ВЛИЯНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ПРОЦЕСС ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ > Полезные советы
Тысяча полезных мелочей    

ВЛИЯНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ПРОЦЕСС ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ

ВЛИЯНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ПРОЦЕСС ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ

Жалнова Е.В. Кубрин В.И. Статья в формате PDF 130 KB

В настоящее время совершенствованию технологии изготовления приборов на основе использования сложных полупроводников уделяется значительное внимание [1, 2]. При этом одной из ведущих проблем остается разработка методов прецизионного формирования на поверхности функционального слоя заданного микрорельефа. Одним из ведущих направлений решения данной проблемы является травление микрорельефа с использованием низкотемпературной газоразрядной плазмы, решающим достоинством которого является возможность травления с высокой анизотропностью [3].

Целью настоящей работы является исследование особенностей травления фосфида индия в химически активной низкотемпературной плазме магнетронного разряда.

Эксперименты проводились в реакторе, который конструктивно представляет собой заземленный электрод, служащий вакуумной камерой, выполненный в виде тонкостенного прямоугольного параллелепипеда и верхней герметизирующей крышки, также являющейся частью заземленного электрода. В верхней крышке имеется окно для контроля процесса травления. Через боковые стенки вакуумной камеры-реактора происходит прохождение магнитного поля внутрь технологического объема. Внутри вакуумной камеры на осях симметрии размещен электрод, служащий подложкодержателем, на который подается ВЧ-напряжение. В этом электроде-подложкодержателе имеются каналы для циркулирования охлаждающей жидкости. Электрод-подложкодержатель закреплен внутри вакуумной камеры на трубках, которые служат одновременно для подачи охлаждающей жидкости. Герметизирующие прокладки у этих трубок одновременно являются диэлектрическими изоляторами. Снаружи вакуумной камеры расположена система магнитов. Размеры магнитных панелей выполнены с учетом того, чтобы была использована полностью центральная часть разрядной камеры, и вектор напряженности магнитного поля имел в основном составляющую параллельную рабочей поверхности электрода-подложкодержателя. Конструкция магнетронного реактора с горением разряда вокруг электрода-подложкодержателя обеспечивает получение плотности мощности разряда 3 Вт/см2 и при максимальной мощности питающего ВЧ-генератора 2,5 кВт. Минимальное рабочее давление, полученное в таком реакторе, при котором устойчиво зажигается разряд составляет 0,13 Па.

Регулирование индукции магнитного поля проводилось путем увеличения расстояния между системой магнитов и стенками вакуумной камеры-реактора. Зависимости скорости травления InP от индукции магнитного поля при различных давлениях в реакторе и с использованием в качестве плазмообразующего рабочего газа C2C13F3 представлены на рис.1. При увеличении индукции магнитного поля скорость травления InP возрастает, что объясняется увеличением плотности мощности разряда. Кроме того, с увеличением давления наблюдается такого уменьшение влияния, вследствие того, что травление носит в большой степени химический хаpaктер. Применение магнетронного разряда позволяет получать значительно более высокие плотности мощности разряда, проводить травление при более низких давлениях, что позволяет проводить процесс при высокой анизотропии.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

  1. Алферов Ж.И. История и будущее полупроводниковых структур. - ФТП, 1998, т.32, №1, с.3-78
  2. Материалы 20-й Международной конференции по фосфиду индия и родственным материалам IPRM-2008 (Франция, Версаль, 2008). - http://www.expoclub.ru/db/conference/view.
  3. Кушхов А.Р. Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники: Дис. канд. техн., наук: 05.27.01. - Нальчик, 2004. 148 с.


РЕЗУЛЬТАТЫ ПРОСПЕКТИВНОГО ИССЛЕДОВАНИЯ У БОЛЬНЫХ, ОПЕРИРОВАННЫХ ПО ПОВОДУ УЗЛОВОГО КОЛЛОИДНОГО ЗОБА

РЕЗУЛЬТАТЫ ПРОСПЕКТИВНОГО ИССЛЕДОВАНИЯ У БОЛЬНЫХ, ОПЕРИРОВАННЫХ ПО ПОВОДУ УЗЛОВОГО КОЛЛОИДНОГО ЗОБА Статья в формате PDF 110 KB...

