Тысяча полезных мелочей    

ВЛИЯНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ПРОЦЕСС ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ

ВЛИЯНИЕ МАГНИТНОГО ПОЛЯ НА ПРОЦЕСС ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ

Жалнова Е.В. Кубрин В.И. Статья в формате PDF 130 KB

В настоящее время совершенствованию технологии изготовления приборов на основе использования сложных полупроводников уделяется значительное внимание [1, 2]. При этом одной из ведущих проблем остается разработка методов прецизионного формирования на поверхности функционального слоя заданного микрорельефа. Одним из ведущих направлений решения данной проблемы является травление микрорельефа с использованием низкотемпературной газоразрядной плазмы, решающим достоинством которого является возможность травления с высокой анизотропностью [3].

Целью настоящей работы является исследование особенностей травления фосфида индия в химически активной низкотемпературной плазме магнетронного разряда.

Эксперименты проводились в реакторе, который конструктивно представляет собой заземленный электрод, служащий вакуумной камерой, выполненный в виде тонкостенного прямоугольного параллелепипеда и верхней герметизирующей крышки, также являющейся частью заземленного электрода. В верхней крышке имеется окно для контроля процесса травления. Через боковые стенки вакуумной камеры-реактора происходит прохождение магнитного поля внутрь технологического объема. Внутри вакуумной камеры на осях симметрии размещен электрод, служащий подложкодержателем, на который подается ВЧ-напряжение. В этом электроде-подложкодержателе имеются каналы для циркулирования охлаждающей жидкости. Электрод-подложкодержатель закреплен внутри вакуумной камеры на трубках, которые служат одновременно для подачи охлаждающей жидкости. Герметизирующие прокладки у этих трубок одновременно являются диэлектрическими изоляторами. Снаружи вакуумной камеры расположена система магнитов. Размеры магнитных панелей выполнены с учетом того, чтобы была использована полностью центральная часть разрядной камеры, и вектор напряженности магнитного поля имел в основном составляющую параллельную рабочей поверхности электрода-подложкодержателя. Конструкция магнетронного реактора с горением разряда вокруг электрода-подложкодержателя обеспечивает получение плотности мощности разряда 3 Вт/см2 и при максимальной мощности питающего ВЧ-генератора 2,5 кВт. Минимальное рабочее давление, полученное в таком реакторе, при котором устойчиво зажигается разряд составляет 0,13 Па.

Регулирование индукции магнитного поля проводилось путем увеличения расстояния между системой магнитов и стенками вакуумной камеры-реактора. Зависимости скорости травления InP от индукции магнитного поля при различных давлениях в реакторе и с использованием в качестве плазмообразующего рабочего газа C2C13F3 представлены на рис.1. При увеличении индукции магнитного поля скорость травления InP возрастает, что объясняется увеличением плотности мощности разряда. Кроме того, с увеличением давления наблюдается такого уменьшение влияния, вследствие того, что травление носит в большой степени химический хаpaктер. Применение магнетронного разряда позволяет получать значительно более высокие плотности мощности разряда, проводить травление при более низких давлениях, что позволяет проводить процесс при высокой анизотропии.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

  1. Алферов Ж.И. История и будущее полупроводниковых структур. - ФТП, 1998, т.32, №1, с.3-78
  2. Материалы 20-й Международной конференции по фосфиду индия и родственным материалам IPRM-2008 (Франция, Версаль, 2008). - http://www.expoclub.ru/db/conference/view.
  3. Кушхов А.Р. Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники: Дис. канд. техн., наук: 05.27.01. - Нальчик, 2004. 148 с.


ОВЛАДЕНИЕ СВЯЗНОЙ РЕЧЬЮ СТАРШИМИ ДОШКОЛЬНИКАМИ

ОВЛАДЕНИЕ СВЯЗНОЙ РЕЧЬЮ СТАРШИМИ ДОШКОЛЬНИКАМИ Статья в формате PDF 111 KB...

20 09 2026 20:14:37

МОРФОФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ ЭРИТРОЦИТОВ ЛЯГУШЕК R. RIDIBUNDA L. В ФИЗИОЛОГИЧЕСКИХ УСЛОВИЯХ

МОРФОФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ ЭРИТРОЦИТОВ ЛЯГУШЕК R. RIDIBUNDA L. В ФИЗИОЛОГИЧЕСКИХ УСЛОВИЯХ Статья в формате PDF 109 KB...

