Тысяча полезных мелочей    

ОСОБЕННОСТИ ТРАВЛЕНИЯ GAAS В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

ОСОБЕННОСТИ ТРАВЛЕНИЯ GAAS В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

Беневоленский С.Б. Шарова С.Б. Статья в формате PDF 125 KB

Методы травления GaAs в низкотемпературной газоразрядной плазме в настоящее время широко исследуются и внедряются в производство изделий электронной техники[1-3]. Создание технологического оборудования для травления в низкотемпературной газоразрядной плазме с использованием магнетронных реакторов позволяет существенно улучшить параметры установок, влияющие на производительность и качество обработки GaAs. В частности, по сравнению с диодным ректором в реакторе магнетронного типа возможно достижение более высокой плотности мощности разряда и более устойчивое горение разряда при пониженном давлении.

Решающим достоинством травления в низкотемпературной плазме является возможность анизотропного травления, под которым понимается усиленное травление вглубь материала. Как известно, для увеличения анизотропного травления необходимо понижение рабочего давления и использование зарядов с магнитным удержанием плазмы.

Снижение давления в технологическом объеме плазмохимического реактора приводит к тому, что увеличивается длина свободного пробега частиц, ответственных за травление, вследствие чего возрастает анизотропия травления.

В рамках настоящей работы были проведены экспериментальные исследования по травлению GaAs в магнетронном разряде с использованием различных плазмообразующих газов. Полученные максимальные скорости травления в плазме различных рабочих газов и газовых смесей приведены в таблице.

Таблица.

Состав рабочего газа, об.%

Скорость травления, мкм/мин

H2

0,5

CCl4

5,0

C2 Cl3 F3

8,5

PCl3 (50%) + CCl4 (50%)

12,5

PCl3 (50%) + C2Cl3 F3 (50%)

15,0

PCl3

20,0

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

  1. Толивер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др. Плазменная технология в производстве СБИС:Пер. с англ. С сокращ./Под редак. Айнспрука Н. и Брауна Д. - М.: Мир,1987, 472с.
  2. Беневоленский С.Б., Истомина Н.Л. Реактивное ионно-плазменное травление арсенида галлия в плазме водорода с использованием магнетронного разряда. - Известия ВУЗов, Сер. Электроника, 1996, №1-2, с. 111-113
  3. Овчинников И.Л., Светцов В.И., Ефремов А.М. Плазмохимическое травление арсенида галлия в смесях хлора с аргоном. - Микроэлектроника, 1999, т.28, №1, с. 16-20


ЭНДОСКОПИЧЕСКОЕ ОПРЕДЕЛЕНИЕ ФОРМЫ СФИНКТЕРОВ ТОЛСТОЙ КИШКИ

ЭНДОСКОПИЧЕСКОЕ ОПРЕДЕЛЕНИЕ ФОРМЫ СФИНКТЕРОВ ТОЛСТОЙ КИШКИ Статья в формате PDF 248 KB...

01 11 2026 19:40:57

Общий обзор состояния инновационного предпринимательства в  Республике Таджикистан в условиях кризиса

Общий обзор состояния инновационного предпринимательства в  Республике Таджикистан в условиях кризиса Статья в формате PDF 289 KB...

31 10 2026 11:41:55

ОККЛЮЗИОННАЯ ПРОБА У БОЛЬНЫХ СТАБИЛЬНОЙ СТЕНОКАРДИЕЙ НАПРЯЖЕНИЯ III ФУНКЦИОНАЛЬНОГО КЛАССА В ПРОЦЕССЕ СТАЦИОНАРНОГО ЛЕЧЕНИЯ ПРИ ЛДФ-ТЕСТИРОВАНИИ

ОККЛЮЗИОННАЯ ПРОБА У БОЛЬНЫХ СТАБИЛЬНОЙ СТЕНОКАРДИЕЙ НАПРЯЖЕНИЯ III ФУНКЦИОНАЛЬНОГО КЛАССА В ПРОЦЕССЕ СТАЦИОНАРНОГО ЛЕЧЕНИЯ ПРИ ЛДФ-ТЕСТИРОВАНИИ Статья в формате PDF 176 KB...

