ВЛИЯНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ПРОЦЕСС ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ

Авторы
Файлы

Жалнова Е.В. Кубрин В.И. Статья в формате PDF 130 KB

В настоящее время совершенствованию технологии изготовления приборов на основе использования сложных полупроводников уделяется значительное внимание [1, 2]. При этом одной из ведущих проблем остается разработка методов прецизионного формирования на поверхности функционального слоя заданного микрорельефа. Одним из ведущих направлений решения данной проблемы является травление микрорельефа с использованием низкотемпературной газоразрядной плазмы, решающим достоинством которого является возможность травления с высокой анизотропностью [3].

Целью настоящей работы является исследование особенностей травления фосфида индия в химически активной низкотемпературной плазме магнетронного разряда.

Эксперименты проводились в реакторе, который конструктивно представляет собой заземленный электрод, служащий вакуумной камерой, выполненный в виде тонкостенного прямоугольного параллелепипеда и верхней герметизирующей крышки, также являющейся частью заземленного электрода. В верхней крышке имеется окно для контроля процесса травления. Через боковые стенки вакуумной камеры-реактора происходит прохождение магнитного поля внутрь технологического объема. Внутри вакуумной камеры на осях симметрии размещен электрод, служащий подложкодержателем, на который подается ВЧ-напряжение. В этом электроде-подложкодержателе имеются каналы для циркулирования охлаждающей жидкости. Электрод-подложкодержатель закреплен внутри вакуумной камеры на трубках, которые служат одновременно для подачи охлаждающей жидкости. Герметизирующие прокладки у этих трубок одновременно являются диэлектрическими изоляторами. Снаружи вакуумной камеры расположена система магнитов. Размеры магнитных панелей выполнены с учетом того, чтобы была использована полностью центральная часть разрядной камеры, и вектор напряженности магнитного поля имел в основном составляющую параллельную рабочей поверхности электрода-подложкодержателя. Конструкция магнетронного реактора с горением разряда вокруг электрода-подложкодержателя обеспечивает получение плотности мощности разряда 3 Вт/см² и при максимальной мощности питающего ВЧ-генератора 2,5 кВт. Минимальное рабочее давление, полученное в таком реакторе, при котором устойчиво зажигается разряд составляет 0,13 Па.

Регулирование индукции магнитного поля проводилось путем увеличения расстояния между системой магнитов и стенками вакуумной камеры-реактора. Зависимости скорости травления InP от индукции магнитного поля при различных давлениях в реакторе и с использованием в качестве плазмообразующего рабочего газа C₂C1₃F₃ представлены на рис.1. При увеличении индукции магнитного поля скорость травления InP возрастает, что объясняется увеличением плотности мощности разряда. Кроме того, с увеличением давления наблюдается такого уменьшение влияния, вследствие того, что травление носит в большой степени химический хаpaктер. Применение магнетронного разряда позволяет получать значительно более высокие плотности мощности разряда, проводить травление при более низких давлениях, что позволяет проводить процесс при высокой анизотропии.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

Алферов Ж.И. История и будущее полупроводниковых структур. - ФТП, 1998, т.32, №1, с.3-78
Материалы 20-й Международной конференции по фосфиду индия и родственным материалам IPRM-2008 (Франция, Версаль, 2008). - http://www.expoclub.ru/db/conference/view.
Кушхов А.Р. Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники: Дис. канд. техн., наук: 05.27.01. - Нальчик, 2004. 148 с.

Информация о проведении научных конференций Российской Академии Естествознания в г. Анталия (Турция) 22-29 мая 2005 года

Статья в формате PDF 3943 KB...

10 08 2026 15:40:21

ОПТИМИЗАЦИЯ ЗАЖИВЛЕНИЯ РАН В ЛЕЧЕНИИ ОТКРЫТЫХ И ОГНЕСТРЕЛЬНЫХ ПЕРЕЛОМОВ

Статья в формате PDF 251 KB...

09 08 2026 16:12:42

РЕГУЛЯЦИЯ РИТМА СЕРДЦА У 8-ЛЕТНИХ ДЕВОЧЕК С РАЗЛИЧНОЙ СИЛОЙ НЕРВНЫХ ПРОЦЕССОВ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ УМСТВЕННЫХ НАГРУЗОК

Статья в формате PDF 115 KB...

