ПРИНЦИПИАЛЬНЫЕ ПОДХОДЫ К МОДЕЛИРОВАНИЮ ГЕТЕРОГЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Авторы
Файлы

Беневоленский С.Б. Позднев А.В. Статья в формате PDF 127 KB

При исследовании закономерностей травления в низкотемпературной газоразрядной плазме необходимо учитывать многообразие гетерогенных массобменных процессов и наличие конкурирующего травлению материала подложки процесса плазменной полимеризации [1,2].

Целью настоящей работы является моделирование влияния глубины травления, размеров окна в маскирующем покрытии, вероятности взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью на форму профиля травления. При этом под взаимодействием понимается как физическое распыление материала подложки, так и химические реакции между химически активными частицами плазмы и подложкой с образованием летучих соединений, приводящие к формированию углублений.

Для получения выражения, описывающего скорость бокового подтравливания нами были введены следующие допущения:

- при травлении представляет собой кнудсенновский газ;

- поток активных частиц (АЧ), ответственных за травление, по всей обpaбатываемой поверхности однороден;

- скорости всех летящих частиц равны;

- рассеяние частиц со дна канавки является диффузионным;

- маска в процессе траления не разрушается;

- подтрав изначально много меньше ширины окна в маске.

Предложенная нами математическая модель описывается следующей системой уравнений:

относительная величина подтрава в точке S

максимальная величина бокового подтрава

где - скорость травления арсенида галлия в нормальном направлении; ξ - коэффициент взаимодействия АЧ с поверхностью; L - ширина окна в маске; H - глубина травления; H_s - глубина травления до точки S.

С использованием разработанной математической модели были получены результаты, позволяющие оценить влияние глубины травления, размеров окна в маскирующем покрытии, вероятности взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью на форму профиля травления. Полученные результаты расчетов по протравленным элементам топологии оценить вероятность взаимодействия травящих частиц с обpaбатываемой поверхностью в используемых при проведении технологического процесса режимах.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том. Книга 3// Под ред. Фортова В. Е. - М.: Наука, 2000, 576 с.
Путря М.Г. Физико-технологические основы формирования трехмерных структур УБИС плазменными методами: Дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н. - М.: МГИЭТ(ТУ), 2002, 278 с.

Иммунологический контроль в системе эпидемиологического надзора за управляемыми инфекциями

Статья в формате PDF 124 KB...

30 08 2026 4:48:59

БИБЛИОМЕТРИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ИССЛЕДОВАНИЙ ДЕЙСТВИЯ НЕИОНИЗИРУЮЩИХ ИЗЛУЧЕНИЙ ВО ВТОРОЙ ПОЛОВИНЕ ХХ-ОГО ВЕКА (MEDLINE-INTERNET)

Статья в формате PDF 132 KB...

29 08 2026 10:50:17

АНАЛИЗ ЭФФЕКТИВНОСТИ ПОДГОТОВКИ СВОБОДНЫХ ЗАЩИТНИКОВ В ВОЛЕЙБОЛЕ

Статья в формате PDF 250 KB...

28 08 2026 14:50:18

Лимфатическая система как функциональная стресс-лимитирующая система организма

Статья в формате PDF 111 KB...

27 08 2026 0:14:36

ГЧП — ОПТИМАЛЬНАЯ МОДЕЛЬ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЧАСТНОГО БИЗНЕСА И ГОСУДАРСТВА В УСЛОВИЯХ ИННОВАЦИОННОЙ ЭКОНОМИКИ

Статья в формате PDF 257 KB...

26 08 2026 20:29:44

ПРОБЛЕМА АУТЕНТИЧНОГО ОЦЕНИВАНИЯ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ СТУДЕНТА В УСЛОВИЯХ ВНЕДРЕНИЯ СИСТЕМЫ МЕНЕДЖМЕНТА КАЧЕСТВА

Статья в формате PDF 124 KB...

25 08 2026 16:55:24

ОБ ЭКОЛОГО-ЭКОНОМИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ РЕГИОНА КАВКАЗСКИХ МИНЕРАЛЬНЫХ ВОД

Статья в формате PDF 102 KB...

24 08 2026 9:40:12

РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ГЕМОСТАЗА БОЛЬНЫХ ГИПЕРТОНИЧЕСКОЙ БОЛЕЗНЬЮ И СТЕНОКАРДИЕЙ НАПРЯЖЕНИЯ ФК ΙΙΙ ДО И ПОСЛЕ ПРИМЕНЕНИЯ ПРЕПАРАТА « МОНОЧИНКВЕ РЕТАРД »

Статья в формате PDF 100 KB...

23 08 2026 15:12:29

АСПЕКТЫ СОХРАНЕНИЯ ОБЕСПЕЧЕННОСТИ ПАНТОТЕНОВОЙ КИСЛОТОЙ МОЛОДНЯКА СВИНЕЙ В НАЧАЛЕ ПЕРИОДА ОТКОРМА

Статья в формате PDF 61 KB...