30 10 2026 11:22:29

ВНЕГАСТРАЛЬНЫЕ ПРОЯВЛЕНИЯ ХЕЛИКОБАКТЕРИОЗА

ВНЕГАСТРАЛЬНЫЕ ПРОЯВЛЕНИЯ ХЕЛИКОБАКТЕРИОЗА Статья в формате PDF 504 KB...

29 10 2026 7:49:41

МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОЯСНИЧНОГО ОТДЕЛА ПОЗВОНОЧНИКА У ПАЦИЕНТОВ С БОЛЬЮ В НИЖНЕЙ ЧАСТИ СПИНЫ

МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПОЯСНИЧНОГО ОТДЕЛА ПОЗВОНОЧНИКА У ПАЦИЕНТОВ С БОЛЬЮ В НИЖНЕЙ ЧАСТИ СПИНЫ Статья в формате PDF 105 KB...

28 10 2026 20:28:35

К ПРОБЛЕМЕ СРАВНЕНИЯ ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ МОЩНОСТЕЙ

К ПРОБЛЕМЕ СРАВНЕНИЯ ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ МОЩНОСТЕЙ Статья в формате PDF 107 KB...

27 10 2026 17:36:44

ОСОБЕННОСТИ НЕЙРОЦИТНОЙ ОРГАНИЗАЦИИ ПАРАСИМПАТИЧЕСКИХ ГАНГЛИЕВ ЧЕЛОВЕКА В ПРЕНАТАЛЬНОМ ПЕРИОДЕ ОНТОГЕНЕЗА

ОСОБЕННОСТИ НЕЙРОЦИТНОЙ ОРГАНИЗАЦИИ ПАРАСИМПАТИЧЕСКИХ ГАНГЛИЕВ ЧЕЛОВЕКА В ПРЕНАТАЛЬНОМ ПЕРИОДЕ ОНТОГЕНЕЗА Статья в формате PDF 105 KB...

26 10 2026 6:44:47

ДИНАМИКА РАЗВИТИЯ РЕЛИГИОЗНОЙ СИТУАЦИИ В СОЧИ НА РУБЕЖЕ XX-XXI ВЕКОВ

ДИНАМИКА РАЗВИТИЯ РЕЛИГИОЗНОЙ СИТУАЦИИ В СОЧИ НА РУБЕЖЕ XX-XXI ВЕКОВ Статья в формате PDF 242 KB...

25 10 2026 20:13:46

ВЛИЯНИЕ ПРИРОДЫ ДЕПРЕССОРНЫХ ПРИСАДОК НА ИХ ЭФФЕКТИВНОСТЬ В ДИЗЕЛЬНЫХ ТОПЛИВ

ВЛИЯНИЕ ПРИРОДЫ ДЕПРЕССОРНЫХ ПРИСАДОК НА ИХ ЭФФЕКТИВНОСТЬ В ДИЗЕЛЬНЫХ ТОПЛИВ Статья в формате PDF 128 KB...

24 10 2026 18:44:14

УСТАНОВЛЕНИЕ ОПТИМАЛЬНОГО ПЕРИОДА ПРОГНОЗИРОВАНИЯ

УСТАНОВЛЕНИЕ ОПТИМАЛЬНОГО ПЕРИОДА ПРОГНОЗИРОВАНИЯ Статья в формате PDF 264 KB...

23 10 2026 11:27:12

КОЛОНИЗАЦИОННАЯ И ПАТОГЕНЕТИЧЕСКАЯ СПОСОБНОСТЬ МИКРОФЛОРЫ ПАРОДОНТАЛЬНОГО КАРМАНА БОЛЬНЫХ С ВОСПАЛЕНИЕМ ПАРОДОНТА

КОЛОНИЗАЦИОННАЯ И ПАТОГЕНЕТИЧЕСКАЯ СПОСОБНОСТЬ МИКРОФЛОРЫ ПАРОДОНТАЛЬНОГО КАРМАНА БОЛЬНЫХ С ВОСПАЛЕНИЕМ ПАРОДОНТА Статья в формате PDF 104 KB...