19 09 2026 1:43:52

ПУТИ УСКОРЕННОГО ФОРМИРОВАНИЯ КЛИНИЧЕСКОГО МЫШЛЕНИЯ

ПУТИ УСКОРЕННОГО ФОРМИРОВАНИЯ КЛИНИЧЕСКОГО МЫШЛЕНИЯ Статья в формате PDF 163 KB...

18 09 2026 18:53:15

ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА (учебное пособие)

ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ АНАЛИЗА (учебное пособие) Статья в формате PDF 108 KB...

17 09 2026 7:37:59

ГЕОГРАФИЧЕСКАЯ СИСТЕМА КАК ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ИНФОРМАЦИИ

ГЕОГРАФИЧЕСКАЯ СИСТЕМА КАК ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ИНФОРМАЦИИ Статья в формате PDF 120 KB...

16 09 2026 0:56:33

КОЛИЧЕСТВЕННАЯ ОЦЕНКА КАЧЕСТВА ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ С ПОЗИЦИИ ВИРТУАЛИЗАЦИИИ ПРОЦЕССОВ ТВОРЧЕСТВА И ПОЗНАНИЯ

КОЛИЧЕСТВЕННАЯ ОЦЕНКА КАЧЕСТВА ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ С ПОЗИЦИИ ВИРТУАЛИЗАЦИИИ ПРОЦЕССОВ ТВОРЧЕСТВА И ПОЗНАНИЯ Статья в формате PDF 111 KB...

15 09 2026 21:54:48

РЕШАЮЩИЕ ФАКТОРЫ РАЗВИТИЯ СОЦИАЛЬНО-ЭКОНОМИЧЕСКОГО РАЗВИТИЯ КАВКАЗСКИХ МИНЕРАЛЬНЫХ ВОД ДО 2020 ГОДА

РЕШАЮЩИЕ ФАКТОРЫ РАЗВИТИЯ СОЦИАЛЬНО-ЭКОНОМИЧЕСКОГО РАЗВИТИЯ КАВКАЗСКИХ МИНЕРАЛЬНЫХ ВОД ДО 2020 ГОДА Статья в формате PDF 135 KB...

14 09 2026 12:31:54

СТРУКТУРНЫЙ СИНТЕЗ ОБОБЩЕННОЙ МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ПРОИЗВОДСТВА ЯЧЕИСТОГО БЕТОНА

СТРУКТУРНЫЙ СИНТЕЗ ОБОБЩЕННОЙ МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ПРОИЗВОДСТВА ЯЧЕИСТОГО БЕТОНА Статья в формате PDF 191 KB...

13 09 2026 9:37:32

Методы факторного анализа прибыли коммерческого банка

Методы факторного анализа прибыли коммерческого банка Статья в формате PDF 327 KB...

12 09 2026 6:53:31

КОМПЛЕКСНАЯ ОЦЕНКА СОСТОЯНИЯ СИСТЕМЫ ПРО-/АНТИОКСИДАНТЫ В РАЗЛИЧНЫХ БИОЛОГИЧЕСКИХ СРЕДАХ У ХИРУРГИЧЕСКИХ БОЛЬНЫХ С ГНОЙНО-СЕПТИЧЕСКИМИ ОСЛОЖНЕНИЯМИ

КОМПЛЕКСНАЯ ОЦЕНКА СОСТОЯНИЯ СИСТЕМЫ ПРО-/АНТИОКСИДАНТЫ В РАЗЛИЧНЫХ БИОЛОГИЧЕСКИХ СРЕДАХ У ХИРУРГИЧЕСКИХ БОЛЬНЫХ С ГНОЙНО-СЕПТИЧЕСКИМИ ОСЛОЖНЕНИЯМИ Статья в формате PDF 123 KB...

11 09 2026 3:13:49

НЕЙРОГЕННЫЕ МЕХАНИЗМЫ РЕГУЛЯЦИИ МЫШЕЧНОГО ТОНУСА

НЕЙРОГЕННЫЕ МЕХАНИЗМЫ РЕГУЛЯЦИИ МЫШЕЧНОГО ТОНУСА Статья в формате PDF 300 KB...

10 09 2026 6:55:12

К МЕХАНИЗМУ ФОРМИРОВАНИЯ АФФЕКТИВНОГО СТАТУСА У БОЛЬНЫХ ХРОНИЧЕСКОЙ ПОЧЕЧНОЙ НЕДОСТАТОЧНОСТЬЮ, НАХОДЯЩИХСЯ НА ГЕМОДИАЛИЗЕ

К МЕХАНИЗМУ ФОРМИРОВАНИЯ АФФЕКТИВНОГО СТАТУСА У БОЛЬНЫХ ХРОНИЧЕСКОЙ ПОЧЕЧНОЙ НЕДОСТАТОЧНОСТЬЮ, НАХОДЯЩИХСЯ НА ГЕМОДИАЛИЗЕ Статья в формате PDF 129 KB...

