ОСОБЕННОСТИ ТРАВЛЕНИЯ GAAS В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА > Полезные советы
Тысяча полезных мелочей    

ОСОБЕННОСТИ ТРАВЛЕНИЯ GAAS В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

ОСОБЕННОСТИ ТРАВЛЕНИЯ GAAS В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

Беневоленский С.Б. Шарова С.Б. Статья в формате PDF 125 KB

Методы травления GaAs в низкотемпературной газоразрядной плазме в настоящее время широко исследуются и внедряются в производство изделий электронной техники[1-3]. Создание технологического оборудования для травления в низкотемпературной газоразрядной плазме с использованием магнетронных реакторов позволяет существенно улучшить параметры установок, влияющие на производительность и качество обработки GaAs. В частности, по сравнению с диодным ректором в реакторе магнетронного типа возможно достижение более высокой плотности мощности разряда и более устойчивое горение разряда при пониженном давлении.

Решающим достоинством травления в низкотемпературной плазме является возможность анизотропного травления, под которым понимается усиленное травление вглубь материала. Как известно, для увеличения анизотропного травления необходимо понижение рабочего давления и использование зарядов с магнитным удержанием плазмы.

Снижение давления в технологическом объеме плазмохимического реактора приводит к тому, что увеличивается длина свободного пробега частиц, ответственных за травление, вследствие чего возрастает анизотропия травления.

В рамках настоящей работы были проведены экспериментальные исследования по травлению GaAs в магнетронном разряде с использованием различных плазмообразующих газов. Полученные максимальные скорости травления в плазме различных рабочих газов и газовых смесей приведены в таблице.

Таблица.

Состав рабочего газа, об.%

Скорость травления, мкм/мин

H2

0,5

CCl4

5,0

C2 Cl3 F3

8,5

PCl3 (50%) + CCl4 (50%)

12,5

PCl3 (50%) + C2Cl3 F3 (50%)

15,0

PCl3

20,0

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

  1. Толивер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др. Плазменная технология в производстве СБИС:Пер. с англ. С сокращ./Под редак. Айнспрука Н. и Брауна Д. - М.: Мир,1987, 472с.
  2. Беневоленский С.Б., Истомина Н.Л. Реактивное ионно-плазменное травление арсенида галлия в плазме водорода с использованием магнетронного разряда. - Известия ВУЗов, Сер. Электроника, 1996, №1-2, с. 111-113
  3. Овчинников И.Л., Светцов В.И., Ефремов А.М. Плазмохимическое травление арсенида галлия в смесях хлора с аргоном. - Микроэлектроника, 1999, т.28, №1, с. 16-20


ОШИБКИ ПРИ ВЫЧИСЛЕНИИ РАБОТЫ

ОШИБКИ ПРИ ВЫЧИСЛЕНИИ РАБОТЫ Работу вычисляют по формуле: dA=FdS  или A=FS. Но эта формула применима только для силы вызывающей изменение кинетической энергии тела. Для других сил (трения, упругой деформации, центростремительных) работу нужно вычислять по формуле: , где  - импульс силы. ...

12 06 2026 20:47:17

ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ДЕТСКИХ КОНСЕРВОВ ИЗ ОБЪЕКТОВ МЕСТНОЙ АКВАКУЛЬТУРЫ

ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ДЕТСКИХ КОНСЕРВОВ ИЗ ОБЪЕКТОВ МЕСТНОЙ АКВАКУЛЬТУРЫ Статья в формате PDF 267 KB...

11 06 2026 7:30:27

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ПРИ ОБУЧЕНИИ СТРУКТУРИРОВАНИЮ ЗНАНИЙ

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ПРИ ОБУЧЕНИИ СТРУКТУРИРОВАНИЮ ЗНАНИЙ Статья в формате PDF 124 KB...

10 06 2026 12:52:28

ИЗУЧЕНИЕ ГЕНЕТИЧЕСКОГО РАЗНООБРАЗИЯ ЛЮЦЕРНЫ МЕТОДОМ IN VITRO

ИЗУЧЕНИЕ ГЕНЕТИЧЕСКОГО РАЗНООБРАЗИЯ ЛЮЦЕРНЫ МЕТОДОМ IN VITRO Статья в формате PDF 137 KB...

09 06 2026 23:29:29

ВОЗМОЖНОСТИ РЕКРЕАЦИОННОГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ПРИРОДНЫХ РЕСУРСОВ БУРЯТИИ

ВОЗМОЖНОСТИ РЕКРЕАЦИОННОГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ПРИРОДНЫХ РЕСУРСОВ БУРЯТИИ Статья в формате PDF 129 KB...