22 10 2026 15:19:31

ОСВОЕНИЕ УГЛЕВОДОРОДНЫХ РЕСУРСОВ – ГЛАВНОЕ НАПРАВЛЕНИЕ ЭКОНОМИЧЕСКОГО РАЗВИТИЯ КНР В XXI ВЕКЕ

ОСВОЕНИЕ УГЛЕВОДОРОДНЫХ РЕСУРСОВ – ГЛАВНОЕ НАПРАВЛЕНИЕ ЭКОНОМИЧЕСКОГО РАЗВИТИЯ КНР В XXI ВЕКЕ Статья в формате PDF 121 KB...

21 10 2026 4:57:16

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ СВОЙСТВА СЕМЯН МАСЛИЧНОГО ЛЬНА

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ СВОЙСТВА СЕМЯН МАСЛИЧНОГО ЛЬНА Статья в формате PDF 138 KB...

20 10 2026 17:39:40

Акустические волны в многослойных структурах

Акустические волны в многослойных структурах Статья в формате PDF 123 KB...

19 10 2026 19:23:11

Роль природного минерального комплекса в сохранении микроциркуляторного гомеостаза

Роль природного минерального комплекса в сохранении микроциркуляторного гомеостаза Статья в формате PDF 104 KB...

18 10 2026 16:21:50

ПРИРОДА РАВНИННОГО АЛТАЯ В ИСКУССТВЕ ПЕЙЗАЖА ВТОРОЙ ПОЛОВИНЫ ХХ В.

ПРИРОДА РАВНИННОГО АЛТАЯ В ИСКУССТВЕ ПЕЙЗАЖА ВТОРОЙ ПОЛОВИНЫ ХХ В. Статья в формате PDF 132 KB...

17 10 2026 12:51:57

ЭЛЕМЕНТЫ ТЕОРИИ ПРУЖИННЫХ ТРАНСПОРТЕРОВ

ЭЛЕМЕНТЫ ТЕОРИИ ПРУЖИННЫХ ТРАНСПОРТЕРОВ Статья в формате PDF 114 KB...

16 10 2026 14:28:19

СОСТАВ И ПЛОЩАДЬ ГИСТИОЛЕЙКОЦИТАРНЫХ ИНФИЛЬТРАТОВ ПРИ ДИСПЛАЗИИ СЛИЗИСТОЙ ОБОЛОЧКИ ЖЕЛУДКА

СОСТАВ И ПЛОЩАДЬ ГИСТИОЛЕЙКОЦИТАРНЫХ ИНФИЛЬТРАТОВ ПРИ ДИСПЛАЗИИ СЛИЗИСТОЙ ОБОЛОЧКИ ЖЕЛУДКА Статья в формате PDF 103 KB...

15 10 2026 0:21:23

Об устойчивости одного класса стохастических систем

Об устойчивости одного класса стохастических систем Статья в формате PDF 108 KB...

14 10 2026 0:17:22

СУБЪЕКТ ПРАВОНАРУШЕНИЯ ПО ДЕЛАМ ОБ АДМИНИСТРАТИВНЫХ ПРАВОНАРУШЕНИЯХ В ОБЛАСТИ ДОРОЖНОГО ДВИЖЕНИЯ

СУБЪЕКТ ПРАВОНАРУШЕНИЯ ПО ДЕЛАМ ОБ АДМИНИСТРАТИВНЫХ ПРАВОНАРУШЕНИЯХ В ОБЛАСТИ ДОРОЖНОГО ДВИЖЕНИЯ Статья в формате PDF 277 KB...

13 10 2026 1:45:35

КОМПЬЮТЕРНАЯ ПЛАНТОГРАФИЯ КАК МЕТОД ДИАГНОСТИКИ ЗАБОЛЕВАНИЙ СТОПЫ

КОМПЬЮТЕРНАЯ ПЛАНТОГРАФИЯ КАК МЕТОД ДИАГНОСТИКИ ЗАБОЛЕВАНИЙ СТОПЫ Статья в формате PDF 153 KB...

12 10 2026 7:43:34

ВОЗДЕЙСТВИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ НА РАЗВИТИЕ ЛИЧНОСТИ

ВОЗДЕЙСТВИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ НА РАЗВИТИЕ ЛИЧНОСТИ Статья в формате PDF 132 KB...