09 09 2026 11:51:16

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В ПРОЕКТНОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ УЧАЩИХСЯ

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В ПРОЕКТНОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ УЧАЩИХСЯ Статья в формате PDF 136 KB...

08 09 2026 9:44:44

УЧЕТ СИНЕРГЕТИЧЕСКИХ ЭФФЕКТОВ ПРИ ИНТЕГРАЦИИ В ИНДУСТРИИ ТУРИЗМА

УЧЕТ СИНЕРГЕТИЧЕСКИХ ЭФФЕКТОВ ПРИ ИНТЕГРАЦИИ В ИНДУСТРИИ ТУРИЗМА Статья в формате PDF 167 KB...

07 09 2026 3:32:55

НЕКОТОРЫЕ АСПЕКТЫ АЛКОГОЛИЗАЦИИ ПОДРОСТКОВ ИЗ НЕБЛАГОПОЛУЧНЫХ СЕМЕЙ

НЕКОТОРЫЕ АСПЕКТЫ АЛКОГОЛИЗАЦИИ ПОДРОСТКОВ ИЗ НЕБЛАГОПОЛУЧНЫХ СЕМЕЙ Статья в формате PDF 119 KB...

06 09 2026 0:55:29

ЭВОЛЮЦИЯ РЕЛИГИОЗНОСТИ

ЭВОЛЮЦИЯ РЕЛИГИОЗНОСТИ Статья в формате PDF 270 KB...

05 09 2026 18:28:38

ПРИБОР “ZEPPER” ПРОТИВ ПАРАЗИТОФАУНЫ ЧЕЛОВЕКА

Статья в формате PDF 134 KB...

04 09 2026 0:50:54

Иммунологические аспекты у детей с долихосигмой

Иммунологические аспекты у детей с долихосигмой Статья в формате PDF 103 KB...

03 09 2026 22:11:27

СЕЛЕКТИВНОЕ РАСТВОРЕНИЕ ГЕТЕРОФАЗНОЙ ПОВЕРХНОСТИ УГЛЕРОДИСТЫХ СТАЛЕЙ ПРИ АНОДНОЙ ПОЛЯРИЗАЦИИ

СЕЛЕКТИВНОЕ РАСТВОРЕНИЕ ГЕТЕРОФАЗНОЙ ПОВЕРХНОСТИ УГЛЕРОДИСТЫХ СТАЛЕЙ ПРИ АНОДНОЙ ПОЛЯРИЗАЦИИ Статья в формате PDF 185 KB...

02 09 2026 1:31:26

О СПЕЦИФИКЕ ПРЕПОДАВАНИЯ МИКРОБИОЛОГИИ, ВИРУСОЛОГИИ И ИММУНОЛОГИИ НА СТОМАТОЛОГИЧЕСКОМ ФАКУЛЬТЕТЕ СОГМА

О СПЕЦИФИКЕ ПРЕПОДАВАНИЯ МИКРОБИОЛОГИИ, ВИРУСОЛОГИИ И ИММУНОЛОГИИ НА СТОМАТОЛОГИЧЕСКОМ ФАКУЛЬТЕТЕ СОГМА Статья в формате PDF 113 KB...

01 09 2026 1:21:49

РЕГУЛЯЦИЯ ПРОЛИФЕРАЦИИ КЛЕТОК С ПОМОЩЬЮ ХОРИОНИЧЕСКОГО ГОНАДОТРОПИНА ЧЕЛОВЕКА

РЕГУЛЯЦИЯ ПРОЛИФЕРАЦИИ КЛЕТОК С ПОМОЩЬЮ ХОРИОНИЧЕСКОГО ГОНАДОТРОПИНА ЧЕЛОВЕКА Статья в формате PDF 122 KB...

31 08 2026 6:28:52

СИСТЕМА МЕХАНИЗИРОВАННОЙ ОЧИСТКИ МУСОРОПРОВОДОВ

СИСТЕМА МЕХАНИЗИРОВАННОЙ ОЧИСТКИ МУСОРОПРОВОДОВ Статья в формате PDF 110 KB...