08 06 2026 3:33:17

ОПЫТ ПРИМЕНЕНИЯ МЕТОДА АГРОСТЕПЕЙ ДЛЯ ВОССТАНОВЛЕНИЯ НАРУШЕННОЙ РАСТИТЕЛЬНОСТИ ДОЛИНЫ СРЕДНЕЙ ЛЕНЫ (ЦЕНТРАЛЬНАЯ ЯКУТИЯ)

ОПЫТ ПРИМЕНЕНИЯ МЕТОДА АГРОСТЕПЕЙ ДЛЯ ВОССТАНОВЛЕНИЯ НАРУШЕННОЙ РАСТИТЕЛЬНОСТИ ДОЛИНЫ СРЕДНЕЙ ЛЕНЫ (ЦЕНТРАЛЬНАЯ ЯКУТИЯ) Анализ опыта по восстановлению методом агростепей растительности на нарушенных кормовых угодьях долины средней Лены показал, что метод при соблюдении экологических условий и видового состава участков обеспечивает восстановление растительности, проявляющееся в повышении проективного покрытия и доминировании в травостое целинных видов. Соответствие экологических условий и видового состава травостоя при подборе участков обеспечивает восстановление растительности нарушенных участков до 70–75 % и доминирование в травостое целинных видов до 60–65 % в условиях нормального и сильного засоления. ...

07 06 2026 16:25:56

КОМПЬЮТЕРНАЯ ДИАГНОСТИКА ЗАБОЛЕВАНИЙ И ТРАВМ ГОЛОВНОГО МОЗГА

КОМПЬЮТЕРНАЯ ДИАГНОСТИКА ЗАБОЛЕВАНИЙ И ТРАВМ ГОЛОВНОГО МОЗГА Статья в формате PDF 90 KB...

06 06 2026 0:46:11

ФЕРМЕНТНЫЕ ПРЕПАРАТЫ ИЗ ВНУТРЕННОСТЕЙ ПРУДОВЫХ РЫБ

ФЕРМЕНТНЫЕ ПРЕПАРАТЫ ИЗ ВНУТРЕННОСТЕЙ ПРУДОВЫХ РЫБ Статья в формате PDF 259 KB...

05 06 2026 15:38:18

СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МАРШРУТОВ ТРАНСПОРТИРОВКИ УДОБРЕНИЙ СО СТАНЦИИ КЕМЕРОВО В ПОРТ ЧЕННАЙ

СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МАРШРУТОВ ТРАНСПОРТИРОВКИ УДОБРЕНИЙ СО СТАНЦИИ КЕМЕРОВО В ПОРТ ЧЕННАЙ Статья в формате PDF 254 KB...

04 06 2026 16:45:27

ЗАВИСИМОСТЬ ФУНКЦИОНАЛЬНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ МЯСНЫХ СИСТЕМ ОТ СОСТАВА ВОДЫ

ЗАВИСИМОСТЬ ФУНКЦИОНАЛЬНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ МЯСНЫХ СИСТЕМ ОТ СОСТАВА ВОДЫ Статья в формате PDF 275 KB...

03 06 2026 10:27:58

КОМБИНИРОВАННОЕ ЛЕЧЕНИЕ БОЛЬНЫХ С ОБЛИТЕРИРУЮЩИМ АТЕРОСКЛЕРОЗОМ СОСУДОВ НИЖНИХ КОНЕЧНОСТЕЙ

КОМБИНИРОВАННОЕ ЛЕЧЕНИЕ БОЛЬНЫХ С ОБЛИТЕРИРУЮЩИМ АТЕРОСКЛЕРОЗОМ СОСУДОВ НИЖНИХ КОНЕЧНОСТЕЙ Статья в формате PDF 131 KB...

02 06 2026 1:48:41

ХИРУРГИЧЕСКОЕ ВОССТАНОВЛЕНИЕ ПОВРЕЖДЕННОЙ ВЕРХНЕЙ СТЕНКИ ВЕРХНЕЧЕЛЮСТНОЙ ПАЗУХИ – ВАЖНЕЙШИЙ ЭЛЕМЕНТ РЕАБИЛИТАЦИИ ПОСТРАДАВШИХ

ХИРУРГИЧЕСКОЕ ВОССТАНОВЛЕНИЕ ПОВРЕЖДЕННОЙ ВЕРХНЕЙ СТЕНКИ ВЕРХНЕЧЕЛЮСТНОЙ ПАЗУХИ – ВАЖНЕЙШИЙ ЭЛЕМЕНТ РЕАБИЛИТАЦИИ ПОСТРАДАВШИХ Статья в формате PDF 102 KB...