11 10 2026 15:19:18

ВЗАИМОСВЯЗЬ МЕЖДУ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ СЕМЬИ ДЕТЕЙ С БРОНХИАЛЬНОЙ АСТМОЙ И АКТИВНОСТЬЮ РОДИТЕЛЕЙ В ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫХ МЕРОПРИЯТИЯХ АСТМА-ШКОЛЫ

ВЗАИМОСВЯЗЬ МЕЖДУ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ СЕМЬИ ДЕТЕЙ С БРОНХИАЛЬНОЙ АСТМОЙ И АКТИВНОСТЬЮ РОДИТЕЛЕЙ В ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫХ МЕРОПРИЯТИЯХ АСТМА-ШКОЛЫ Статья в формате PDF 128 KB...

10 10 2026 2:32:53

УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССАМИ ЭМИССИИ ПАРНИКОВЫХ ГАЗОВ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ В РЕГИОНЕ (НА ПРИМЕРЕ КЕМЕРОВСКОЙ ОБЛАСТИ)

УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССАМИ ЭМИССИИ ПАРНИКОВЫХ ГАЗОВ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ В РЕГИОНЕ (НА ПРИМЕРЕ КЕМЕРОВСКОЙ ОБЛАСТИ) Статья в формате PDF 225 KB...

09 10 2026 23:42:18

Модульно-рейтинговая технология как средство повышения эффективности обучения физике (монография)

Модульно-рейтинговая технология как средство повышения эффективности обучения физике (монография) Статья в формате PDF 268 KB...

08 10 2026 7:34:59

КАТАЛИТИЧЕСКАЯ АКТИВНОСТЬ ЦЕРИЕВОГО КАТАЛИЗАТОРА В ПРОЦЕССАХ ОЧИСТКИ ПАРАФИНОВЫХ УГЛЕВОДОРОДОВ ОТ МЕТАНОЛА

КАТАЛИТИЧЕСКАЯ АКТИВНОСТЬ ЦЕРИЕВОГО КАТАЛИЗАТОРА В ПРОЦЕССАХ ОЧИСТКИ ПАРАФИНОВЫХ УГЛЕВОДОРОДОВ ОТ МЕТАНОЛА Статья в формате PDF 120 KB...

07 10 2026 18:26:56

ИНФОРМАЦИОННЫЙ АНАЛИЗ БИОЛОГИЧЕСКОЙ ЖИДКОСТИ

ИНФОРМАЦИОННЫЙ АНАЛИЗ БИОЛОГИЧЕСКОЙ ЖИДКОСТИ Статья в формате PDF 111 KB...

06 10 2026 16:48:48

ЭФФЕКТИВНОСТЬ ЛЕЧЕНИЯ ХИРУРГИЧЕСКИХ БОЛЬНЫХ С СЕПСИСОМ

ЭФФЕКТИВНОСТЬ ЛЕЧЕНИЯ ХИРУРГИЧЕСКИХ БОЛЬНЫХ С СЕПСИСОМ Статья в формате PDF 250 KB...

05 10 2026 4:43:10

ПРОБЛЕМЫ ПОДГОТОВКИ ФГОС ВПО ТРЕТЬЕГО ПОКОЛЕНИЯ ПО СПЕЦИАЛЬНОСТИ «МАШИНЫ И АППАРАТЫ ХИМИЧЕСКИХ ПРОИЗВОДСТВ»

ПРОБЛЕМЫ ПОДГОТОВКИ ФГОС ВПО ТРЕТЬЕГО ПОКОЛЕНИЯ ПО СПЕЦИАЛЬНОСТИ «МАШИНЫ И АППАРАТЫ ХИМИЧЕСКИХ ПРОИЗВОДСТВ» Статья в формате PDF 287 KB...

04 10 2026 16:55:20

О роли научно-исследовательской деятельности в подготовке студентов архитектурно-строительных специальностей

О роли научно-исследовательской деятельности в подготовке студентов архитектурно-строительных специальностей Статья в формате PDF 114 KB...

03 10 2026 5:28:29

Влияние возрастного фактора на течение гепатита А после экстренной прививки вакциной «Хаврикс» в условиях водной вспышки инфекции

Влияние возрастного фактора на течение гепатита А после экстренной прививки вакциной «Хаврикс» в условиях водной вспышки инфекции Статья в формате PDF 113 KB...

02 10 2026 16:49:37

Оценка достоверности копрологического исследования в зависимости от времени хранения материала

Оценка достоверности копрологического исследования в зависимости от времени хранения материала Статья в формате PDF 104 KB...