15 06 2026 20:44:49

ОСОБЕННОСТИ РЕКЛАМНОГО КОММУНИКАТИВНОГО ПРОСТРАНСТВА, СОЗДАВАЕМОГО РЕКЛАМОЙ В СМИ

ОСОБЕННОСТИ РЕКЛАМНОГО КОММУНИКАТИВНОГО ПРОСТРАНСТВА, СОЗДАВАЕМОГО РЕКЛАМОЙ В СМИ Статья в формате PDF 123 KB...

14 06 2026 14:35:40

СИСТЕМА ПЛАНИРОВАНИЯ ПРЕДПРИЯТИЙ ЛПК В УСЛОВИЯХ МИРОВОГО ФИНАНСОВОГО КРИЗИСА

СИСТЕМА ПЛАНИРОВАНИЯ ПРЕДПРИЯТИЙ ЛПК В УСЛОВИЯХ МИРОВОГО ФИНАНСОВОГО КРИЗИСА Статья в формате PDF 269 KB...

13 06 2026 9:40:37

ПУТИ СНИЖЕНИЯ ПЫЛЕВЫХ ВЫБРОСОВ НА АСФАЛЬТОБЕТОННЫХ ЗАВОДАХ

ПУТИ СНИЖЕНИЯ ПЫЛЕВЫХ ВЫБРОСОВ НА АСФАЛЬТОБЕТОННЫХ ЗАВОДАХ Статья в формате PDF 253 KB...

12 06 2026 5:21:57

АЛГОРИТМ УПРАВЛЕНИЯ РЕСУРСАМИ КЛАСТЕРА, ИСКЛЮЧАЮЩИЙ ПОВРЕЖДЕНИЕ ДАННЫХ ПРИ ЛОЖНОМ СРАБАТЫВАНИИ

АЛГОРИТМ УПРАВЛЕНИЯ РЕСУРСАМИ КЛАСТЕРА, ИСКЛЮЧАЮЩИЙ ПОВРЕЖДЕНИЕ ДАННЫХ ПРИ ЛОЖНОМ СРАБАТЫВАНИИ Статья в формате PDF 140 KB...

11 06 2026 17:44:11

СОСТОЯНИЕ ОПОРНО-ДВИГАТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ПРИ ХРОНИЧЕСКОМ ФУНКЦИОНАЛЬНОМ ПЕРЕНАПРЯЖЕНИИ У ЖЕНЩИН-РАБОТНИЦ АГРОПРОМЫШЛЕННОГО КОМПЛЕКСА

СОСТОЯНИЕ ОПОРНО-ДВИГАТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ПРИ ХРОНИЧЕСКОМ ФУНКЦИОНАЛЬНОМ ПЕРЕНАПРЯЖЕНИИ У ЖЕНЩИН-РАБОТНИЦ АГРОПРОМЫШЛЕННОГО КОМПЛЕКСА Статья в формате PDF 128 KB...

10 06 2026 8:16:25

КУЛЬТУРНОЕ НАСЛЕДИЕ СТАВРОПОЛЬЯ: ИСТОРИЯ И СОВРЕМЕННОСТЬ

КУЛЬТУРНОЕ НАСЛЕДИЕ СТАВРОПОЛЬЯ: ИСТОРИЯ И СОВРЕМЕННОСТЬ Статья в формате PDF 141 KB...

09 06 2026 7:31:16

О ПОНЯТИИ «ПРОФЕССИОНАЛЬНАЯ КОМПЕТЕНТНОСТЬ» В СОВРЕМЕННОЙ ПЕДАГОГИЧЕСКОЙ НАУКЕ

О ПОНЯТИИ «ПРОФЕССИОНАЛЬНАЯ КОМПЕТЕНТНОСТЬ» В СОВРЕМЕННОЙ ПЕДАГОГИЧЕСКОЙ НАУКЕ Статья в формате PDF 259 KB...

