ОСОБЕННОСТИ ТРАВЛЕНИЯ GAAS В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА
Методы травления GaAs в низкотемпературной газоразрядной плазме в настоящее время широко исследуются и внедряются в производство изделий электронной техники[1-3]. Создание технологического оборудования для травления в низкотемпературной газоразрядной плазме с использованием магнетронных реакторов позволяет существенно улучшить параметры установок, влияющие на производительность и качество обработки GaAs. В частности, по сравнению с диодным ректором в реакторе магнетронного типа возможно достижение более высокой плотности мощности разряда и более устойчивое горение разряда при пониженном давлении.
Решающим достоинством травления в низкотемпературной плазме является возможность анизотропного травления, под которым понимается усиленное травление вглубь материала. Как известно, для увеличения анизотропного травления необходимо понижение рабочего давления и использование зарядов с магнитным удержанием плазмы.
Снижение давления в технологическом объеме плазмохимического реактора приводит к тому, что увеличивается длина свободного пробега частиц, ответственных за травление, вследствие чего возрастает анизотропия травления.
В рамках настоящей работы были проведены экспериментальные исследования по травлению GaAs в магнетронном разряде с использованием различных плазмообразующих газов. Полученные максимальные скорости травления в плазме различных рабочих газов и газовых смесей приведены в таблице.
Таблица.
|
Состав рабочего газа, об.% |
Скорость травления, мкм/мин |
|
H2 |
0,5 |
|
CCl4 |
5,0 |
|
C2 Cl3 F3 |
8,5 |
|
PCl3 (50%) + CCl4 (50%) |
12,5 |
|
PCl3 (50%) + C2Cl3 F3 (50%) |
15,0 |
|
PCl3 |
20,0 |
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Толивер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др. Плазменная технология в производстве СБИС:Пер. с англ. С сокращ./Под редак. Айнспрука Н. и Брауна Д. - М.: Мир,1987, 472с.
- Беневоленский С.Б., Истомина Н.Л. Реактивное ионно-плазменное травление арсенида галлия в плазме водорода с использованием магнетронного разряда. - Известия ВУЗов, Сер. Электроника, 1996, №1-2, с. 111-113
- Овчинников И.Л., Светцов В.И., Ефремов А.М. Плазмохимическое травление арсенида галлия в смесях хлора с аргоном. - Микроэлектроника, 1999, т.28, №1, с. 16-20
Статья в формате PDF
84 KB...
12 06 2026 7:49:56
Статья в формате PDF
267 KB...
11 06 2026 5:28:17
В статье описаны связи между общественными науками и математикой. Приведены рекомендации о преподавании математики для студентов-гуманитариев. Библиогр. 4 назв.
...
10 06 2026 4:37:13
Статья в формате PDF
334 KB...
09 06 2026 15:52:47
Статья в формате PDF
98 KB...
07 06 2026 1:21:37
Статья в формате PDF 110 KB...
06 06 2026 14:18:21
Статья в формате PDF
112 KB...
05 06 2026 19:32:51
Статья в формате PDF
124 KB...
04 06 2026 7:23:21
Статья в формате PDF
263 KB...
02 06 2026 12:23:43
Статья в формате PDF
133 KB...
01 06 2026 0:38:56
Статья в формате PDF
120 KB...
31 05 2026 17:28:12
Статья в формате PDF
267 KB...
30 05 2026 12:20:43
Статья в формате PDF
254 KB...
29 05 2026 6:52:40
Зачастую жены священно и церковнослужителей к 40 годам оставались без супруга с 6-8 детьми на руках, половина из которых малолетние, а некоторые носителями неизлечимой болезни. Права на наследство и различного рода материальную помощь строго регламентировались Синодальным управлением. Семьи получали полные пенсии после cмepти родителя, если выслуга составляла не менее 30 лет. Малоимущие семьи священников имели право на получение единовременного пособия. Если срок выслуги отца семейства был менее 10 лет. Благополучие вдов с детьми священно и церковнослужителей зависело от состояния здоровья отца, что давало возможность исправно и в соответствии с временными нормами выработки нести службу, в противном же случае – святое семейство оставалось без средств к существованию.
...
28 05 2026 19:41:58
Статья в формате PDF
114 KB...
26 05 2026 6:25:50
Статья в формате PDF
263 KB...
25 05 2026 19:12:53
Статья в формате PDF
294 KB...
24 05 2026 2:25:28
Изучен качественный и количественный состав молекул средней массы, выделенных из плазмы крови и патологического эпидермиса больных хроническими, тяжелыми дерматозами. В эксперименте in vitro на эритроцитах здоровых лиц установлено, что данные МСМ активируют перекисное окисление липидов, увеличивают сорбционную емкость эритроцитов и влияют на активность ферментов биотрaнcформации. Это позволяет считать, что при дерматозах развивается эндогенная интоксикация как общебиологическая реакция на патологически измененный метаболизм, обусловленная накоплением в крови молекул средней массы.
...
23 05 2026 0:56:17
Статья в формате PDF
111 KB...
22 05 2026 3:15:46
Статья в формате PDF
125 KB...
21 05 2026 14:48:45
Статья в формате PDF
115 KB...
20 05 2026 18:24:33
Статья в формате PDF
305 KB...
19 05 2026 1:40:34
Статья в формате PDF
263 KB...
18 05 2026 13:46:16
Статья в формате PDF
119 KB...
17 05 2026 1:23:11
Статья в формате PDF
202 KB...
16 05 2026 20:35:13
Статья в формате PDF
111 KB...
15 05 2026 5:13:52
В районе падения отделяющихся частей paкет-носителей и возможного загрязнения нефтепродуктами изучены основные хаpaктеристики и особенности организации лесных сообществ дереворазрушающих грибов в высотно-поясном градиенте.
...
14 05 2026 4:44:32
Статья в формате PDF
135 KB...
13 05 2026 7:59:23
Статья в формате PDF
111 KB...
12 05 2026 10:26:43
Статья в формате PDF
99 KB...
11 05 2026 21:40:28
Статья в формате PDF
97 KB...
10 05 2026 19:37:52
Цель: Изучить функцию бронхо-легочного аппарата и клинико-лабораторных показателей в условиях применения противовоспалительных, антиоксидантных и антигипоксантных препаратов.
Материалы и методы: Обследовали 62 больных АС до лечения и на фоне медикаментозной терапии. Провели 10 дневную терапию актовегином в суточной дозе 200 мг (5 мл). Определили клинико-лабораторные показатели и параметры ФВД, ПСВ%.
Результаты: Выявлены изменения клинико лабораторных показателей, параметров ФВД, ПСВ и улучшение этих показателей на фоне терапии актовегином.
Заключение: Лечение антиоксидантными и антигипоксантными препаратами (актовегин) способствует улучшению функциональных проб клиниколабораторных показателей, параметров ФВД, ПСВ, улучшению состояния больных.
...
09 05 2026 1:31:40
Статья в формате PDF
172 KB...
08 05 2026 16:11:50
Статья в формате PDF
106 KB...
05 05 2026 18:59:45
Статья в формате PDF
130 KB...
04 05 2026 18:14:35
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::
