ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ НА ОСНОВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР

Перед современной микроэлектроникой стоят проблемы повышения степени интеграции, уменьшения потрeбляемой мощности и размеров элементов разpaбатываемых интегральных схем (ИС), поэтому важно знать физические ограничения, накладываемые на процессы их изготовления. В связи с этим проблема исследования технологических процессов и предельных параметров при изготовлении ИС является важной и актуальной.
Для выявления физических ограничений и выработки требований к материалам, на основе которых изготавливаются ИС, были изучены физические основы таких процессов изготовления ИС, как оксидирование, литография, диффузия примесей и эпитаксия; проведены экспериментальные исследования образцов эпитаксиальных структур, на основе которых изготавливают ИС и оценочные расчёты предельных параметров процессов изготовления ИС.
Исследование процесса окисления кремниевых пластинок показало, что для выращивания пленок в атмосфере сухого кислорода, имеющих более совершенную структуру, требуются значительной затраты времени. Быстрее происходит выращивание пленки во влажном кислороде, но эти пленки получаются пористыми, с проколами. Поэтому наиболее выгодно использовать комбинированный метод окисления, который сочетает в себе преимущества этих двух методов, пленки получаются прочные, нужной толщины (от 0,2 до 1,2 мкм) за оптимальный промежуток времени.
В связи с этим одним из основных параметров SiO2 является величина напряжения, при котором наступает пробой. Зондовым методом определили значение пробивного поля окисной пленки, получили примерно 0,4 МВ*см-1, что соответствует пробою в дефектном месте.
При фотолитографии по ряду причин существует ограничение на минимальный размер изображении, которое можно получить этим методом. Проведенная оценка теоретического предела минимального размера изображения, получаемого при различных видах литографии показывает, что рентгенолитография отличается большей разрешающей способностью, чем фотолитография. Получили, что λ=300 нм теоретически можем получить линию толщиной 0,2 мкм. Сегодня осуществляется переход к EUV-литографии (λ=13 нм), что делает возможной печать линий гораздо меньшей ширины - до 30 нм.
Статья в формате PDF
253 KB...
10 10 2026 19:55:28
Статья в формате PDF
116 KB...
09 10 2026 2:21:32
Исследована краевая задача со смещением для вырождающегося гиперболического уравнения. При определенных условиях неравенственного типа на известные функции доказана теорема единственности. Вопрос существования решения задачи сведен к вопросу разрешимости сингулярного интегрального уравнения, которое редуцируется к уравнению Фредгольма второго рода, безусловная разрешимость которого заключается из единственности решения задачи.
...
08 10 2026 23:56:25
Статья в формате PDF
223 KB...
07 10 2026 0:50:20
Статья в формате PDF
103 KB...
06 10 2026 16:37:25
Статья в формате PDF
110 KB...
05 10 2026 15:50:46
Статья в формате PDF
114 KB...
04 10 2026 10:31:53
Представлены результаты двухлетних опытных работ с целью разработки эффективных способов биологической рекультивации без нанесения плодородного слоя на отвалах Айхальского ГОКа.
...
03 10 2026 8:11:25
Статья в формате PDF
303 KB...
02 10 2026 22:56:54
Статья в формате PDF
113 KB...
01 10 2026 0:35:51
Статья в формате PDF
130 KB...
30 09 2026 1:45:30
Статья в формате PDF
379 KB...
29 09 2026 2:46:45
Статья в формате PDF
455 KB...
28 09 2026 2:46:17
Статья в формате PDF
279 KB...
27 09 2026 7:17:57
Статья в формате PDF
273 KB...
26 09 2026 23:33:24
Статья в формате PDF
355 KB...
25 09 2026 12:40:44
Статья в формате PDF
121 KB...
24 09 2026 6:19:24
Статья в формате PDF
114 KB...
23 09 2026 4:55:33
Статья в формате PDF
293 KB...
22 09 2026 9:56:24
Статья в формате PDF
118 KB...
20 09 2026 22:41:29
Статья в формате PDF
323 KB...
19 09 2026 4:26:58
Проведены биохимические и иммунологические исследования крови у больных с урогeнитaльными инфекциями в условиях Среднего Приобья. Отмечены патологические изменения показателей белкового, липидного обменов и активация белков острой фазы. Наблюдалось резкое повышение активности креатинкиназы в крови всех групп больных. Результаты иммунологических исследований показали изменения В-клеточного звена в сторону увеличение уровня иммуноглобулинов IgG, IgA и снижение активности Т-клеточного звена иммунитета.
...
18 09 2026 5:36:58
Статья в формате PDF
256 KB...
17 09 2026 22:44:36
16 09 2026 10:54:30
Статья в формате PDF
112 KB...
15 09 2026 1:44:44
Статья в формате PDF
142 KB...
14 09 2026 22:15:50
Статья в формате PDF
106 KB...
13 09 2026 0:33:21
Статья в формате PDF
118 KB...
12 09 2026 14:55:44
Статья в формате PDF
496 KB...
11 09 2026 22:14:48
Статья в формате PDF
100 KB...
10 09 2026 5:16:27
09 09 2026 20:58:14
Статья в формате PDF
104 KB...
08 09 2026 19:57:15
Статья в формате PDF
112 KB...
07 09 2026 10:46:11
06 09 2026 19:56:34
Проведена работа по полевому и лабораторному изучению современного гидрохимического состояния воды и донных отложений рек зоны воздействия угледобывающего промышленного комплекса Южной Якутии. На основе анализа результатов исследований дана оценка качества данных водотоков. Установлено загрязнение нормируемого содержания некоторых компонентов воды естественного и техногенного хаpaктера.
...
05 09 2026 6:43:54
Статья в формате PDF
113 KB...
04 09 2026 0:47:21
Статья в формате PDF
111 KB...
03 09 2026 15:27:33
Статья в формате PDF
111 KB...
02 09 2026 12:27:13
Статья в формате PDF
125 KB...
01 09 2026 14:41:25
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::