ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ НА ОСНОВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР
Перед современной микроэлектроникой стоят проблемы повышения степени интеграции, уменьшения потрeбляемой мощности и размеров элементов разpaбатываемых интегральных схем (ИС), поэтому важно знать физические ограничения, накладываемые на процессы их изготовления. В связи с этим проблема исследования технологических процессов и предельных параметров при изготовлении ИС является важной и актуальной.
Для выявления физических ограничений и выработки требований к материалам, на основе которых изготавливаются ИС, были изучены физические основы таких процессов изготовления ИС, как оксидирование, литография, диффузия примесей и эпитаксия; проведены экспериментальные исследования образцов эпитаксиальных структур, на основе которых изготавливают ИС и оценочные расчёты предельных параметров процессов изготовления ИС.
Исследование процесса окисления кремниевых пластинок показало, что для выращивания пленок в атмосфере сухого кислорода, имеющих более совершенную структуру, требуются значительной затраты времени. Быстрее происходит выращивание пленки во влажном кислороде, но эти пленки получаются пористыми, с проколами. Поэтому наиболее выгодно использовать комбинированный метод окисления, который сочетает в себе преимущества этих двух методов, пленки получаются прочные, нужной толщины (от 0,2 до 1,2 мкм) за оптимальный промежуток времени.
В связи с этим одним из основных параметров SiO2 является величина напряжения, при котором наступает пробой. Зондовым методом определили значение пробивного поля окисной пленки, получили примерно 0,4 МВ*см-1, что соответствует пробою в дефектном месте.
При фотолитографии по ряду причин существует ограничение на минимальный размер изображении, которое можно получить этим методом. Проведенная оценка теоретического предела минимального размера изображения, получаемого при различных видах литографии показывает, что рентгенолитография отличается большей разрешающей способностью, чем фотолитография. Получили, что λ=300 нм теоретически можем получить линию толщиной 0,2 мкм. Сегодня осуществляется переход к EUV-литографии (λ=13 нм), что делает возможной печать линий гораздо меньшей ширины - до 30 нм.
Статья в формате PDF
98 KB...
31 10 2026 4:50:31
Статья в формате PDF
129 KB...
30 10 2026 7:36:22
Приведены аномальные структуры геохимических полей (АСГП) по вторичным ореолам рассеяния месторождений и проявлений эптермального золото-серебряного оруденения. Оруденение в регионах связано с венд-раннекембийскими и среднедевонскими вулканогенными образованиями. Показаны различные наборы аномальных значений химических элементов в зонах ядерного концентрирования, транзита элементов и фронтальных зонах концентрирования. Оценен условный потенциал ионизации в зональных конструкциях АСГП, показывающих кислотно – основной потенциал среды минералообразования. Проведен факторный анализ для всех зон АСГП c показом эллипсоидов изменчивости и факторных нагрузок.
...
29 10 2026 20:57:12
Статья в формате PDF
130 KB...
27 10 2026 20:50:33
Статья в формате PDF
255 KB...
25 10 2026 18:32:31
Статья в формате PDF
136 KB...
24 10 2026 12:25:59
Представлены результаты собственных исследований, которые проводились методом добровольного сплошного анкетирования в 9 областных и районных центрах Российской федерации. В качестве исследуемых явлений были оценены: наличие синдрома дефицита внимания с гипеpaктивностью (СДВГ) и социальные факторы, участвующие в механизмах СДВГ. Установлена значимость последних в формировании и инициации данного заболевания, изучена их структура, также оценен вклад социально-психологического окружения.
...
23 10 2026 3:41:46
Статья в формате PDF
119 KB...
21 10 2026 0:46:38
Статья в формате PDF
89 KB...
20 10 2026 16:53:33
Статья в формате PDF
111 KB...
18 10 2026 21:18:11
Статья в формате PDF
280 KB...
17 10 2026 1:48:29
Статья в формате PDF
162 KB...
15 10 2026 14:49:15
Статья в формате PDF
110 KB...
14 10 2026 12:22:18
В статье дается оценка состояния экосистем западного Кавказа, вовлекаемых в олимпийское строительство. Актуальной становиться проблема взаимоотношений «рекреация — животный мир», выявление положительных и отрицательных сторон, а также пути их решения.
...
13 10 2026 15:19:14
Статья в формате PDF
141 KB...
12 10 2026 11:23:34
Статья в формате PDF
90 KB...
11 10 2026 22:35:16
Статья в формате PDF
66 KB...
10 10 2026 2:23:34
Статья в формате PDF
283 KB...
09 10 2026 0:38:56
Статья в формате PDF
132 KB...
08 10 2026 5:35:35
Статья в формате PDF
129 KB...
07 10 2026 7:55:29
Статья в формате PDF
134 KB...
06 10 2026 16:53:52
Статья в формате PDF
111 KB...
05 10 2026 16:28:55
Статья в формате PDF
111 KB...
04 10 2026 14:54:55
Статья в формате PDF
102 KB...
03 10 2026 14:13:30
Статья в формате PDF 281 KB...
30 09 2026 14:49:11
Статья в формате PDF
121 KB...
29 09 2026 14:14:58
Статья в формате PDF
120 KB...
28 09 2026 11:25:16
Статья в формате PDF
102 KB...
27 09 2026 10:35:54
В данном исследовании приведены морфологические изменения в слизистой оболочке желудка при воздействии гипокинезии. Структурные изменение былы выявлены в слизистой оболочке.
...
26 09 2026 6:59:12
Статья в формате PDF
218 KB...
25 09 2026 9:19:38
Статья в формате PDF 99 KB...
24 09 2026 2:35:35
Статья в формате PDF
134 KB...
23 09 2026 11:50:40
Статья в формате PDF
245 KB...
22 09 2026 23:59:45
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::