22 08 2026 17:24:59

СПОСОБ ЛЕЧЕНИЯ ГИПЕРТРОФИЧЕСКИХ РУБЦОВ

Статья в формате PDF 111 KB...

21 08 2026 21:11:26

ВЛИЯНИЕ РЕКОМБИНАНТНОГО ИНТЕРФЕРОНА НА ПАТОГЕНЕЗ ОБСТРУКТИВНОГО БРОНХИТА

Статья в формате PDF 101 KB...

20 08 2026 14:58:26

Нарушения фагоцитарного звена системы антиинфекционной защиты при экспериментальном холангите и панкреатите

Статья в формате PDF 123 KB...

19 08 2026 14:46:30

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ БИОХИМИЧЕСКИХ КРИТЕРИЕВ КОНТРОЛЯ СОРЕВНОВАТЕЛЬНОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ПЛОВЦОВ В ПРОЦЕССЕ МНОГОЛЕТНЕЙ ПОДГОТОВКИ

Статья в формате PDF 108 KB...

18 08 2026 2:22:21

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОТИВООПУХОЛЕВОЙ И ЦИТОТОКСИЧЕСКОЙ АКТИВНОСТИ ЭКСТРАКТА ЧИСТОТЕЛА БОЛЬШОГО (CHELIDONIUM MAJUS)

Статья в формате PDF 131 KB...

17 08 2026 22:22:52

ВОДОРОСЛИ, КОРНИ ВЫСШИХ РАСТЕНИЙ И ГРИБЫ КАК БИОФИЛЬТРУЮЩИЕ СИСТЕМЫ В ОЧИСТКЕ ВОДЫ

Статья в формате PDF 144 KB...

16 08 2026 2:55:37

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ НИЗКОИНТЕНСИВНОГО ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ КОРРЕКЦИИ ЦИТОКИНОВОГО СТАТУСА ПРИ МОДЕЛИРОВАНИИ ИНФЕКЦИОННОГО ПРОЦЕССА В ОРГАНИЗМЕ ЛАБОРАТОРНЫХ ЖИВОТНЫХ

Статья в формате PDF 110 KB...

15 08 2026 19:50:47

ПРЕЕМСТВЕННОСТЬ ПСИХОЛОГО-ПЕДАГОГИЧЕСКОГО ВОСПИТАНИЯ ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ

Статья в формате PDF 296 KB...

14 08 2026 15:25:43

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПЛОЩАДИ ОБЪЕКТОВ ОБСЛУЖИВАНИЯ НА РЕКОНСТРУИРУЕМОЙ ТЕРРИТОРИИ ЖИЛОЙ ЗАСТРОЙКИ 60-70-Х ГОДОВ

Статья в формате PDF 314 KB...

13 08 2026 0:24:16

О ВОЗМОЖНОСТИ ТЕОРЕТИЧЕСКОГО ОБОСНОВАНИЯ ПОСТУЛАТА ПЛАНКА НА ОСНОВЕ ОБОБЩЁННОГО УРАВНЕНИЯ ШРЕДИНГЕРА

Статья в формате PDF 149 KB...

12 08 2026 4:39:17

ГЕОМЕТРИЧЕСКОЕ ОБРАЗОВАНИЕ ШКОЛЬНИКОВ В УСЛОВИЯХ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ГОС

Статья в формате PDF 120 KB...

11 08 2026 1:36:16

ТЕОРИЯ СТРУКТУРНЫХ ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ LiCO2

Статья в формате PDF 97 KB...

10 08 2026 2:12:53

СКРИНИНГОВЫЕ ОБСЛЕДОВАНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДОВ ЭКСПРЕСС-ДИАГНОСТИКИ НАРУШЕНИЙ ФУНКЦИИ ЩИТОВИДНОЙ ЖЕЛЕЗЫ

В работе приводятся данные скрининговых обследований состояния щитовидной железы студентов в возрасте от 16 до 18 лет. При проведении исследований использовались методы экспресс-диагностики, разработанные авторами статьи и на которые получены патенты РФ. На первом этапе обследований проводились прямые измерения длительности коленного рефлекса с помощью электронного рефлексометра; на втором этапе проводилось количественное определение степени увлажненности кожных покровов на приборе с датчиком влажности. Обследования проводились на группе из 246 человек. После статистической обработки данных измерений была проведена их рандомизация с использованием критериев, установленных в ходе клинических испытаний разработанных приборов. Полученные данные представлены в виде гистограмм. В результате проведенных исследований установлен контингент студентов, у которых по полученным данным можно предполагать наличие гипофункции щитовидной железы. Доля таких лиц из числа обследованных составляет порядка 18 %. У незначительной части обследованных были установлены признаки гипертиреоза. Их доля не превышает 5 %. Сравнение данных, полученных двумя разными методами на каждом обследуемом, показал их полную корреляцию в 95 % случаев. Студенты с выявленными отклонениями от нормы были направлены в клинические лаборатории для определения в их крови уровня тиреотропного гормона гипофиза с последующей консультацией эндокринолога. ...