01 06 2026 13:14:24

ИЗМЕНЕНИЯ ОВАРИАЛЬНОГО ФОЛЛИКУЛОГЕНЕЗА ПРИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ МОДЕЛИ ГЕРПЕС-ВИРУСНОЙ ИНФЕКЦИИ У МОРСКИХ СВИНОК

ИЗМЕНЕНИЯ ОВАРИАЛЬНОГО ФОЛЛИКУЛОГЕНЕЗА ПРИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ МОДЕЛИ ГЕРПЕС-ВИРУСНОЙ ИНФЕКЦИИ У МОРСКИХ СВИНОК Статья в формате PDF 98 KB...

31 05 2026 7:38:29

ОТРАЖЕНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ВОЛН ОТ СЛОИСТОЙ СТРУКТУРЫ С МАГНИТНЫМ ПОЛУПРОВОДНИКОМ

ОТРАЖЕНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ВОЛН ОТ СЛОИСТОЙ СТРУКТУРЫ С МАГНИТНЫМ ПОЛУПРОВОДНИКОМ Статья в формате PDF 793 KB...

30 05 2026 23:25:32

ПРОБЛЕМЫ ЗАГРЯЗНЕНИЯ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ ОТХОДАМИ ПРОИЗВОДСТВА ПРИ ОЧИСТКЕ СТОЧНЫХ ВОД

ПРОБЛЕМЫ ЗАГРЯЗНЕНИЯ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ ОТХОДАМИ ПРОИЗВОДСТВА ПРИ ОЧИСТКЕ СТОЧНЫХ ВОД Статья в формате PDF 387 KB...

29 05 2026 15:58:55

СЕГМЕНТАЦИЯ И КОМПАРТМЕНТАЛИЗАЦИЯ КАК ДВЕ СТОРОНЫ ПРОЦЕССА РАЗВИТИЯ ОРГАНИЗМОВ В ЭВОЛЮЦИИ И ОНТОГЕНЕЗЕ

СЕГМЕНТАЦИЯ И КОМПАРТМЕНТАЛИЗАЦИЯ КАК ДВЕ СТОРОНЫ ПРОЦЕССА РАЗВИТИЯ ОРГАНИЗМОВ В ЭВОЛЮЦИИ И ОНТОГЕНЕЗЕ Статья в формате PDF 241 KB...

28 05 2026 3:37:16

Корреляционная взаимосвязь между соматотипами и дерматоглифическими параметрами тела подростка

Корреляционная взаимосвязь между соматотипами и дерматоглифическими параметрами тела подростка Статья в формате PDF 103 KB...

27 05 2026 8:41:57

БИОТЕХНИЧЕСКИЙ ЗАКОН И ПОДГОТОВКА ИСХОДНЫХ ДАННЫХ

БИОТЕХНИЧЕСКИЙ ЗАКОН И ПОДГОТОВКА ИСХОДНЫХ ДАННЫХ Статья в формате PDF 249 KB...

26 05 2026 2:25:16

ВАРИАНТЫ СПЕКТРА АНТИТЕЛ КЛАССОВ IgM и IgG К АНТИГЕНАМ HCV ПРИ ХРОНИЧЕСКОМ ТЕЧЕНИИ ГЕПАТИТА С

ВАРИАНТЫ СПЕКТРА АНТИТЕЛ КЛАССОВ IgM и IgG К АНТИГЕНАМ HCV ПРИ ХРОНИЧЕСКОМ ТЕЧЕНИИ ГЕПАТИТА С Статья в формате PDF 116 KB...

25 05 2026 10:54:31

ЭКДИСТЕРОИДЫ ВОЛДЫРНИКА ЯГОДНОГО (CUCUBALUS BACCIFER L.)

ЭКДИСТЕРОИДЫ ВОЛДЫРНИКА ЯГОДНОГО (CUCUBALUS BACCIFER L.) Статья в формате PDF 141 KB...

24 05 2026 21:22:11

ЭФФЕКТОРНЫЕ YOPS: ОСОБЕННОСТИ ЭКСПРЕССИИ ЭНТЕРОПАТОГЕННЫМИ ИЕРСИНИЯМИ В ИНТРАЦЕЛЛЮЛЯРНЫХ УСЛОВИЯХ

ЭФФЕКТОРНЫЕ YOPS: ОСОБЕННОСТИ ЭКСПРЕССИИ ЭНТЕРОПАТОГЕННЫМИ ИЕРСИНИЯМИ В ИНТРАЦЕЛЛЮЛЯРНЫХ УСЛОВИЯХ Статья в формате PDF 111 KB...