30 08 2026 18:32:16

ЛЕЧЕНИЕ ЭМБРИОНАЛЬНЫМИ КЛЕТКАМИ НЕ ПАНАЦЕЯ

ЛЕЧЕНИЕ ЭМБРИОНАЛЬНЫМИ КЛЕТКАМИ НЕ ПАНАЦЕЯ Статья в формате PDF 125 KB...

29 08 2026 22:51:59

ФОРМИРОВАНИЕ ХОЛДИНГОВЫХ СТРУКТУР В САНАТОРНО-КУРОРТНОЙ СФЕРЕ РЕГИОНОВ

ФОРМИРОВАНИЕ ХОЛДИНГОВЫХ СТРУКТУР В САНАТОРНО-КУРОРТНОЙ СФЕРЕ РЕГИОНОВ Статья в формате PDF 134 KB...

28 08 2026 4:49:54

УРОВЕНЬ ПРОВОСПАЛИТЕЛЬНЫХ ЦИТОКИНОВ И ПОКАЗАТЕЛИ ЖЕСТКОСТИ СОСУДОВ У БОЛЬНЫХ АРТЕРИАЛЬНОЙ ГИПЕРТЕНЗИЕЙ НА ФОНЕ ПОДАГРЫ

УРОВЕНЬ ПРОВОСПАЛИТЕЛЬНЫХ ЦИТОКИНОВ И ПОКАЗАТЕЛИ ЖЕСТКОСТИ СОСУДОВ У БОЛЬНЫХ АРТЕРИАЛЬНОЙ ГИПЕРТЕНЗИЕЙ НА ФОНЕ ПОДАГРЫ Статья в формате PDF 295 KB...

27 08 2026 20:25:10

Комплексный метод лечения вторичного системного остеопороза

Комплексный метод лечения вторичного системного остеопороза Статья в формате PDF 109 KB...

26 08 2026 13:56:53

БИОЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ ЗВЕНЬЕВ СЕВООБОРОТА С ЗАНЯТЫМИ И СИДЕРАЛЬНЫМИ ПАРАМИ В РОСТОВСКОЙ ОБЛАСТИ

БИОЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ ЗВЕНЬЕВ СЕВООБОРОТА С ЗАНЯТЫМИ И СИДЕРАЛЬНЫМИ ПАРАМИ В РОСТОВСКОЙ ОБЛАСТИ Статья в формате PDF 117 KB...

25 08 2026 22:16:25

АВТОСТОЯНКА КАРУСЕЛЬНОГО ТИПА

АВТОСТОЯНКА КАРУСЕЛЬНОГО ТИПА Статья в формате PDF 142 KB...

24 08 2026 0:44:31

ПРОБЛЕМЫ ПРЕПОДАВАНИЯ КУРСА “ВЫСШАЯ МАТЕМАТИКА” НА ЕСТЕСТВЕННОНАУЧНЫХ ФАКУЛЬТЕТАХ

ПРОБЛЕМЫ ПРЕПОДАВАНИЯ КУРСА “ВЫСШАЯ МАТЕМАТИКА” НА ЕСТЕСТВЕННОНАУЧНЫХ ФАКУЛЬТЕТАХ Статья в формате PDF 98 KB...

23 08 2026 13:52:16

СИСТЕМНЫЕ МОДЕЛИ ВООРУЖЕННЫХ КОНФЛИКТОВ

СИСТЕМНЫЕ МОДЕЛИ ВООРУЖЕННЫХ КОНФЛИКТОВ Статья в формате PDF 108 KB...

22 08 2026 22:23:31

УПРАВЛЕНИЕ РЕСУРСАМИ ОРГАНИЗАЦИИ В УСЛОВИЯХ ИЗМЕНЯЮЩЕГОСЯ СЕЗОННОГО СПРОСА

УПРАВЛЕНИЕ РЕСУРСАМИ ОРГАНИЗАЦИИ В УСЛОВИЯХ ИЗМЕНЯЮЩЕГОСЯ СЕЗОННОГО СПРОСА Статья в формате PDF 102 KB...

21 08 2026 20:50:55

ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ОБЛУЧЕНИЯ НА СОСТОЯНИЕ ЖИВОТНЫХ И ЕГО КОРРЕКЦИЯ ЭКСТРАКТОМ ЭЛЕУТЕРОКОККА

ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ОБЛУЧЕНИЯ НА СОСТОЯНИЕ ЖИВОТНЫХ И ЕГО КОРРЕКЦИЯ ЭКСТРАКТОМ ЭЛЕУТЕРОКОККА Статья в формате PDF 130 KB...