01 10 2026 0:33:30

ПРОБЛЕМА МОТИВАЦИИ И ПРОФЕССИОНАЛЬНОЙ ОРИЕНТАЦИИ В ПОДГОТОВКЕ ШКОЛЬНЫХ УЧИТЕЛЕЙ

ПРОБЛЕМА МОТИВАЦИИ И ПРОФЕССИОНАЛЬНОЙ ОРИЕНТАЦИИ В ПОДГОТОВКЕ ШКОЛЬНЫХ УЧИТЕЛЕЙ В работе приводится анализ мотивации выбора профессии педагога на основе изучения профессиональной ориентации в группе студентов факультета дополнительных профессий СГПИ. ...

30 09 2026 20:28:21

ОБЕСПЕЧЕНИЕ ЭКОЛОГИЧЕСКОЙ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ИСПЫТАНИЯХ ОБРАЗЦОВ ТЕПЛОЗАЩИТНЫХ МАТЕРИАЛОВ В ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОМ ПОТОКЕ ВОЗДУХА

ОБЕСПЕЧЕНИЕ ЭКОЛОГИЧЕСКОЙ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ИСПЫТАНИЯХ ОБРАЗЦОВ ТЕПЛОЗАЩИТНЫХ МАТЕРИАЛОВ В ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОМ ПОТОКЕ ВОЗДУХА Статья в формате PDF 79 KB...

29 09 2026 12:45:24

К ВОПРОСУ О ГЕОЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ЭКОЛОГИИ НА ПРИМЕРЕ КРАСНОЯРСКОГО КРАЯ

К ВОПРОСУ О ГЕОЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ЭКОЛОГИИ НА ПРИМЕРЕ КРАСНОЯРСКОГО КРАЯ Статья в формате PDF 210 KB...

28 09 2026 9:53:31

ПОЛИНОМ НЬЮТОНА – КАК МЕТОД МАТЕМАТИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ НАТЯЖЕНИЯ НИТЕЙ В ТКАЧЕСТВЕ

ПОЛИНОМ НЬЮТОНА – КАК МЕТОД МАТЕМАТИЧЕСКОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ НАТЯЖЕНИЯ НИТЕЙ В ТКАЧЕСТВЕ Статья в формате PDF 138 KB...

27 09 2026 4:41:39

ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА ПАССИВНОГО ЭКСПЕРИМЕНТА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ КРИВОЙ КОНТАКТНОЙ УСТАЛОСТИ ВАЛКОВ ТОНКОЛИСТОВЫХ СТАНОВ

ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА ПАССИВНОГО ЭКСПЕРИМЕНТА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ КРИВОЙ КОНТАКТНОЙ УСТАЛОСТИ ВАЛКОВ ТОНКОЛИСТОВЫХ СТАНОВ Статья в формате PDF 319 KB...

26 09 2026 14:45:15

СТРУКТУРНО-ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ НАРУШЕНИЯ ЩИТОВИДНОЙ ЖЕЛЕЗЫ ПРИ ВЛИЯНИИ НЕБЛАГОПРИЯТНЫХ АНТРОПОГЕННЫХ ФАКТОРОВ

СТРУКТУРНО-ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ НАРУШЕНИЯ ЩИТОВИДНОЙ ЖЕЛЕЗЫ ПРИ ВЛИЯНИИ НЕБЛАГОПРИЯТНЫХ АНТРОПОГЕННЫХ ФАКТОРОВ Статья в формате PDF 124 KB...

25 09 2026 12:54:36

МОДЕЛЬ СИНДРОМА ИЗБЫТОЧНОГО РОСТА БАКТЕРИЙ В ТОНКОЙ КИШКЕ

МОДЕЛЬ СИНДРОМА ИЗБЫТОЧНОГО РОСТА БАКТЕРИЙ В ТОНКОЙ КИШКЕ Статья в формате PDF 119 KB...

24 09 2026 5:21:42

ЭТАПЫ ПОЛУЧЕНИЯ НАПИТКА ФУНКЦИОНАЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ

ЭТАПЫ ПОЛУЧЕНИЯ НАПИТКА ФУНКЦИОНАЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ Статья в формате PDF 253 KB...

23 09 2026 20:31:22

Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::