23 05 2026 9:16:38

ОСОБЕННОСТИ ЦЕНОТИПА КИШЕЧНИКА ПРИ ПСОРИАЗЕ И ЭКЗЕМЕ

ОСОБЕННОСТИ ЦЕНОТИПА КИШЕЧНИКА ПРИ ПСОРИАЗЕ И ЭКЗЕМЕ Статья в формате PDF 124 KB...

22 05 2026 22:54:22

Оценка эффективности различных методов лечения рожи

Оценка эффективности различных методов лечения рожи Статья в формате PDF 117 KB...

21 05 2026 13:42:42

Разупрочнение глинистых грунтов в горнодобывающей промышленности

Разупрочнение глинистых грунтов в горнодобывающей промышленности Статья в формате PDF 104 KB...

20 05 2026 10:44:21

РАСПОЗНАВАНИЕ СИГНАЛОВ В СИСТЕМАХ С ПОДВИЖНЫМИ ОБЪЕКТАМИ

РАСПОЗНАВАНИЕ СИГНАЛОВ В СИСТЕМАХ С ПОДВИЖНЫМИ ОБЪЕКТАМИ Статья в формате PDF 97 KB...

19 05 2026 12:10:52

ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ВЫСЕВ СЕМЯН

ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ВЫСЕВ СЕМЯН Статья в формате PDF 397 KB...

18 05 2026 1:42:10

Влияние температуры на уровень активности нейтральной протеиназы слизистой кишечника русского осетра

Влияние температуры на уровень активности нейтральной протеиназы слизистой кишечника русского осетра Статья в формате PDF 111 KB...

17 05 2026 5:23:34

СОЦИАЛЬНЫЙ ХАРАКТЕР ВОПРОСОВ ДЕРМАТОВЕНЕРОЛОГИИ

СОЦИАЛЬНЫЙ ХАРАКТЕР ВОПРОСОВ ДЕРМАТОВЕНЕРОЛОГИИ Статья в формате PDF 100 KB...

16 05 2026 11:52:58

ИСТОРИЧЕСКИЙ АСПЕКТ ТРАНСФОРМАЦИИ СОБСТВЕННОСТИ НА КУРОРТНО-РЕКРЕАЦИОННЫЕ РЕСУРСЫ И КУРОРТНУЮ ИНФРАСТРУКТУРУ КАВКАЗСКИХ МИНЕРАЛЬНЫХ ВОД

ИСТОРИЧЕСКИЙ АСПЕКТ ТРАНСФОРМАЦИИ СОБСТВЕННОСТИ НА КУРОРТНО-РЕКРЕАЦИОННЫЕ РЕСУРСЫ И КУРОРТНУЮ ИНФРАСТРУКТУРУ КАВКАЗСКИХ МИНЕРАЛЬНЫХ ВОД Статья в формате PDF 130 KB...

15 05 2026 22:10:18

РАЗВИТИЕ ЧЕЛОВЕЧЕСКОГО ПОТЕНЦИАЛА: СТАТИСТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ

РАЗВИТИЕ ЧЕЛОВЕЧЕСКОГО ПОТЕНЦИАЛА: СТАТИСТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ Статья в формате PDF 275 KB...

14 05 2026 4:34:59

ПОВЫШЕНИЕ КПД РЕМЕННЫХ ПЕРЕДАЧ

ПОВЫШЕНИЕ КПД РЕМЕННЫХ ПЕРЕДАЧ Статья в формате PDF 261 KB...

13 05 2026 2:26:16

РЕГУЛЯЦИЯ ИММУННОГО ОТВЕТА ОПИОИДНЫМИ ПЕПТИДАМИ

РЕГУЛЯЦИЯ ИММУННОГО ОТВЕТА ОПИОИДНЫМИ ПЕПТИДАМИ Статья в формате PDF 98 KB...

12 05 2026 9:57:11

Охрана лечебных грязей водоемов Южного Урала

Охрана лечебных грязей водоемов Южного Урала Статья в формате PDF 117 KB...

11 05 2026 12:51:40

ИНТЕРВАЛЬНАЯ И НЕЧЕТКАЯ ЛИНЕЙНАЯ РЕГРЕССИЯ ДЛЯ ВВП РОССИИ

ИНТЕРВАЛЬНАЯ И НЕЧЕТКАЯ ЛИНЕЙНАЯ РЕГРЕССИЯ ДЛЯ ВВП РОССИИ Статья в формате PDF 96 KB...

