ОСОБЕННОСТИ ТРАВЛЕНИЯ GAAS В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

Методы травления GaAs в низкотемпературной газоразрядной плазме в настоящее время широко исследуются и внедряются в производство изделий электронной техники[1-3]. Создание технологического оборудования для травления в низкотемпературной газоразрядной плазме с использованием магнетронных реакторов позволяет существенно улучшить параметры установок, влияющие на производительность и качество обработки GaAs. В частности, по сравнению с диодным ректором в реакторе магнетронного типа возможно достижение более высокой плотности мощности разряда и более устойчивое горение разряда при пониженном давлении.
Решающим достоинством травления в низкотемпературной плазме является возможность анизотропного травления, под которым понимается усиленное травление вглубь материала. Как известно, для увеличения анизотропного травления необходимо понижение рабочего давления и использование зарядов с магнитным удержанием плазмы.
Снижение давления в технологическом объеме плазмохимического реактора приводит к тому, что увеличивается длина свободного пробега частиц, ответственных за травление, вследствие чего возрастает анизотропия травления.
В рамках настоящей работы были проведены экспериментальные исследования по травлению GaAs в магнетронном разряде с использованием различных плазмообразующих газов. Полученные максимальные скорости травления в плазме различных рабочих газов и газовых смесей приведены в таблице.
Таблица.
|
Состав рабочего газа, об.% |
Скорость травления, мкм/мин |
|
H2 |
0,5 |
|
CCl4 |
5,0 |
|
C2 Cl3 F3 |
8,5 |
|
PCl3 (50%) + CCl4 (50%) |
12,5 |
|
PCl3 (50%) + C2Cl3 F3 (50%) |
15,0 |
|
PCl3 |
20,0 |
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Толивер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др. Плазменная технология в производстве СБИС:Пер. с англ. С сокращ./Под редак. Айнспрука Н. и Брауна Д. - М.: Мир,1987, 472с.
- Беневоленский С.Б., Истомина Н.Л. Реактивное ионно-плазменное травление арсенида галлия в плазме водорода с использованием магнетронного разряда. - Известия ВУЗов, Сер. Электроника, 1996, №1-2, с. 111-113
- Овчинников И.Л., Светцов В.И., Ефремов А.М. Плазмохимическое травление арсенида галлия в смесях хлора с аргоном. - Микроэлектроника, 1999, т.28, №1, с. 16-20
Статья в формате PDF
100 KB...
12 08 2026 13:11:23
Статья в формате PDF
106 KB...
11 08 2026 6:15:47
Статья в формате PDF
112 KB...
09 08 2026 1:28:25
Статья посвящена исследованию механизмов нейротропного действия аспирина, ацетилсалицилатов кобальта и цинка. Показано, что наличие аденозинтрифосфата во внеклеточном прострaнcтве существенно модифицирует нейротропные эффекты салицилатов. Сочетанное приложение аденозинтрифосфата с аспирином устраняет угнетение импульсной активности нейронов, вызванное индивидуальным раствором этого препарата, а совместная экспозиция аденозинтрифосфата с ацетилсалицилатами кобальта и цинка, наоборот, усиливает их активирующие эффекты. При блокировании CdCl2 и BaCl2 поступления Са2 + в нейроплазму из внеклеточной среды и внутриклеточных депо выявлено, что кальциевые механизмы не участвуют в нейротропных эффектах исследуемых салицилатов.
...
07 08 2026 1:13:12
Статья в формате PDF
122 KB...
06 08 2026 0:46:16
Статья в формате PDF
133 KB...
05 08 2026 14:10:22
Статья в формате PDF
156 KB...
04 08 2026 21:10:19
Статья в формате PDF
348 KB...
03 08 2026 20:36:51
Статья в формате PDF
118 KB...
02 08 2026 9:41:56
Статья в формате PDF
245 KB...
31 07 2026 22:32:49
Статья в формате PDF
122 KB...
30 07 2026 1:12:50
Статья в формате PDF
140 KB...
28 07 2026 17:22:55
Статья в формате PDF
244 KB...
27 07 2026 19:59:50
Статья в формате PDF
100 KB...
26 07 2026 10:27:27
Статья в формате PDF
105 KB...
24 07 2026 2:21:37
Статья в формате PDF
116 KB...
23 07 2026 2:42:10
Статья в формате PDF
144 KB...
22 07 2026 5:37:11
Статья в формате PDF
107 KB...
21 07 2026 6:11:57
Статья в формате PDF
305 KB...
20 07 2026 3:37:44
В статье рассматривается понятие речевого воздействия и его интерпретации в лингвистике. Понятие эффективности речевого воздействия и его особенностей раскрывается на материале англоязычных предисловий к учебным изданиям.
...
19 07 2026 10:30:36
Статья в формате PDF
104 KB...
18 07 2026 17:47:21
Статья в формате PDF
257 KB...
17 07 2026 9:44:10
Статья в формате PDF
139 KB...
16 07 2026 1:17:24
Алтайский край разнообразен по рельефу, климату и почвам. Включает 5 природных зон – от сухой степи до увлажнённых предгорий. Гречиха посевная выращивается на всей территории края, однако её посевы наиболее продуктивны в условиях лесостепи, что связано с природными ресурсами и развитым пчеловодством. Применение зонального агротехнического комплекса в лесостепи позволяет получать высокий урожай зерна (1,5–2,0 т/га).
...
15 07 2026 9:18:10
14 07 2026 20:49:43
Уровень кардиодеструктивных заболеваний в циркумполярном регионе имеет тенденцию к устойчивому росту. На основании результатов эпидемиологических исследований и количественной оценки факторов риска развития патологии разработана региональная модель оценки кардиоваскулярного риска для населения Ямало-Ненецкого автономного округа, учитывающая факторы питания. При составлении модели использован метод расчета весовых показателей. Шкала включает показатели распространенности классических кардиоваскулярных факторов риска, а также показатели дополнительных алиментарных рисков: артериальная гипертония, избыточная масса тела и ожирение, уровень холестерина в крови, уровень потрeбления белка и пищевого натрия. Использование модели позволяет более эффективно решать вопросы прогноза, индивидуализировать программу профилактики.
...
13 07 2026 17:18:40
Статья в формате PDF
291 KB...
12 07 2026 15:16:10
Статья в формате PDF
113 KB...
11 07 2026 12:44:39
Статья в формате PDF
113 KB...
10 07 2026 10:21:49
Статья в формате PDF
126 KB...
09 07 2026 21:17:33
Статья в формате PDF
112 KB...
08 07 2026 4:58:58
Статья в формате PDF
118 KB...
07 07 2026 15:19:16
Статья в формате PDF
123 KB...
06 07 2026 20:20:22
В работе для 55 элементов периодической системы рассчитаны поверхностное натяжение, критический радиус и постоянная Толмена. Для металлов с низкой температурой плавления величина поверхностного натяжения составляет доли Дж/м2, а для тугоплавких – единицы Дж/м2. Критический радиус d хаpaктеризует внутренние размерные эффекты и не превышает 10 нм для исследованных металлов.
...
05 07 2026 10:43:50
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::