ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ НА ОСНОВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР
Перед современной микроэлектроникой стоят проблемы повышения степени интеграции, уменьшения потрeбляемой мощности и размеров элементов разpaбатываемых интегральных схем (ИС), поэтому важно знать физические ограничения, накладываемые на процессы их изготовления. В связи с этим проблема исследования технологических процессов и предельных параметров при изготовлении ИС является важной и актуальной.
Для выявления физических ограничений и выработки требований к материалам, на основе которых изготавливаются ИС, были изучены физические основы таких процессов изготовления ИС, как оксидирование, литография, диффузия примесей и эпитаксия; проведены экспериментальные исследования образцов эпитаксиальных структур, на основе которых изготавливают ИС и оценочные расчёты предельных параметров процессов изготовления ИС.
Исследование процесса окисления кремниевых пластинок показало, что для выращивания пленок в атмосфере сухого кислорода, имеющих более совершенную структуру, требуются значительной затраты времени. Быстрее происходит выращивание пленки во влажном кислороде, но эти пленки получаются пористыми, с проколами. Поэтому наиболее выгодно использовать комбинированный метод окисления, который сочетает в себе преимущества этих двух методов, пленки получаются прочные, нужной толщины (от 0,2 до 1,2 мкм) за оптимальный промежуток времени.
В связи с этим одним из основных параметров SiO2 является величина напряжения, при котором наступает пробой. Зондовым методом определили значение пробивного поля окисной пленки, получили примерно 0,4 МВ*см-1, что соответствует пробою в дефектном месте.
При фотолитографии по ряду причин существует ограничение на минимальный размер изображении, которое можно получить этим методом. Проведенная оценка теоретического предела минимального размера изображения, получаемого при различных видах литографии показывает, что рентгенолитография отличается большей разрешающей способностью, чем фотолитография. Получили, что λ=300 нм теоретически можем получить линию толщиной 0,2 мкм. Сегодня осуществляется переход к EUV-литографии (λ=13 нм), что делает возможной печать линий гораздо меньшей ширины - до 30 нм.
Статья в формате PDF
317 KB...
22 07 2026 22:30:46
Статья в формате PDF
128 KB...
21 07 2026 21:15:27
Статья в формате PDF
119 KB...
20 07 2026 21:50:55
Статья в формате PDF
106 KB...
19 07 2026 13:43:28
Статья в формате PDF
260 KB...
18 07 2026 8:59:33
Статья в формате PDF
113 KB...
17 07 2026 11:32:38
Статья в формате PDF
100 KB...
16 07 2026 10:30:25
Статья в формате PDF
118 KB...
15 07 2026 1:51:43
Статья в формате PDF
245 KB...
14 07 2026 9:23:44
Статья в формате PDF
127 KB...
13 07 2026 1:43:37
Статья в формате PDF
123 KB...
11 07 2026 12:45:11
Статья в формате PDF
279 KB...
10 07 2026 7:43:46
Статья в формате PDF
325 KB...
09 07 2026 18:58:35
Статья в формате PDF
130 KB...
08 07 2026 17:34:44
Выявлены количественные и качественные особенности формирования запасов углерода в степных экосистемах.
...
07 07 2026 22:50:46
Статья в формате PDF
115 KB...
06 07 2026 18:54:18
Статья в формате PDF
244 KB...
05 07 2026 4:33:40
Статья в формате PDF
120 KB...
04 07 2026 19:43:46
Статья в формате PDF
131 KB...
03 07 2026 20:41:33
Статья в формате PDF
143 KB...
02 07 2026 11:39:39
Статья в формате PDF
101 KB...
01 07 2026 7:29:50
Статья в формате PDF
102 KB...
30 06 2026 6:43:25
Статья в формате PDF
266 KB...
29 06 2026 12:53:31
Статья в формате PDF
98 KB...
28 06 2026 2:31:50
Статья в формате PDF
129 KB...
27 06 2026 6:30:33
Статья в формате PDF
123 KB...
26 06 2026 7:20:12
Статья в формате PDF 253 KB...
25 06 2026 16:38:35
Статья в формате PDF
127 KB...
24 06 2026 20:20:15
Гравитационные силы обусловлены тем, что в материальные тела поступает энергия из космического прострaнcтва, которая создает давление и увеличивает массу тел. Гипотеза находит подтверждение в виде космологического красного смещения. Возникновение инерционных сил (вопреки теории относительности А. Эйнштейна) наступает вследствие взаимодействия элементарных частиц с эфиром. Проанализирована структура электрона, и на ее основе проведена оценка скорости гравитационных волн, которая оказалась равной 4.7∙108 м/с.
...
23 06 2026 21:47:45
Статья в формате PDF
112 KB...
22 06 2026 0:38:16
Статья в формате PDF
262 KB...
20 06 2026 20:34:36
Статья в формате PDF
141 KB...
17 06 2026 18:33:57
Статья в формате PDF
127 KB...
16 06 2026 1:45:10
Статья в формате PDF
119 KB...
14 06 2026 14:41:58
Статья в формате PDF
125 KB...
13 06 2026 15:44:15
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::
