧНОГО И ЭКОЛОГИЧЕСКОГО ОБРАЗОВАНИЯ РЕСПУБЛИКИ САХА (ЯКУТИЯ) Статья в формате PDF 101 KB...

29 03 2024 10:36:55

ИЗМЕНЕНИЯ В СИСТЕМЕ ЦИТОКИНОВ У ПАЦИЕНТОВ С ТЯЖЕЛОЙ СТЕПЕНЬЮ АТЕРОСКЛЕРОТИЧЕСКОГО ПОРАЖЕНИЯ КОРОНАРНОГО РУСЛА ПЕРЕД ПРОВЕДЕНИЕМ ОПЕРАЦИИ АОРТОКОРОНАРНОГО ШУНТИРОВАНИЯ

ИЗМЕНЕНИЯ В СИСТЕМЕ ЦИТОКИНОВ У ПАЦИЕНТОВ С ТЯЖЕЛОЙ СТЕПЕНЬЮ АТЕРОСКЛЕРОТИЧЕСКОГО ПОРАЖЕНИЯ КОРОНАРНОГО РУСЛА ПЕРЕД ПРОВЕДЕНИЕМ ОПЕРАЦИИ АОРТОКОРОНАРНОГО ШУНТИРОВАНИЯ Статья в формате PDF 129 KB...

28 03 2024 15:59:33

ИТЕРАЦИОННЫЙ МОДУЛЯРНЫЙ ДИЗАЙН ДВУМЕРНЫХ НАНОСТРУКТУР

ИТЕРАЦИОННЫЙ МОДУЛЯРНЫЙ ДИЗАЙН ДВУМЕРНЫХ НАНОСТРУКТУР В данной работе предложена эволюционная модель формирования двумерных структур. Определены алгоритмы формирования структур в априори структурированном двумерном прострaнcтве путем заполнения его в соответствии с определенными эволюционными правилами. ...

27 03 2024 20:22:29

КОМПЬЮТЕРИЗАЦИЯ УЧЕБНОГО ПРОЦЕССА В ВЫСШЕЙ ШКОЛЕ

КОМПЬЮТЕРИЗАЦИЯ УЧЕБНОГО ПРОЦЕССА В ВЫСШЕЙ ШКОЛЕ Статья в формате PDF 153 KB...

26 03 2024 21:18:44

Научные основы выбора способов биологической Рекультивации отвалов карьера «Айхал»

Научные основы выбора способов биологической Рекультивации отвалов карьера «Айхал» Представлены результаты двухлетних опытных работ с целью разработки эффективных способов биологической рекультивации без нанесения плодородного слоя на отвалах Айхальского ГОКа. ...

25 03 2024 17:45:30

ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ВИРТУАЛЬНОЙ ВЕРБАЛЬНОЙ РЕЧЕВОЙ ИДЕНТИФИКАЦИИ

ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ВИРТУАЛЬНОЙ ВЕРБАЛЬНОЙ РЕЧЕВОЙ ИДЕНТИФИКАЦИИ Статья в формате PDF 96 KB...

24 03 2024 21:20:14

СИСТЕМА ЭКОЛОГИЧЕСКИХ ВОЗЗРЕНИЙ МОРДВЫ В РЕЛИГИОЗНО-ОБРЯДОВОЙ СФЕРЕ

СИСТЕМА ЭКОЛОГИЧЕСКИХ ВОЗЗРЕНИЙ МОРДВЫ В РЕЛИГИОЗНО-ОБРЯДОВОЙ СФЕРЕ Статья в формате PDF 124 KB...

23 03 2024 23:27:20

НРАВСТВЕННОЕ ОТНОШЕНИЕ УЧЕНИКА К УЧИТЕЛЮ

НРАВСТВЕННОЕ ОТНОШЕНИЕ УЧЕНИКА К УЧИТЕЛЮ Статья в формате PDF 95 KB...

22 03 2024 12:58:26

ОТВЕТСТВЕННОСТЬ ЗА ТЕРРОРИЗМ: ПРОБЛЕМЫ ТЕОРИИ И ПРАКТИКИ

ОТВЕТСТВЕННОСТЬ ЗА ТЕРРОРИЗМ: ПРОБЛЕМЫ ТЕОРИИ И ПРАКТИКИ Статья в формате PDF 251 KB...

21 03 2024 11:30:32

Правовое регулирование труда женщин и лиц с семейными обязанностями

Правовое регулирование труда женщин и лиц с семейными обязанностями Статья в формате PDF 113 KB...

20 03 2024 4:45:43

ПРИЛОЖЕНИЯ ТЕОРИИ ФУНКЦИИ КОМПЛЕКСНОГО ПЕРЕМЕННОГО К ВЫЧИСЛЕНИЮ НЕСОБСТВЕННЫХ ИНТЕГРАЛОВ

ПРИЛОЖЕНИЯ ТЕОРИИ ФУНКЦИИ КОМПЛЕКСНОГО ПЕРЕМЕННОГО К ВЫЧИСЛЕНИЮ НЕСОБСТВЕННЫХ ИНТЕГРАЛОВ Статья в формате PDF 722 KB...

19 03 2024 2:22:12

РАСШИРЕНИЕ ПРИНЦИПА «ТРЕХ СРЕД» В ПРОФЕССИОНАЛЬНОМ ОБУЧЕНИИ МСЗ

РАСШИРЕНИЕ ПРИНЦИПА «ТРЕХ СРЕД» В ПРОФЕССИОНАЛЬНОМ ОБУЧЕНИИ МСЗ Статья в формате PDF 136 KB...

18 03 2024 5:26:48

Сезонные изменения функциональных показателей лейкоцитов крови у спортсменов

Сезонные изменения функциональных показателей лейкоцитов крови у спортсменов Статья в формате PDF 116 KB...

17 03 2024 11:54:35

ОБ ОНТОЛОГИЧЕСКОЙ СПЕЦИФИКЕ НАУКИ И ИСКУССТВА

ОБ ОНТОЛОГИЧЕСКОЙ СПЕЦИФИКЕ НАУКИ И ИСКУССТВА Статья в формате PDF 129 KB...

16 03 2024 2:19:48

Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::