STATISTICAL DESCRIPTION OF CONTROL SYSTEMS IN NANOLITHOGRAPHY

Every atomic beam in nanolithography consists of many quantum particles, and for every atom from the beam we have the second order ODE based on the Schroedinger equation. The coefficients of this equation depend on the laser field (consisted actually of two fields: basic and additional modulated). Because of the field modulation they are changed and they are time-dependent, it influences on the atomic dynamics, and we get the opportunity to realize a feedback, i.e. to express the process in the terms of control theory and to apply control methods to the dynamical differential equations. Here the input is the beam characteristics and the output is the space distributions of the particles on the mask.
Standard speed gradient method, however, is not very productive in nanotechnology. From one side, it allows achieve the selected level of energy (the eigenfunction of Hamiltonian for dynamical differential equation). But for the practical purposes of nanolithography we need to prepare an atomic beam with the very narrow spatial distribution. Thus, it is logical to include the parameters of the desired distribution in the goal function of the control process. For this purpose we have to re-formulate the mathematical task and introduce the new type of controlled systems. We demand the achievement of the narrow spatial distribution of the dynamical particles as the main goal of the control. Additionally we investigate the statistical properties of the particle dynamics but not the behavior of the single particle. Statistical approach is very natural if we discuss the dynamical properties of a quantum system, but this problem was not formulated in the frame of classical control theory of real systems. At present only separate cases of atomic beam dynamics are investigated.
Let´s sum up our main results:
- The statistical description of the system (the ensemble of N particles) is realized.
- The closed control equation for proportional speed gradient feedback is presented.
- The possibility of statistical control application to the purposes of quantum beam focusing is demonstrated.
Thus, the statistical scheme can be successfully applied in the models of quantum beam control.
Статья в формате PDF
244 KB...
11 10 2026 6:59:17
Статья в формате PDF
106 KB...
08 10 2026 15:42:17
Статья в формате PDF
161 KB...
06 10 2026 23:13:17
Статья в формате PDF
111 KB...
05 10 2026 4:10:45
Статья в формате PDF
109 KB...
03 10 2026 18:36:43
Статья в формате PDF
101 KB...
30 09 2026 1:56:17
Статья в формате PDF
109 KB...
29 09 2026 5:58:31
В статье показано увеличение интереса граждан России к истории и культуре стран ислама. Это связано с повышением политической активности этих стран и расширением их туристического сервиза.
...
28 09 2026 15:32:25
Статья в формате PDF
125 KB...
27 09 2026 4:31:27
Статья в формате PDF
239 KB...
24 09 2026 2:23:38
Статья в формате PDF
114 KB...
23 09 2026 6:14:23
Статья в формате PDF
115 KB...
22 09 2026 12:29:11
Статья в формате PDF
266 KB...
20 09 2026 2:33:43
Статья в формате PDF
137 KB...
19 09 2026 12:27:30
Статья в формате PDF
190 KB...
18 09 2026 22:15:33
Статья в формате PDF
275 KB...
17 09 2026 8:47:52
Статья в формате PDF
111 KB...
16 09 2026 16:38:39
Статья в формате PDF 327 KB...
15 09 2026 12:38:47
Статья в формате PDF
108 KB...
14 09 2026 0:46:24
13 09 2026 16:31:46
Статья в формате PDF
253 KB...
12 09 2026 7:58:33
Статья в формате PDF
235 KB...
11 09 2026 12:21:44
Статья в формате PDF
140 KB...
10 09 2026 19:43:46
В работе приводится анализ мотивации выбора профессии педагога на основе изучения профессиональной ориентации в группе студентов факультета дополнительных профессий СГПИ.
...
09 09 2026 16:50:17
Статья в формате PDF
144 KB...
08 09 2026 3:30:33
Статья в формате PDF
166 KB...
07 09 2026 8:54:11
Статья в формате PDF
225 KB...
06 09 2026 1:53:27
Статья в формате PDF
100 KB...
05 09 2026 5:22:20
Статья в формате PDF
250 KB...
04 09 2026 11:32:38
Статья в формате PDF
102 KB...
03 09 2026 10:32:53
Статья в формате PDF
351 KB...
02 09 2026 12:36:51
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::