08 06 2026 0:21:46

РЕАЛИЗАЦИЯ ПАЛЛИАТИВНОЙ ПОМОЩИ – ОДНО ИЗ ПРИОРИТЕТНЫХ НАПРАВЛЕНИЙ В ОНКОЛОГИИ

РЕАЛИЗАЦИЯ ПАЛЛИАТИВНОЙ ПОМОЩИ – ОДНО ИЗ ПРИОРИТЕТНЫХ НАПРАВЛЕНИЙ В ОНКОЛОГИИ Статья в формате PDF 125 KB...

07 06 2026 11:19:45

ПАТТЕРНЫ ВНУТРИ ПАТТЕРНОВ

ПАТТЕРНЫ ВНУТРИ ПАТТЕРНОВ Статья в формате PDF 87 KB...

06 06 2026 8:34:18

МОНИТОРИНГ ТЕХНОГЕННОГО ЗАГРЯЗНЕНИЯ АТМОСФЕРЫ В г. БРАТСКЕ

МОНИТОРИНГ ТЕХНОГЕННОГО ЗАГРЯЗНЕНИЯ АТМОСФЕРЫ В г. БРАТСКЕ Статья в формате PDF 196 KB...

05 06 2026 17:36:35

ОЦЕНКА РЕЗУЛЬТАТОВ ПРОЕКТНОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ОБУЧАЮЩИХСЯ

ОЦЕНКА РЕЗУЛЬТАТОВ ПРОЕКТНОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ОБУЧАЮЩИХСЯ Статья в формате PDF 167 KB...

04 06 2026 19:43:56

ФОТОГРАФИЯ КАК СРЕДСТВО ПОЗНАНИЯ СОВРЕМЕННОГО ЧЕЛОВЕКА

ФОТОГРАФИЯ КАК СРЕДСТВО ПОЗНАНИЯ СОВРЕМЕННОГО ЧЕЛОВЕКА Статья в формате PDF 103 KB...

03 06 2026 0:30:43

Глобальный инновационный индекс: относительные показатели рейтинга стран

Глобальный инновационный индекс: относительные показатели рейтинга стран Приведены закономерности рангового распределения по рейтингу 110 стран, среди них Россия занимала 49-е место. Для анализа были приняты показатели: 1) инновационные затраты/суммарный балл; 2) инновационная эффективность/суммарный балл); 3) инновационная эффективность/инновационные затраты. Сравнение показывает весьма скромную инновационную активность России, но при этом значения всех трех относительных показателей инновационной активности у России положительные или позитивные. Только изобретения имеют мировую новизну и достаточно высокую конкурентоспособность, а полезные модели нужны в основном для внутреннего употрeбления. В итоге в стране образуется так называемый инновационный крест. Динамика изобретений куда значимее, если при этом снизить справедливое в неспокойной экономике колебательное возмущение изобретателей. ...

02 06 2026 2:29:55

СОСТОЯНИЕ ПРИБРЕЖНЫХ ЭКОСИСТЕМ ДАГЕСТАНСКОГО РАЙОНА КАСПИЯ В УСЛОВИЯХ АНТРОПОГЕННОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ

СОСТОЯНИЕ ПРИБРЕЖНЫХ ЭКОСИСТЕМ ДАГЕСТАНСКОГО РАЙОНА КАСПИЯ В УСЛОВИЯХ АНТРОПОГЕННОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ Статья в формате PDF 102 KB...

01 06 2026 5:55:40

ПРОБЛЕМЫ ЭФФЕКТИВНОГО УПРАВЛЕНИЯ ЗНАНИЯМИ В ВУЗОВСКОМ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОМ ПРОЦЕССЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО НАПРАВЛЕНИЯ

ПРОБЛЕМЫ ЭФФЕКТИВНОГО УПРАВЛЕНИЯ ЗНАНИЯМИ В ВУЗОВСКОМ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОМ ПРОЦЕССЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО НАПРАВЛЕНИЯ Статья в формате PDF 126 KB...

