ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ НА ОСНОВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР
Перед современной микроэлектроникой стоят проблемы повышения степени интеграции, уменьшения потрeбляемой мощности и размеров элементов разpaбатываемых интегральных схем (ИС), поэтому важно знать физические ограничения, накладываемые на процессы их изготовления. В связи с этим проблема исследования технологических процессов и предельных параметров при изготовлении ИС является важной и актуальной.
Для выявления физических ограничений и выработки требований к материалам, на основе которых изготавливаются ИС, были изучены физические основы таких процессов изготовления ИС, как оксидирование, литография, диффузия примесей и эпитаксия; проведены экспериментальные исследования образцов эпитаксиальных структур, на основе которых изготавливают ИС и оценочные расчёты предельных параметров процессов изготовления ИС.
Исследование процесса окисления кремниевых пластинок показало, что для выращивания пленок в атмосфере сухого кислорода, имеющих более совершенную структуру, требуются значительной затраты времени. Быстрее происходит выращивание пленки во влажном кислороде, но эти пленки получаются пористыми, с проколами. Поэтому наиболее выгодно использовать комбинированный метод окисления, который сочетает в себе преимущества этих двух методов, пленки получаются прочные, нужной толщины (от 0,2 до 1,2 мкм) за оптимальный промежуток времени.
В связи с этим одним из основных параметров SiO2 является величина напряжения, при котором наступает пробой. Зондовым методом определили значение пробивного поля окисной пленки, получили примерно 0,4 МВ*см-1, что соответствует пробою в дефектном месте.
При фотолитографии по ряду причин существует ограничение на минимальный размер изображении, которое можно получить этим методом. Проведенная оценка теоретического предела минимального размера изображения, получаемого при различных видах литографии показывает, что рентгенолитография отличается большей разрешающей способностью, чем фотолитография. Получили, что λ=300 нм теоретически можем получить линию толщиной 0,2 мкм. Сегодня осуществляется переход к EUV-литографии (λ=13 нм), что делает возможной печать линий гораздо меньшей ширины - до 30 нм.
Статья в формате PDF
136 KB...
02 07 2026 18:17:23
Статья в формате PDF
286 KB...
01 07 2026 16:18:15
Статья в формате PDF
119 KB...
30 06 2026 23:56:17
Статья в формате PDF
121 KB...
29 06 2026 10:14:35
Статья в формате PDF
113 KB...
28 06 2026 18:14:12
Статья в формате PDF
233 KB...
27 06 2026 13:56:13
Статья в формате PDF
148 KB...
26 06 2026 15:56:20
Статья в формате PDF
121 KB...
25 06 2026 3:57:45
Статья в формате PDF
111 KB...
24 06 2026 1:32:36
Статья в формате PDF
285 KB...
22 06 2026 18:46:26
Статья в формате PDF
264 KB...
21 06 2026 4:32:10
Статья в формате PDF
732 KB...
20 06 2026 5:53:45
Статья в формате PDF
104 KB...
19 06 2026 1:13:29
Статья в формате PDF
298 KB...
18 06 2026 5:34:59
Статья в формате PDF
113 KB...
17 06 2026 5:55:23
Статья в формате PDF
236 KB...
16 06 2026 8:18:53
Статья в формате PDF
43 KB...
15 06 2026 19:46:23
Статья в формате PDF
125 KB...
14 06 2026 5:45:49
Статья в формате PDF
254 KB...
13 06 2026 1:41:11
Статья в формате PDF
116 KB...
12 06 2026 3:18:44
Статья в формате PDF
266 KB...
10 06 2026 9:13:52
Статья в формате PDF
103 KB...
09 06 2026 10:58:26
Статья в формате PDF
104 KB...
08 06 2026 6:48:27
Статья в формате PDF
126 KB...
05 06 2026 18:41:46
Статья в формате PDF
136 KB...
04 06 2026 5:22:37
Статья в формате PDF
251 KB...
03 06 2026 16:22:33
Статья в формате PDF
164 KB...
02 06 2026 14:42:26
Статья в формате PDF
259 KB...
01 06 2026 18:56:15
Химия, биология, география и астрономия являются естественными науками, а обучение химии, биологии, географии и астрономии, безусловно, является искусством. И от того, насколько педагоги владеют этим искусством, зависит то, насколько наше общество вооружено знаниями. Обучение естественным наукам - это не просто передача определенного объема знаний, но и развитие жажды серьезного труда, без которой жизнь не может быть ни достойной, ни счастливой. А для того, чтобы эта жажда появилась, необходимо, чтобы сам напиток знаний был не только полезным и поучительным, но и обязательно «вкусным», содержал какие-то «наркотические компоненты», вызывающие устойчивое привыкание к получению все новых знаний. Талантливым детям необходимы талантливые учебники и талантливые образовательные системы. Нельзя сокращать количество часов преподавания естественнонаучных дисциплин, которые способствуют лучшему усвоению гуманитарных предметов, воспитывают логику, необходимую для обучения точным дисциплинам, способствуют воспитанию гуманизма. Приводится перечень проблем, которые необходимо решать при построении образовательной системы становления естественнонаучного мировоззрения у одаренных детей.
...
31 05 2026 15:53:50
Статья в формате PDF
99 KB...
29 05 2026 23:36:26
Статья в формате PDF
152 KB...
28 05 2026 15:22:28
Статья в формате PDF
292 KB...
27 05 2026 23:40:33
Статья в формате PDF
153 KB...
24 05 2026 16:49:28
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::