10 05 2026 13:18:26

МНОГОКАНАЛЬНАЯ СОПРЯЖЕННАЯ ПРОГРАММНАЯ НЕРВНО-МЫШЕЧНАЯ ЭЛЕКТРОСТИМУЛЯЦИЯ В ЛЕЧЕНИИ БОЛЬНЫХ С ПОСТИНСУЛЬТНЫМИ ДВИГАТЕЛЬНЫМИ НАРУШЕНИЯМИ

МНОГОКАНАЛЬНАЯ СОПРЯЖЕННАЯ ПРОГРАММНАЯ НЕРВНО-МЫШЕЧНАЯ ЭЛЕКТРОСТИМУЛЯЦИЯ В ЛЕЧЕНИИ БОЛЬНЫХ С ПОСТИНСУЛЬТНЫМИ ДВИГАТЕЛЬНЫМИ НАРУШЕНИЯМИ Статья в формате PDF 137 KB...

09 05 2026 9:59:43

Изменение структуры воспалительных заболеваний внутренних пoлoвых органов женщин за последние 10 лет по данным отделения гинекологии МУЗ ГКБ №2 г. Кемерово

Изменение структуры воспалительных заболеваний внутренних пoлoвых органов женщин за последние 10 лет по данным отделения гинекологии МУЗ ГКБ №2 г. Кемерово Статья в формате PDF 117 KB...

08 05 2026 16:29:31

ОЗЕРО БИЛЛЯХ (ВЕРХОЯНСКИЕ ГОРЫ)

ОЗЕРО БИЛЛЯХ (ВЕРХОЯНСКИЕ ГОРЫ) Статья в формате PDF 684 KB...

07 05 2026 7:10:36

ПРОФИЛАКТИКА ЗЛОКАЧЕСТВЕННЫХ НОВООБРАЗОВАНИЙ В СОВРЕМЕННЫХ УСЛОВИЯХ

ПРОФИЛАКТИКА ЗЛОКАЧЕСТВЕННЫХ НОВООБРАЗОВАНИЙ В СОВРЕМЕННЫХ УСЛОВИЯХ Статья в формате PDF 103 KB...

06 05 2026 8:17:38

ИЗУЧЕНИЕ ОСТРОЙ ТОКСИЧНОСТИ ИЗВЛЕЧЕНИЙ ИЗ СЫРЬЯ ЧЕРНОГОЛОВКИ КРУПНОЦВЕТКОВОЙ

ИЗУЧЕНИЕ ОСТРОЙ ТОКСИЧНОСТИ ИЗВЛЕЧЕНИЙ ИЗ СЫРЬЯ ЧЕРНОГОЛОВКИ КРУПНОЦВЕТКОВОЙ Статья в формате PDF 421 KB...

05 05 2026 7:16:36

АКТИВНОСТЬ ФОСФОЛИПАЗЫ А2 И СОСТОЯНИЕ ПРОЦЕССОВ ПЕРЕКИСНОГО ОКИСЛЕНИЯ ЛИПИДОВ В ПЕРИФЕРИЧЕСКОЙ КРОВИ У БЕРЕМЕННЫХ С ГЕРПЕС-ВИРУСНОЙ ИНФЕКЦИЕЙ

АКТИВНОСТЬ ФОСФОЛИПАЗЫ А2 И СОСТОЯНИЕ ПРОЦЕССОВ ПЕРЕКИСНОГО ОКИСЛЕНИЯ ЛИПИДОВ В ПЕРИФЕРИЧЕСКОЙ КРОВИ У БЕРЕМЕННЫХ С ГЕРПЕС-ВИРУСНОЙ ИНФЕКЦИЕЙ В работе изучено состояние процессов перекисного окисления липидов и содержание фосфолипазы А2 в периферической крови беременных III триместра с обострением гepпeс-вирусной инфекции в зависимости от титра антител IgG к вирусу простого гepпeса 1 типа. Установлено, что обострение гepпeс-вирусной инфекции в период гестации способствует активации процессов перекисного окисления липидов, регистрируемого по содержанию ТБК-активных продуктов (малонового диальдегида), повышению содержания фосфолипазы А2, наиболее выраженное при титре антител IgG к ВПГ-1 1:12800 и является причиной деструктивных процессов в составе липидов эритроцитов. ...

04 05 2026 2:57:22

Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::