31 05 2026 16:58:52

ЭССЕ КАК СРЕДСТВО АНАЛИЗА КРАЕВЕДЧЕСКОЙ КОМПЕТЕНТНОСТИ В ШКОЛЕ

ЭССЕ КАК СРЕДСТВО АНАЛИЗА КРАЕВЕДЧЕСКОЙ КОМПЕТЕНТНОСТИ В ШКОЛЕ Статья в формате PDF 139 KB...

30 05 2026 19:27:47

Изменение уровня молекул средней массы при внутриутробном инфицировании плода

Изменение уровня молекул средней массы при внутриутробном инфицировании плода Статья в формате PDF 106 KB...

29 05 2026 21:53:15

КИНЕМАТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛОСКОГО ВОСЬМИЗВЕННОГО МЕХАНИЗМА ШЕСТОГО КЛАССА С ПОСТУПАТЕЛЬНОЙ ПАРОЙ АНАЛИТИЧЕСКИМ МЕТОДОМ

КИНЕМАТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛОСКОГО ВОСЬМИЗВЕННОГО МЕХАНИЗМА ШЕСТОГО КЛАССА С ПОСТУПАТЕЛЬНОЙ ПАРОЙ АНАЛИТИЧЕСКИМ МЕТОДОМ Статья в формате PDF 506 KB...

28 05 2026 2:10:19

ИЗУЧЕНИЕ ПРОЦЕССОВ РАСТВОРЕНИЯ ШПИНЕЛЕЙ ZnFe2-xCrxO4 (х = 0,2; 1,8) В ОРГАНИЧЕСКОМ И МИНЕРАЛЬНОМ РАСТВОРИТЕЛЯХ

ИЗУЧЕНИЕ ПРОЦЕССОВ РАСТВОРЕНИЯ ШПИНЕЛЕЙ ZnFe2-xCrxO4 (х = 0,2; 1,8) В ОРГАНИЧЕСКОМ И МИНЕРАЛЬНОМ РАСТВОРИТЕЛЯХ Статья в формате PDF 128 KB...

27 05 2026 10:44:19

ЛЕКСИКОЛОГИЯ АНГЛИЙСКОГО ЯЗЫКА. УЧЕБНО-ПРАКТИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ

ЛЕКСИКОЛОГИЯ АНГЛИЙСКОГО ЯЗЫКА. УЧЕБНО-ПРАКТИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ Статья в формате PDF 127 KB...

26 05 2026 1:16:26

РАЗВИТИЕ АЛЮМИНИЕВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ В МИРЕ И В РОССИИ

РАЗВИТИЕ АЛЮМИНИЕВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ В МИРЕ И В РОССИИ Статья в формате PDF 134 KB...

25 05 2026 17:13:29

Серотонинпродуцирующие тучные клетки и клеточное обновление эпителиоцитов десны при воспалительных заболеваниях пародонта

Серотонинпродуцирующие тучные клетки и клеточное обновление эпителиоцитов десны при воспалительных заболеваниях пародонта Статья в формате PDF 115 KB...

24 05 2026 8:28:49

НОВЫЙ МЕТОД ДИАГНОСТИКИ КИСТ ЯИЧНИКОВ

НОВЫЙ МЕТОД ДИАГНОСТИКИ КИСТ ЯИЧНИКОВ Статья в формате PDF 110 KB...

23 05 2026 7:35:10

ПОДХОДЫ ИНФОРМАЦИОННОЙ ПОДДЕРЖКИ СОТРУДНИКОВ ОТДЕЛА ТЕХНИЧЕСКОГО ОБСЛУЖИВАНИЯ КОМПЬЮТЕРОВ

ПОДХОДЫ ИНФОРМАЦИОННОЙ ПОДДЕРЖКИ СОТРУДНИКОВ ОТДЕЛА ТЕХНИЧЕСКОГО ОБСЛУЖИВАНИЯ КОМПЬЮТЕРОВ Статья в формате PDF 456 KB...

