STATISTICAL DESCRIPTION OF CONTROL SYSTEMS IN NANOLITHOGRAPHY

Every atomic beam in nanolithography consists of many quantum particles, and for every atom from the beam we have the second order ODE based on the Schroedinger equation. The coefficients of this equation depend on the laser field (consisted actually of two fields: basic and additional modulated). Because of the field modulation they are changed and they are time-dependent, it influences on the atomic dynamics, and we get the opportunity to realize a feedback, i.e. to express the process in the terms of control theory and to apply control methods to the dynamical differential equations. Here the input is the beam characteristics and the output is the space distributions of the particles on the mask.
Standard speed gradient method, however, is not very productive in nanotechnology. From one side, it allows achieve the selected level of energy (the eigenfunction of Hamiltonian for dynamical differential equation). But for the practical purposes of nanolithography we need to prepare an atomic beam with the very narrow spatial distribution. Thus, it is logical to include the parameters of the desired distribution in the goal function of the control process. For this purpose we have to re-formulate the mathematical task and introduce the new type of controlled systems. We demand the achievement of the narrow spatial distribution of the dynamical particles as the main goal of the control. Additionally we investigate the statistical properties of the particle dynamics but not the behavior of the single particle. Statistical approach is very natural if we discuss the dynamical properties of a quantum system, but this problem was not formulated in the frame of classical control theory of real systems. At present only separate cases of atomic beam dynamics are investigated.
Let´s sum up our main results:
- The statistical description of the system (the ensemble of N particles) is realized.
- The closed control equation for proportional speed gradient feedback is presented.
- The possibility of statistical control application to the purposes of quantum beam focusing is demonstrated.
Thus, the statistical scheme can be successfully applied in the models of quantum beam control.
Статья в формате PDF
149 KB...
11 06 2026 6:27:52
Статья в формате PDF
338 KB...
10 06 2026 7:28:42
Статья в формате PDF
119 KB...
09 06 2026 15:57:11
Статья в формате PDF
108 KB...
08 06 2026 13:47:14
Статья в формате PDF 266 KB...
07 06 2026 21:10:48
06 06 2026 12:48:54
Статья в формате PDF
126 KB...
05 06 2026 2:47:54
Статья в формате PDF
373 KB...
04 06 2026 21:11:44
Статья в формате PDF
131 KB...
02 06 2026 19:58:11
Статья в формате PDF
204 KB...
01 06 2026 16:47:14
Статья в формате PDF
173 KB...
31 05 2026 10:35:13
Статья в формате PDF
115 KB...
29 05 2026 12:34:57
Статья в формате PDF
130 KB...
28 05 2026 5:44:26
Статья в формате PDF
148 KB...
27 05 2026 14:13:30
Статья в формате PDF
121 KB...
26 05 2026 12:54:30
Статья в формате PDF
146 KB...
25 05 2026 2:46:11
24 05 2026 20:39:12
Статья посвящена принципам индивидуального, дифференцированного назначения иммуномодулирующей терапии больным псориатической болезнью. Авторами подчёркнута клинико-иммунологическая эффективность применения синтетического иммуномодулятора полиоксидония в комплексной терапии больных псориатической болезнью различных клинических форм и стадий заболевания.
...
22 05 2026 15:37:10
Статья в формате PDF
125 KB...
20 05 2026 7:25:38
В работе дан теоретический анализ понятия «личности», способы её формирования в результате пpaктической деятельности человека. Показано, что речь – необходимое условие социального, культурного воспроизводства личности, формирования его специфических социальных способностей.
...
17 05 2026 16:27:40
Статья в формате PDF
108 KB...
16 05 2026 12:43:50
15 05 2026 13:21:46
В статье представлены новые морфометрические параметры щитовидной железы, которые дополняют и вместе с тем расширяют наше представление о функциональной активности органа. Приведенная морфометрическая программа является уникальным инструментом физиологического анализа.
...
14 05 2026 14:28:22
Статья в формате PDF
127 KB...
13 05 2026 15:26:21
Статья в формате PDF
106 KB...
12 05 2026 1:55:14
11 05 2026 12:24:32
Проведен анализ общепринятых учений и научных теорий, имевших широкую аудиторию в вузах и научно-исследовательских институтах прошлого века. Выявлена недостаточность абстpaктной потенции в мыслительной жизни homo sensus, главная альтернатива которой – эмоциональный мир, чувственность и вера. Свойство верить познающего субъекта не носит хаpaктер религиозности, однако имеет общие с ней основания. Роднит религию и научную веру стремление не понять, а принять смутные представления, сулящие сиюминутную пользу и выгоду, объединяет желание увидеть в таинственном и запредельном нечто к себе доброжелательное, освобождающее от мучительного предназначения думать и, следовательно, уводящее от необходимости работать – работать без самообмана, но эффективно и достойно homo sapiens.
...
10 05 2026 7:52:43
Статья в формате PDF
241 KB...
09 05 2026 12:50:14
Статья в формате PDF
145 KB...
08 05 2026 3:44:16
Статья в формате PDF
108 KB...
07 05 2026 12:18:41
Статья в формате PDF
107 KB...
06 05 2026 2:16:27
Статья в формате PDF
120 KB...
04 05 2026 5:37:12
Статья в формате PDF
285 KB...
03 05 2026 21:27:18
Еще:
Поддержать себя -1 :: Поддержать себя -2 :: Поддержать себя -3 :: Поддержать себя -4 :: Поддержать себя -5 :: Поддержать себя -6 :: Поддержать себя -7 :: Поддержать себя -8 :: Поддержать себя -9 :: Поддержать себя -10 :: Поддержать себя -11 :: Поддержать себя -12 :: Поддержать себя -13 :: Поддержать себя -14 :: Поддержать себя -15 :: Поддержать себя -16 :: Поддержать себя -17 :: Поддержать себя -18 :: Поддержать себя -19 :: Поддержать себя -20 :: Поддержать себя -21 :: Поддержать себя -22 :: Поддержать себя -23 :: Поддержать себя -24 :: Поддержать себя -25 :: Поддержать себя -26 :: Поддержать себя -27 :: Поддержать себя -28 :: Поддержать себя -29 :: Поддержать себя -30 :: Поддержать себя -31 :: Поддержать себя -32 :: Поддержать себя -33 :: Поддержать себя -34 :: Поддержать себя -35 :: Поддержать себя -36 :: Поддержать себя -37 :: Поддержать себя -38 ::