ОСОБЕННОСТИ ТРАВЛЕНИЯ GAAS В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА
Методы травления GaAs в низкотемпературной газоразрядной плазме в настоящее время широко исследуются и внедряются в производство изделий электронной техники[1-3]. Создание технологического оборудования для травления в низкотемпературной газоразрядной плазме с использованием магнетронных реакторов позволяет существенно улучшить параметры установок, влияющие на производительность и качество обработки GaAs. В частности, по сравнению с диодным ректором в реакторе магнетронного типа возможно достижение более высокой плотности мощности разряда и более устойчивое горение разряда при пониженном давлении.
Решающим достоинством травления в низкотемпературной плазме является возможность анизотропного травления, под которым понимается усиленное травление вглубь материала. Как известно, для увеличения анизотропного травления необходимо понижение рабочего давления и использование зарядов с магнитным удержанием плазмы.
Снижение давления в технологическом объеме плазмохимического реактора приводит к тому, что увеличивается длина свободного пробега частиц, ответственных за травление, вследствие чего возрастает анизотропия травления.
В рамках настоящей работы были проведены экспериментальные исследования по травлению GaAs в магнетронном разряде с использованием различных плазмообразующих газов. Полученные максимальные скорости травления в плазме различных рабочих газов и газовых смесей приведены в таблице.
Таблица.
|
Состав рабочего газа, об.% |
Скорость травления, мкм/мин |
|
H2 |
0,5 |
|
CCl4 |
5,0 |
|
C2 Cl3 F3 |
8,5 |
|
PCl3 (50%) + CCl4 (50%) |
12,5 |
|
PCl3 (50%) + C2Cl3 F3 (50%) |
15,0 |
|
PCl3 |
20,0 |
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Толивер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др. Плазменная технология в производстве СБИС:Пер. с англ. С сокращ./Под редак. Айнспрука Н. и Брауна Д. - М.: Мир,1987, 472с.
- Беневоленский С.Б., Истомина Н.Л. Реактивное ионно-плазменное травление арсенида галлия в плазме водорода с использованием магнетронного разряда. - Известия ВУЗов, Сер. Электроника, 1996, №1-2, с. 111-113
- Овчинников И.Л., Светцов В.И., Ефремов А.М. Плазмохимическое травление арсенида галлия в смесях хлора с аргоном. - Микроэлектроника, 1999, т.28, №1, с. 16-20
Статья в формате PDF
127 KB...
21 05 2026 1:33:13
Статья в формате PDF
315 KB...
20 05 2026 8:18:31
Статья в формате PDF
139 KB...
19 05 2026 10:30:15
Статья в формате PDF
110 KB...
18 05 2026 13:17:36
Статья в формате PDF
136 KB...
17 05 2026 21:52:33
Статья в формате PDF
590 KB...
16 05 2026 8:38:51
Статья в формате PDF
112 KB...
15 05 2026 1:11:14
Статья в формате PDF
258 KB...
12 05 2026 13:10:46
Статья в формате PDF
100 KB...
11 05 2026 13:15:32
Статья в формате PDF
98 KB...
10 05 2026 21:27:24
Лимфатическая система с момента закладки является частью единой сердечно-сосудистой системы и образуется в эмбриогенезе путем выключения части первичных вен и их притоков с эндотелиальными стенками из кровотока. Неравномерный рост первичного лимфатического русла с эндотелиальными стенками, в т.ч. путем его частичной магистрализации и редукции, лежит в основе морфогенеза вариабельной дефинитивной лимфатической системы у плодов в прямой связи с закладкой лимфатических узлов.
...
07 05 2026 4:58:55
Статья в формате PDF
148 KB...
05 05 2026 11:41:56
Статья в формате PDF
103 KB...
04 05 2026 6:35:17
Статья в формате PDF
104 KB...
03 05 2026 6:43:49
Статья в формате PDF
107 KB...
02 05 2026 22:59:25
Статья в формате PDF
105 KB...
01 05 2026 3:50:37
Статья в формате PDF
263 KB...
30 04 2026 5:13:39
Статья в формате PDF
82 KB...
29 04 2026 4:11:51
Статья в формате PDF
100 KB...
28 04 2026 12:42:36
Статья в формате PDF
155 KB...
27 04 2026 16:22:48
Статья в формате PDF
113 KB...
25 04 2026 21:37:39
Статья в формате PDF
253 KB...
23 04 2026 4:25:53
Статья в формате PDF
94 KB...
21 04 2026 14:26:45
Данная статья освещает современное состояние антибактериальной терапии ревматизма,которая представляется возможной, благодаря появлению новых антибактериальных препаратов (АБП).
Затронуты способы борьбы с нарастающей резистентностью микроорганизмов к АБП.
...
20 04 2026 19:41:46
Статья в формате PDF
101 KB...
19 04 2026 23:29:31
Статья в формате PDF
139 KB...
18 04 2026 21:11:14
Статья в формате PDF
353 KB...
17 04 2026 21:22:19
Статья в формате PDF
105 KB...
16 04 2026 0:22:36
Статья в формате PDF
108 KB...
15 04 2026 14:24:31
Статья в формате PDF
101 KB...
14 04 2026 20:25:55
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::