08 08 2026 12:56:18

Использование дерината и иммунофана для коррекции врожденного иммунитета в условиях острого экспериментального панкреатита

Статья в формате PDF 105 KB...

07 08 2026 7:46:21

Предоперационная подготовка детей с болезнью гиршпрунга на современном этапе развития детской хирургии

Статья в формате PDF 106 KB...

06 08 2026 6:43:56

ТЕРМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ НЕФТЕСОДЕРЖАЩИХ ОТХОДОВ С РАЗЛИЧНЫМ СООТНОШЕНИЕМ ЖИДКИХ И ТВЕРДЫХ ПРОДУКТОВ

Статья в формате PDF 133 KB...

05 08 2026 9:51:24

СПИН КАК ЭФФЕКТ НЕРЕЛЯТИВИСТСКОЙ КВАНТОВОЙ МЕХАНИКИ

Статья в формате PDF 95 KB...

04 08 2026 9:14:24

НРАВСТВЕННЫЕ ЗАПОВЕДИ ПРЕДПРИНИМАТЕЛЯ

Статья в формате PDF 130 KB...

03 08 2026 8:37:36

РОЛЬ АДАПТИВНОЙ ФИЗИЧЕСКОЙ КУЛЬТУРЫ В КОРРЕКЦИОННОЙ РАБОТЕ

Статья в формате PDF 113 KB...

02 08 2026 18:56:50

НРАВСТВЕННО-ЭСТЕТИЧЕСКИЙ ИДЕАЛ МУЗЫКАЛЬНОГО ФОЛЬКЛОРА КАК ОСНОВА ДУХОВНОГО ВОЗРОЖДЕНИЯ КУЛЬТУРЫ РОССИИ

Статья в формате PDF 124 KB...

01 08 2026 4:23:37

Отходы производства и потрeбления. пути их решения

Статья в формате PDF 156 KB...

31 07 2026 12:18:51

МОДЕЛИРОВАНИЕ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ДИАФРАГМЫ ВЫТЕСНИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ

Статья в формате PDF 640 KB...

30 07 2026 9:25:22

НЕОБХОДИМОСТЬ АНАЛИЗА НАГРУЗКИ В СОТОВЫХ СЕТЯХ

Статья в формате PDF 104 KB...

29 07 2026 9:51:44

ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕХОДА ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫХ УЧРЕЖДЕНИЙ НА НОВЫЕ ФОРМЫ ОБУЧЕНИЯ

Статья в формате PDF 251 KB...

28 07 2026 17:49:27

МОДЕЛИРОВАНИЕ МИНИАТЮРНОГО ВАКУУМНОГО КЛАПАНА НА НАЧАЛЬНЫХ СТАДИЯХ ПРОЕКТИРОВАНИЯ

Статья в формате PDF 199 KB...

27 07 2026 19:46:25

Кристаллографическое исследование экспирата при бронхиальной астме у детей

Статья в формате PDF 105 KB...

26 07 2026 0:38:47

КОНЦЕПТУАЛЬНЫЕ ОСНОВЫ ПРОФЕССИОНАЛЬНО-ЛИЧНОСТНОГО СТАНОВЛЕНИЯ СТУДЕНТОВ ПЕДВУЗА

Статья в формате PDF 172 KB...

25 07 2026 12:19:20

РОССИЯ И ЕВРОПА: ОСНОВЫ ЭКОЭТИКИ

Статья в формате PDF 143 KB...

24 07 2026 15:24:20

О РЕАЛИЗАЦИИ ИДЕЙ ПЕДАГОГИКИ СОТРУДНИЧЕСТВА

Статья в формате PDF 90 KB...

23 07 2026 16:33:44

АНАЛИЗ И ИЗУЧЕНИЕ ЦЕННОСТНЫХ ОРИЕНТАЦИЙ ПОТРЕБИТЕЛЕЙ

Статья в формате PDF 104 KB...

22 07 2026 6:44:35

ВЛИЯНИЕ ПРООКСИДАНТОВ НА АКТИВНОСТЬ НЕКОТОРЫХ АНТИОКСИДАНТНЫХ ФЕРМЕНТОВ В ПРОРОСТКАХ ALLIUM FISTULOSUM

Статья в формате PDF 122 KB...

21 07 2026 12:11:26

БИОЛОГИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ ЭФИРНОМАСЛИЧНЫХ РАСТИТЕЛЬНЫХ ЭНДЕМИКОВ ВОЛГОГРАДСКОЙ ОБЛАСТИ

Статья в формате PDF 250 KB...