20 08 2026 10:41:43

РЕАЛИЗАЦИЯ БОЛОНСКИХ СОГЛАШЕНИЙ В РОССИЙСКОЙ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЕ

РЕАЛИЗАЦИЯ БОЛОНСКИХ СОГЛАШЕНИЙ В РОССИЙСКОЙ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЕ Статья в формате PDF 126 KB...

19 08 2026 0:37:14

УЛЬТРАФИОЛЕТ В РОЛИ ФАКТОРА ПОВЫШЕНИЯ КАЧЕСТВА МЯСНОЙ ПРОДУКЦИИ

УЛЬТРАФИОЛЕТ В РОЛИ ФАКТОРА ПОВЫШЕНИЯ КАЧЕСТВА МЯСНОЙ ПРОДУКЦИИ Статья в формате PDF 251 KB...

18 08 2026 8:55:26

МЕДИКО-ПЕДАГОГИЧЕСКАЯ И СОЦИАЛЬНО-ПСИХОЛОГИЧЕСКАЯ СЛУЖБЫ ДОШКОЛЬНОГО ОБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЯ: ФУНКЦИИ И МОДЕЛИ

МЕДИКО-ПЕДАГОГИЧЕСКАЯ И СОЦИАЛЬНО-ПСИХОЛОГИЧЕСКАЯ СЛУЖБЫ ДОШКОЛЬНОГО ОБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЯ: ФУНКЦИИ И МОДЕЛИ Статья в формате PDF 244 KB...

17 08 2026 17:36:48

ПРОЕКТИРОВАНИЕ РЕЦЕПТУР КОНЦЕНТРАТОВ КИСЕЛЕЙ ДЛЯ ЛЮДЕЙ С СЕРДЕЧНО-СОСУДИСТЫМИ ЗАБОЛЕВАНИЯМИ

ПРОЕКТИРОВАНИЕ РЕЦЕПТУР КОНЦЕНТРАТОВ КИСЕЛЕЙ ДЛЯ ЛЮДЕЙ С СЕРДЕЧНО-СОСУДИСТЫМИ ЗАБОЛЕВАНИЯМИ Статья в формате PDF 253 KB...

16 08 2026 20:17:14

ОСНОВЫ ИНТЕГРАЦИИ НАУКИ, ОБРАЗОВАНИЯ И ПРОИЗВОДСТВА

ОСНОВЫ ИНТЕГРАЦИИ НАУКИ, ОБРАЗОВАНИЯ И ПРОИЗВОДСТВА Статья в формате PDF 292 KB...

15 08 2026 10:53:40

БОРИСОВА ЭЛЕОНОРА ГЕННАДИЕВНА

БОРИСОВА ЭЛЕОНОРА ГЕННАДИЕВНА Статья в формате PDF 347 KB...

14 08 2026 7:41:59

ОСОБЕННОСТИ УПРАВЛЕНЧЕСКИХ ТЕХНОЛОГИЙ И ИХ ДИВЕРСИФИКАЦИЯ НА РЫНКЕ НЕФТЕПРОДУКТОВ

ОСОБЕННОСТИ УПРАВЛЕНЧЕСКИХ ТЕХНОЛОГИЙ И ИХ ДИВЕРСИФИКАЦИЯ НА РЫНКЕ НЕФТЕПРОДУКТОВ Статья в формате PDF 164 KB...

13 08 2026 15:27:18

КРИМИНАЛЬНАЯ АГРЕССИЯ ПСИХИЧЕСКИ БОЛЬНЫХ В РАЗЛИЧНЫЕ ПЕРИОДЫ СОЦИАЛЬНО-ЭКОНОМИЧЕСКОГО РАЗВИТИЯ РОССИИ

КРИМИНАЛЬНАЯ АГРЕССИЯ ПСИХИЧЕСКИ БОЛЬНЫХ В РАЗЛИЧНЫЕ ПЕРИОДЫ СОЦИАЛЬНО-ЭКОНОМИЧЕСКОГО РАЗВИТИЯ РОССИИ Проведен анализ криминальной агрессии лиц с психическими расстройствами в различные социально-экономические периоды развития России (советский, перестройка, современный период). Выявлена прямая корреляционная зависимость уровня криминальной агрессии лиц с умственной отсталостью со снижением уровня жизни. Существенную роль в формировании криминальной агрессии указанного контингента играли корыстные мотивы. Предлагаются методы первичной и вторичной психопрофилактики. ...

12 08 2026 22:16:31

Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::