22 05 2026 10:49:26

ПРИМЕНЕНИЕ АНТИГИСТАМИННЫХ ПРЕПАРАТОВ В ЛЕЧЕНИИ ДЕТЕЙ С АТОПИЧЕСКИМИ ДЕРМАТИТАМИ

ПРИМЕНЕНИЕ АНТИГИСТАМИННЫХ ПРЕПАРАТОВ В ЛЕЧЕНИИ ДЕТЕЙ С АТОПИЧЕСКИМИ ДЕРМАТИТАМИ Статья в формате PDF 193 KB...

21 05 2026 1:29:27

РАСПРОСТРАНЁННОСТЬ ОСТРЫХ КИШЕЧНЫХ ИНФЕКЦИЙ У ДЕТЕЙ МУРМАНСКОЙ ОБЛАСТИ

РАСПРОСТРАНЁННОСТЬ ОСТРЫХ КИШЕЧНЫХ ИНФЕКЦИЙ У ДЕТЕЙ МУРМАНСКОЙ ОБЛАСТИ Статья в формате PDF 256 KB...

20 05 2026 4:12:52

АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ПОИСК АНАЛОГА И ПРОТОТИПА БУДУЩЕГО ИЗОБРЕТЕНИЯ

АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ПОИСК АНАЛОГА И ПРОТОТИПА БУДУЩЕГО ИЗОБРЕТЕНИЯ Статья в формате PDF 210 KB...

19 05 2026 4:12:18

РЕПРОДУКТИВНАЯ ФУНКЦИЯ ЖЕНЩИН, ЗАНИМАВШИХСЯ АКРОБАТИКОЙ

РЕПРОДУКТИВНАЯ ФУНКЦИЯ ЖЕНЩИН, ЗАНИМАВШИХСЯ АКРОБАТИКОЙ Статья в формате PDF 149 KB...

18 05 2026 6:12:21

К ВОПРОСУ О ПОВЫШЕНИИ КАЧЕСТВА ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО УРОВНЯ ЗНАНИЙ НА ЭТАПАХ ОТ ОБУЧЕНИЯ В ВУЗЕ ДО ОБУЧЕНИЯ В АСПИРАНТУРЕ 

К ВОПРОСУ О ПОВЫШЕНИИ КАЧЕСТВА ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО УРОВНЯ ЗНАНИЙ НА ЭТАПАХ ОТ ОБУЧЕНИЯ В ВУЗЕ ДО ОБУЧЕНИЯ В АСПИРАНТУРЕ  Статья в формате PDF 220 KB...

17 05 2026 9:11:52

ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕВОДА КАЛАМБУРА

ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕВОДА КАЛАМБУРА Статья в формате PDF 251 KB...

16 05 2026 4:56:11

САКРАЛЬНЫЕ ОБЪЕКТЫ НАЦИОНАЛЬНОГО ПАРКА «РУССКИЙ СЕВЕР»

САКРАЛЬНЫЕ ОБЪЕКТЫ НАЦИОНАЛЬНОГО ПАРКА «РУССКИЙ СЕВЕР» Статья в формате PDF 99 KB...

15 05 2026 15:15:20

ОСНОВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ СТИМУЛИРУЮЩЕГО ВОЗДЕЙСТВИЯ СТРАТЕГИИ В РЕГИОНАЛЬНОМ АСПЕКТЕ

ОСНОВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ СТИМУЛИРУЮЩЕГО ВОЗДЕЙСТВИЯ СТРАТЕГИИ В РЕГИОНАЛЬНОМ АСПЕКТЕ Статья в формате PDF 106 KB...