20 07 2026 9:50:27

Возделывание в агроценозе ценных нетрадиционных растений в Северном Зауралье

Статья в формате PDF 128 KB...

19 07 2026 18:16:52

НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ПОЛИМЕРЫ ТЕХНОГЕННОГО ПРОИСХОЖДЕНИЯ В ПРОИЗВОДСТВЕ МАТЕРИАЛОВ ОБЩЕСТРОИТЕЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ

Статья в формате PDF 252 KB...

18 07 2026 20:38:24

ПАМЯТЬ В ПРОЦЕССЕ ИЗУЧЕНИЯ ИНОСТРАННОГО ЯЗЫКА

Статья в формате PDF 311 KB...

17 07 2026 4:42:26

КЛИНИКО-ГЕНЕТИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА РЕПРОДУКТИВНОГО ЗДОРОВЬЯ ЛАБОРАНТОВ НЕФТЕХИМИЧЕСКОГО ПРОИЗВОДСТВА

Статья в формате PDF 113 KB...

16 07 2026 1:18:56

СПОСОБЫ ИЗМЕРЕНИЙ СТРУКТУРЫ И ПАРАМЕТРОВ РЕЧНОЙ СЕТИ: НАУЧНО-УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ

Статья в формате PDF 271 KB...

15 07 2026 18:44:13

РОЛЬ ОБУЧЕНИЯ АНГЛИЙСКОГО ЯЗЫКА В ПРОФЕССИОНАЛЬНО-ТРУДОВОЙ СОЦИАЛИЗАЦИИ СПЕЦИАЛИСТОВ ПОТРЕБИТЕЛЬСКОЙ КООПЕРАЦИИ

Статья в формате PDF 104 KB...

14 07 2026 5:50:18

ЭКОЛОГО-БИОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ БИОРАЗНОБРАЗИЯ В УСЛОВИЯХ ВЫСОТНО-ПОЯСНОЙ СТРУКТУРЫ ГОРНЫХ ЭКОСИСТЕМ АДЫГЕИ

Проведен анализ результатов многолетних исследований по выявлению состава и объема видового разнообразия,расположенных в наземных экосистемах региона. Наибольшая видовая насыщенность отмечена в среднегорной части района – темнохвойных лесах, где господствует пихта кавказская (запас на исследуемых территориях – 3950 тыс.м3, сомкнутость от 0,5 до 0,9). Нижний подъярус составляют бук восточный, эндемики – дуб скальный, липа кавказская, третичные реликты: граб кавказский, тис ягодный.Геоботанические описания экосистем субальпийских лугов Лагонакского нагорья(1500 м н.у.м.) показал всего 39 видов растений, что говорит о низком видовом богатстве этого сообщества. Число видов на площади 16 м2 изменялось от 7 до 26, в среднем 14,3 вида. Проективное покрытие почвы цветковыми растениями в среднем составляет 19 %. Экосистемы субальпийских лугов хаpaктеризуются высокой относительной численностью животного населения при сравнительно небольшом количестве видов. Здесь доминирует полевка кустариниковая – 51,3 %, обычны – крот кавказский– 2,0 %, другие виды редки, но хаpaктерны – бурозубка кавказская– 6,4 %, мышовка кавказская, а вдоль ручьев – полевка Роберта – 8,2 %. Регулярное сенокошение лугов приводит к обеднению флористического состава, снижению общей высоты травостоя и как следствие, к деградации, выпадению бурозубки кавказской, крота кавказского и полевки прометеевой, численность которых падает до 1,0 %. В результате антропогенного пресса в экосистемах горных поясов, первоначальная структура растительного и животного состава изменена почти на 70 % исследуемой территории. Экосистемы, сформированные в каменных осыпях, криволесьях, парковых лесах региона хаpaктеризуются богатым видовым составом и эндемичностью (от 30 до 70 %). Наиболее эффективным способом сохранения редких видов является охрана их в местах естественного обитания на особо охраняемых территориях. Необходимо выделить эталонные участки с редкими и уязвимыми видами и контролировать с учетом их экологических особенностей (например, горные склоны Пшеха-Су и Фишт с видами – лисохвост пушистоцветковый, лютик Елены, лапчатка чудесная, овсяница кавказская, овсяница джимильская; серна,тур западнокавказский,улар кавказский). ...