14 05 2026 23:17:33

ЗНАЧЕНИЕ ДОППЛЕРОГРАФИЧЕСКОГО ИССЛЕДОВАНИЯ ПОЧЕЧНОГО КРОВОТОКА У ПОДРОСТКОВ С ПЕРВИЧНЫМ ЭНУРЕЗОМ ПРИ ЭКСПЕРТИЗЕ ЗАБОЛЕВАНИЯ

ЗНАЧЕНИЕ ДОППЛЕРОГРАФИЧЕСКОГО ИССЛЕДОВАНИЯ ПОЧЕЧНОГО КРОВОТОКА У ПОДРОСТКОВ С ПЕРВИЧНЫМ ЭНУРЕЗОМ ПРИ ЭКСПЕРТИЗЕ ЗАБОЛЕВАНИЯ Статья в формате PDF 109 KB...

13 05 2026 23:10:53

Структурные особенности переднего вагусного комплекса у растущих крыс под влиянием иммобилизационного стресса

Структурные особенности переднего вагусного комплекса у растущих крыс под влиянием иммобилизационного стресса Статья в формате PDF 115 KB...

12 05 2026 22:53:47

СРАВНИТЕЛЬНАЯ ОЦЕНКА ПИТЬЕВОГО ВОДОСНАБЖЕНИЯ АСТРАХАНСКОГО ГАЗОКОНДЕНСАТНОГО МЕСТОРОЖДЕНИЯ И г. АСТРАХАНИ

СРАВНИТЕЛЬНАЯ ОЦЕНКА ПИТЬЕВОГО ВОДОСНАБЖЕНИЯ АСТРАХАНСКОГО ГАЗОКОНДЕНСАТНОГО МЕСТОРОЖДЕНИЯ И г. АСТРАХАНИ Статья в формате PDF 141 KB...

11 05 2026 12:41:23

МИНИМИЗАЦИЯ АППАРАТУРЫ ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОГО АНАЛИЗА

МИНИМИЗАЦИЯ АППАРАТУРЫ ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОГО АНАЛИЗА Статья в формате PDF 171 KB...

10 05 2026 3:31:37

СРАВНИТЕЛЬНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ЦИТОКИНОВОГО ПРОФИЛЯ ПРИ РАЗВИТИИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ ПНЕВМОНИИ У МЫШЕЙ

Статья в формате PDF 108 KB...

09 05 2026 7:22:41

АКТИВИЗАЦИЯ ВНЕДРЕНИЯ ИННОВАЦИОННЫХ ПОДХОДОВ К ОБУЧЕНИЮ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СЛУЖАЩИХ

АКТИВИЗАЦИЯ ВНЕДРЕНИЯ ИННОВАЦИОННЫХ ПОДХОДОВ К ОБУЧЕНИЮ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СЛУЖАЩИХ Статья в формате PDF 162 KB...

08 05 2026 8:19:35

ТРАНСФОРМАЦИЯ НАСЕЛЕНИЯ ОХОТНИЧЬЕ-ПРОМЫСЛОВЫХ МЛЕКОПИТАЮЩИХ ПРИ ОСВОЕНИИ ЧАЯНДИНСКОГО ЛИЦЕНЗИОННОГО УЧАСТКА (ЗАПАДНАЯ ЯКУТИЯ)

ТРАНСФОРМАЦИЯ НАСЕЛЕНИЯ ОХОТНИЧЬЕ-ПРОМЫСЛОВЫХ МЛЕКОПИТАЮЩИХ ПРИ ОСВОЕНИИ ЧАЯНДИНСКОГО ЛИЦЕНЗИОННОГО УЧАСТКА (ЗАПАДНАЯ ЯКУТИЯ) В сообщении представлены сведения о трaнcформации населения охотничье-промысловых млекопитающих при освоении Чаяндинского лицензионного участка (Западная Якутия). Материалы собраны в 2009–2011 гг. В результате проведенных учетных работ и опросных сведений на территории лицензионного участка выявлено обитание 10 видов охотничье-промысловых млекопитающих из 20 видов, обитающих на территории Западной Якутии. На настоящий момент существенных изменений численности охотничье-промысловых животных на лицензионном участке не происходит. В целом воздействие геологоразведочных работ на нефть и газ носят локальный хаpaктер. ...

07 05 2026 15:20:40

Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::